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MEMS环形谐振陀螺驱动模态控制方法研究
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作者 寇志伟 崔啸鸣 +2 位作者 尹煜 李娜 齐咏生 《电子测量技术》 北大核心 2025年第12期42-48,共7页
为了有效控制微机电环形谐振陀螺驱动模态的工作状态,提高驱动幅值的稳定性能与谐振频率的实时跟踪性能,本文提出了一种基于相位控制与自动增益控制的驱动模态闭环控制方案。首先,基于环形谐振陀螺的动力学特性与机电接口特点,设计了对... 为了有效控制微机电环形谐振陀螺驱动模态的工作状态,提高驱动幅值的稳定性能与谐振频率的实时跟踪性能,本文提出了一种基于相位控制与自动增益控制的驱动模态闭环控制方案。首先,基于环形谐振陀螺的动力学特性与机电接口特点,设计了对称静电驱动-差动电容敏感的机电接口,提出了基于相位控制与自动增益控制的闭环驱动控制方案;其次,构建了闭环驱动控制方案的机电耦合仿真模型,对驱动模态的自激振荡控制、幅值稳定性与频率跟踪状态进行了仿真,验证了系统的动态性能。最后,基于上述方案设计了驱动模态闭环控制电路,实验测试了电路性能。实验结果表明,该电路的驱动激励信号频率能够很好的跟踪陀螺驱动模态谐振频率的变化;在-40℃~60℃温度环境内变化时,驱动检测电压变化范围低于5.08%,幅值随温度的相对变化率小于0.059%,符合全温区稳幅驱动的要求。 展开更多
关键词 微机电 环形谐振陀螺 驱动模态 闭环控制 相位控制
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四质量高频三轴MEMS陀螺设计及制造
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作者 魏雯强 田慧敏 +3 位作者 蔡麒 崔让 李豪冉 曹慧亮 《光学精密工程》 北大核心 2025年第12期1916-1928,共13页
针对现有单片三轴陀螺抗干扰能力弱,体积大的特点,本文设计了一种四质量高频三轴MEMS陀螺,与传统的陀螺相比,该器件具有较高的谐振频率(~30 kHz),结构尺寸仅为3 mm×2.56 mm。本文对设计的陀螺敏感结构形式及工作原理进行了描述,并... 针对现有单片三轴陀螺抗干扰能力弱,体积大的特点,本文设计了一种四质量高频三轴MEMS陀螺,与传统的陀螺相比,该器件具有较高的谐振频率(~30 kHz),结构尺寸仅为3 mm×2.56 mm。本文对设计的陀螺敏感结构形式及工作原理进行了描述,并通过多目标遗传算法对敏感结构梁宽进行优化使其工作模态谐振频率高于30 kHz,驱动模态与检测模态的频差小于200 Hz,采用三晶圆键合技术对其制造,并使用扫频测试系统对其进行了表征。实验结果显示其驱动、X轴、Y轴、Z轴检测模态的谐振频率和品质因数分别为29692 Hz/1274,31290 Hz/354,29881 Hz/305和30721 Hz/393。结果验证了设计及研究方法的正确性,为高频三轴MEMS陀螺的研制提供了一种可行的方案。 展开更多
关键词 微机电陀螺仪 单片三轴 高频 多目标优化
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基于改进自适应滤波的MEMS陀螺振动误差抑制研究 被引量:4
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作者 陈杰 侯帅康 +1 位作者 刘玉县 何春华 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第4期61-63,67,共4页
本文提出一种基于改进自适应滤波的MEMS陀螺随机振动误差的补偿算法。该算法采用简化Sage-Husa自适应滤波算法估计量测噪声,并通过协方差匹配技术引入收敛性判据抑制了滤波的发散,它提高了实时性且减少了计算量。实验结果表明:经过改进... 本文提出一种基于改进自适应滤波的MEMS陀螺随机振动误差的补偿算法。该算法采用简化Sage-Husa自适应滤波算法估计量测噪声,并通过协方差匹配技术引入收敛性判据抑制了滤波的发散,它提高了实时性且减少了计算量。实验结果表明:经过改进算法滤波后,MEMS陀螺随机振动误差的方差减少97.76%,与常规卡尔曼滤波相比,改进算法的方差减少了72.66%,验证了改进的自适应卡尔曼滤波算法可以有效地抑制MEMS陀螺因随机振动引起的输出误差。 展开更多
关键词 mems陀螺 简化Sage-Husa自适应滤波 时间序列模型
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基于MEMS陀螺的高温随钻定向测斜仪研究 被引量:1
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作者 杨永友 底青云 +4 位作者 谢棋军 马良令 王京京 张露 任春华 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1669-1677,共9页
针对油气井测量时所面临的小孔径、超深井、温度范围广、温度变化率高、工作时间长等挑战,研究了基于MEMS陀螺仪的定向测斜仪,设计了MEMS陀螺定向测斜仪软硬件系统.为确保该环境下的测量精度提出了一种动态温度补偿方案,并采用基于小波... 针对油气井测量时所面临的小孔径、超深井、温度范围广、温度变化率高、工作时间长等挑战,研究了基于MEMS陀螺仪的定向测斜仪,设计了MEMS陀螺定向测斜仪软硬件系统.为确保该环境下的测量精度提出了一种动态温度补偿方案,并采用基于小波滤波多尺度分析的方法对动态温变环境下陀螺输出信号进行去噪滤波处理,以实现定向测斜仪系统的测量精度.论文给出了定向测斜仪硬件系统方案、定向测斜算法、小波多尺度滤波算法.测试结果表明:该系统在常温和动态温变环境下井斜方位角精度优于±2°,井斜角精度优于±0.1°,工作温度最高150℃,可适应我国深层油气井勘探开发的应用场景需求. 展开更多
关键词 定向测斜仪 动态温变环境 mems陀螺 零偏补偿
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三轴MEMS陀螺仪轨迹跟踪的自耦PID控制方法 被引量:1
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作者 熊洛 曾喆昭 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第9期1586-1592,共7页
为了有效提高三轴微机械(Micro-Electro-Mechanic System,MEMS)陀螺仪的抗干扰能力和检测精度,基于自耦PID控制理论提出了一种简单的陀螺仪控制方法。该方法将三轴MEMS陀螺仪控制问题分解为三个严格反馈子系统的控制问题,然后将三个子... 为了有效提高三轴微机械(Micro-Electro-Mechanic System,MEMS)陀螺仪的抗干扰能力和检测精度,基于自耦PID控制理论提出了一种简单的陀螺仪控制方法。该方法将三轴MEMS陀螺仪控制问题分解为三个严格反馈子系统的控制问题,然后将三个子系统已知或未知动态、其不确定性和外部有界扰动分别定义为三个总扰动,进而将三个子系统等价映射为三个二阶线性扰动系统,据此分别构建了在总扰动反相激励下的三个受控误差系统,并根据自耦PID控制理论分别设计了三个自耦PD控制器,最后分析了每个子系统的鲁棒稳定性和抗扰动鲁棒性。仿真实验证明了所提控制方法的有效性,其在MEMS陀螺仪控制系统领域具有良好的实际应用前景。 展开更多
关键词 三轴 mems 陀螺仪 轨迹跟踪 自耦 PID 控制 自适应速度因子
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石英MEMS陀螺检测电极分布参数优化 被引量:1
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作者 李雪峰 甘罗 周琦 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期592-597,共6页
针对石英微机电系统(MEMS)陀螺检测电极输出感应电压较低问题,通过优化检测电极分布参数,提升其机械灵敏度。首先,分析检测电极分布参数对陀螺输出感应电荷的影响,确定优化方案的控制参数和目标函数。其次,基于有限元方法(FEM)构建三种... 针对石英微机电系统(MEMS)陀螺检测电极输出感应电压较低问题,通过优化检测电极分布参数,提升其机械灵敏度。首先,分析检测电极分布参数对陀螺输出感应电荷的影响,确定优化方案的控制参数和目标函数。其次,基于有限元方法(FEM)构建三种石英MEMS陀螺的机电耦合模型。最后,使用内尔德-米德(NM)算法优化检测电极分布参数。实验结果表明,优化后的检测电极分布参数更加合理,石英MEMS陀螺的机械灵敏度在传统的双端式和梳齿式音叉结构上分别提升了3.06和1.53倍,在基于剪应力检测的结构上提升了39.37倍,验证了优化检测电极分布参数可以提升石英MEMS陀螺机械灵敏度。 展开更多
关键词 石英mems陀螺 检测电极优化 有限元方法 内尔德-米德算法 机械灵敏度
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MEMS陀螺仪高精度低噪声检测电路设计
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作者 赵毅强 寇诗逸 叶茂 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期96-104,共9页
为满足电容式MEMS陀螺仪低噪声,高精度的检测需求,设计了一款基于开关电容结构的全差分检测电路,主要包括电容检测和数字量化处理两部分。电容检测电路采用离散时间电容电压(C/V)转换方案,提出将高频载波调制和相关双采样技术相结合的方... 为满足电容式MEMS陀螺仪低噪声,高精度的检测需求,设计了一款基于开关电容结构的全差分检测电路,主要包括电容检测和数字量化处理两部分。电容检测电路采用离散时间电容电压(C/V)转换方案,提出将高频载波调制和相关双采样技术相结合的方式,有效降低了低频噪声的干扰。量化电路采用一款4阶4 bit单环前馈结构的带通ΔΣ调制器,输入信号前馈通路的引入提高了系统的稳定性,内部多位量化器有效提高了信噪比。系统在保持低功耗的同时实现了高精度输出。基于0.18μm BCD工艺,在5 V电源电压下,对整体电路进行仿真验证。仿真结果表明,检测电路灵敏度可以实现10 m V/f F,在谐振频率5 k Hz处,等效输入电容噪声为■。最终在100 Hz带宽范围内,读出信号量化精度可以达到15 bits。与传统的MEMS陀螺仪检测电路相比,该电路具有更低的噪声和更高的量化精度,能够满足高精度检测应用需求。 展开更多
关键词 电容检测电路 mems陀螺仪 ΔΣ调制器 相关双采样 低噪声 高精度
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基于单轴光学陀螺与MEMS IMU的室内移动机器人寻北 被引量:2
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作者 谭彩铭 谢晓龙 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第7期132-138,共7页
三轴高精度光学陀螺成本高体积大,限制了陀螺寻北技术在移动机器人领域的应用。针对该问题,提出一种基于单轴光学陀螺和微机电系统(MEMS)惯性测量单元的室内移动机器人寻北方法,达到或者接近三轴光学陀螺的寻北精度,成本和体积降低约2/... 三轴高精度光学陀螺成本高体积大,限制了陀螺寻北技术在移动机器人领域的应用。针对该问题,提出一种基于单轴光学陀螺和微机电系统(MEMS)惯性测量单元的室内移动机器人寻北方法,达到或者接近三轴光学陀螺的寻北精度,成本和体积降低约2/3。移动机器人于第1位置静止时,根据单轴光学陀螺的输出与MEMS三轴加速度计的输出,获得两个可能方位角,以相同的方式获得移动机器人在第2位置的两个可能方位角,两个位置的方位角相减得到4个可能的方位角变化值,通过和MEMS捷联惯导系统所得方位角变化值比较,确定第2位置的唯一方位角。误差分析显示在方位角接近90°和270°时,所提出的方法接近三轴光学陀螺的寻北精度,仿真实验和跑车实验证实了所提出方法的有效性。 展开更多
关键词 陀螺寻北 捷联惯导 单轴光学陀螺 mems IMU 室内移动机器人
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基于轻量神经网络的MEMS陀螺仪降噪与标定方法
9
作者 张睿桐 赵健康 崔超 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2024年第11期22-27,共6页
针对MEMS陀螺仪测量模型中时变、非线性误差和高频噪声引起的姿态估计精度低及易发散的问题,提出一种基于深度学习的陀螺仪降噪与标定方法。对陀螺仪测量误差进行建模,采用卷积神经网络(CNN)从陀螺仪历史数据中提取误差模型特征,实现对... 针对MEMS陀螺仪测量模型中时变、非线性误差和高频噪声引起的姿态估计精度低及易发散的问题,提出一种基于深度学习的陀螺仪降噪与标定方法。对陀螺仪测量误差进行建模,采用卷积神经网络(CNN)从陀螺仪历史数据中提取误差模型特征,实现对陀螺仪数据实时降噪与标定,获得高精度姿态估计结果。原始陀螺仪数据经过网络降噪和标定后进行姿态估计,并将结果与参考姿态真值构建损失函数训练网络。在EuRoC导航数据集上的实验结果表明:与基于循环神经网络的方法和直接使用原始陀螺仪数据进行的姿态估计相比,基于CNN的方法误差分别降低了55.9%和96.4%,有效降低陀螺仪误差与噪声并提高姿态估计精度。网络轻量,参数仅有180个,适合嵌入式系统的应用。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 深度学习 姿态估计 降噪与标定 卷积神经网络
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MEMS速率陀螺仪力平衡控制回路相位误差分析与验证 被引量:1
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作者 高阳 贾佳 +2 位作者 孟琳 阮志虎 曹慧亮 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第20期3059-3070,共12页
为明晰基于力平衡(Force to Rebalance,FTR)检测模式的MEMS速率陀螺仪中相位误差对陀螺仪静态和动态性能的影响规律,构建了包含相位误差的FTR速率控制回路模型,以此分析不同相位误差对动静态性能的影响。首先,介绍了采用FTR速率模式的... 为明晰基于力平衡(Force to Rebalance,FTR)检测模式的MEMS速率陀螺仪中相位误差对陀螺仪静态和动态性能的影响规律,构建了包含相位误差的FTR速率控制回路模型,以此分析不同相位误差对动静态性能的影响。首先,介绍了采用FTR速率模式的陀螺仪基本原理,简要分析了相位误差对驱动模态的影响。接着,提出了包含反馈通路和前向通路相位误差的FTR速率控制回路模型,并对该模型进行了等效变换。然后,根据上述模型分析不同类型的相位误差对陀螺仪动态和静态性能的影响。最后,进行了相应的试验验证。实验结果表明:反馈通路中的相位误差的两小时测量值的稳定性为0.0949,且该误差仅会改变标度因数;前向通路中的相位误差为温度敏感项,且补偿前后的零偏值和零偏漂移值分别缩小了4.8和2.9倍,零偏不稳定性和角度随机游走分别提升了0.8和0.9倍。反馈通路的相位误差可以通过标度的方法来获取进行补偿,且该误差仅影响标度因数的数值大小,并不影响零偏和带宽性能;前向通路中的相位误差严重制约了静态性能,但室温状态下并不影响动态性能。 展开更多
关键词 mems速率陀螺仪 力平衡控制 相位误差 零偏性能 标度因数 带宽
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MEMS环形陀螺仪带宽拓展控制器设计
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作者 崔让 魏雯强 +2 位作者 蔡麒 刘宇鹏 曹慧亮 《仪器仪表学报》 CSCD 北大核心 2024年第12期45-54,共10页
设计一种基于零极点补偿的比例积分控制器,用于MEMS环形振动陀螺的检测模态闭环回路控制。文章分别分析了环形陀螺仪机械灵敏度、带宽与陀螺仪模态之间谐振频率差值、品质因数的关系,并通过伯德图分析了零极点与陀螺带宽的关系。设计了... 设计一种基于零极点补偿的比例积分控制器,用于MEMS环形振动陀螺的检测模态闭环回路控制。文章分别分析了环形陀螺仪机械灵敏度、带宽与陀螺仪模态之间谐振频率差值、品质因数的关系,并通过伯德图分析了零极点与陀螺带宽的关系。设计了基于零极点补偿的比例积分控制器(PZ-PIC),通过在检测闭环回路中使用该控制器,可以拓展陀螺仪的带宽,解决环形陀螺仪机械带宽与机械灵敏度相互矛盾的问题。提出的新型控制器具有参数少,参数确定简单等优点,适用于MEMS陀螺仪的批量化生产。经过实验验证,3只陀螺仪样机带宽均得到有效拓展,拓展后带宽超过90 Hz。 展开更多
关键词 mems环形陀螺仪 振动陀螺仪 带宽拓展 检测模态闭环控制
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基于MEEMD的MEMS陀螺仪降噪方法
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作者 侯梦婷 王雪梅 +3 位作者 单斌 许哲 李灿 郑雨晞子 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期409-415,共7页
为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于改进的经验模态分解(MEEMD),结合粒子群优化算法(QPSO)优化的卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪降噪方法。通过引入排列熵的概念对微机械陀螺信号进行分解得到本征模态分量;计算各分量排列... 为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于改进的经验模态分解(MEEMD),结合粒子群优化算法(QPSO)优化的卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪降噪方法。通过引入排列熵的概念对微机械陀螺信号进行分解得到本征模态分量;计算各分量排列熵,分析排列熵变化趋势筛选出信号噪声混叠的分量,对其中混叠的分量分析建模,采用QPSO-KF算法滤波去噪;再对滤波结果和信号主导的分量进行重构,实现微机械陀螺信号降噪。实验验证了所提方法的有效性,相比传统经验模态分解(EMD)、KF精度提高了1个数量级,验证了所提方法的有效性和精度。 展开更多
关键词 微机械(mems)陀螺仪 经验模态分解 多尺度熵 粒子群优化 卡尔曼滤波
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MEMS三轴数字陀螺仪标定方法研究 被引量:33
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作者 彭孝东 陈瑜 +2 位作者 李继宇 闫国琦 张铁民 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第6期63-65,69,共4页
MEMS陀螺仪作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测与导航控制中有着广泛应用。根据三轴数字陀螺仪的数学模型,设计了三轴数字陀螺仪的标定实验,介绍了数学模型中陀螺仪标度因数、安装误差系数以及零偏移值的计算与处理方法。理论分析与... MEMS陀螺仪作为低成本惯性测量单元在物体姿态监测与导航控制中有着广泛应用。根据三轴数字陀螺仪的数学模型,设计了三轴数字陀螺仪的标定实验,介绍了数学模型中陀螺仪标度因数、安装误差系数以及零偏移值的计算与处理方法。理论分析与实验结果表明:该标定方法原理简单、易于实现,且标定结果精度高,标定后的解算矩阵可为后续姿态解算和导航控制提供较为准确的量测数据,同时,该标定过程和数据处理方法对MEMS三轴数字陀螺仪的标定具有一定的参考价值。 展开更多
关键词 微机电系统 三轴陀螺仪 数学模型 标定
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MEMS陀螺仪结构模型及系统仿真 被引量:18
14
作者 曹慧亮 李宏生 +2 位作者 王寿荣 杨波 黄丽斌 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2013年第4期524-529,共6页
为了减小MEMS陀螺仪的正交误差,进一步提高陀螺精度,在Simulink环境中对陀螺结构和测控系统进行了建模和仿真。首先在理想状态的陀螺结构模型基础上建立了包含机械热噪声、模态间耦合等非理想因素的结构模型,并给出了陀螺结构的相关设... 为了减小MEMS陀螺仪的正交误差,进一步提高陀螺精度,在Simulink环境中对陀螺结构和测控系统进行了建模和仿真。首先在理想状态的陀螺结构模型基础上建立了包含机械热噪声、模态间耦合等非理想因素的结构模型,并给出了陀螺结构的相关设计参数。其次在陀螺结构模型上以自激振荡和AGC控制技术为基础设计了驱动回路,该回路可在短时间内将驱动幅度稳定在10μm,且驱动频率为4048 Hz(驱动模态的谐振频率)。然后分析了模态间耦合信号的作用方式并建立了正交校正和检测闭环力反馈回路,仿真结果显示,在全闭环状态下检测模态所受耦合力的幅度比未校正状态下降了5个数量级,等效输入角速度也从205(°)/s下降到了6.58(°)/h。最后对陀螺模型进行了整体测试,得到其标度因数和阈值分别为21.76 mV/(°)/s和0.002(°)/s。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 结构模型 SIMULINK 系统仿真
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MEMS陀螺仪器件级真空封装技术 被引量:24
15
作者 施芹 苏岩 +1 位作者 裘安萍 朱欣华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第8期1987-1992,共6页
为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品... 为进一步提高MEMS陀螺仪的品质因数及其稳定性,研究了MEMS陀螺仪器件级真空封装的高真空获取技术和真空保持技术。以Z轴MEMS陀螺仪动力学方程为基础,分析了MEMS陀螺仪的误差信号与品质因数之间的关系,并采用稀薄气体动力学分析具有高品质因数陀螺仪的空气阻尼。对早期真空封装陀螺仪品质因数的变化曲线进行了分析,得出了腔体内残余气体是品质因数下降的主要原因。采用程序升温脱附质谱分析法(TPD-MS)分析陶瓷管壳和金属盖板的放气特性,并选用了合适的吸气剂。最后,改进了器件级真空封装流程。测试结果表明,采用改进的器件级真空封装的陀螺仪品质因数最高可达162660,约为早期真空封装陀螺仪品质因数的14倍,且在一年内的变化<0.05%。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 真空封装 真空保持度 吸气剂
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MEMS振动陀螺闭环自激驱动的理论分析及数值仿真 被引量:21
16
作者 王展飞 鲁文高 +1 位作者 李峰 李志宏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1337-1342,共6页
对采用AGC(automatic gain control)控制实现的陀螺闭环自激驱动系统进行了理论分析,利用平均技术和相平面法求解出了MEMS振动陀螺闭环自激驱动系统的起振条件以及幅度稳定条件的解析表达式,并进行了数值仿真验证。在该闭环驱动系统中,... 对采用AGC(automatic gain control)控制实现的陀螺闭环自激驱动系统进行了理论分析,利用平均技术和相平面法求解出了MEMS振动陀螺闭环自激驱动系统的起振条件以及幅度稳定条件的解析表达式,并进行了数值仿真验证。在该闭环驱动系统中,通过引入PI控制器消除了振动幅度控制的稳态误差。仿真结果很好地吻合了理论分析,理论分析结果可用于指导自激驱动系统的硬件实现。 展开更多
关键词 自激振荡 mems陀螺 AGC PI控制
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基于Kalman滤波的MEMS陀螺仪滤波算法 被引量:44
17
作者 钱华明 夏全喜 +1 位作者 阙兴涛 张强 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1217-1221,共5页
针对MEMS陀螺仪精度不高、随机噪声复杂的问题,研究了某MEMS陀螺仪的随机漂移模型.应用时间序列分析方法,采用AR(1)模型对经过预处理的MEMS陀螺仪测量数据噪声进行建模,进而基于该AR模型并采用状态扩增法设计Kalman滤波器.速率试验和摇... 针对MEMS陀螺仪精度不高、随机噪声复杂的问题,研究了某MEMS陀螺仪的随机漂移模型.应用时间序列分析方法,采用AR(1)模型对经过预处理的MEMS陀螺仪测量数据噪声进行建模,进而基于该AR模型并采用状态扩增法设计Kalman滤波器.速率试验和摇摆试验仿真结果表明,在静态和恒定角速率条件下,采用该算法滤波后的MEMS陀螺仪的误差均值和标准差都比滤波前有了明显的降低.针对摇摆基座下该算法随摆动幅度的增大效果变差的问题,从提高采样率和选择自适应Kalman滤波2个方面对算法进行改进.仿真结果表明,2种方法都能改善滤波效果,然而考虑到系统采样频率和CPU计算速度的限制,自适应滤波有更高的实用性. 展开更多
关键词 随机漂移 微机电系统 KALMAN滤波 自适应Kalman滤波 陀螺仪
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石英MEMS陀螺的结构特性分析 被引量:8
18
作者 林日乐 谢佳维 +3 位作者 周倩 满欣 李文蕴 张巧云 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第4期544-546,553,共4页
介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结... 介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结构优化和合理的电极布局,提高了石英MEMS陀螺的性能。 展开更多
关键词 石英 微机电系统(mems) 陀螺 音叉
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基于卡尔曼滤波的MEMS陀螺仪漂移补偿 被引量:21
19
作者 陈晨 赵文宏 +2 位作者 徐慧鑫 周芬芬 安平 《机电工程》 CAS 2013年第3期311-313,321,共4页
为解决MEMS陀螺仪在测量过程中容易产生漂移的问题,将卡尔曼算法应用于陀螺仪的漂移补偿中。分析了陀螺仪误差源,建立了陀螺仪误差模型,提出了用卡尔曼滤波算法处理陀螺仪零点随机误差的方法,通过运用Allan方差分析法评价了卡尔曼滤波效... 为解决MEMS陀螺仪在测量过程中容易产生漂移的问题,将卡尔曼算法应用于陀螺仪的漂移补偿中。分析了陀螺仪误差源,建立了陀螺仪误差模型,提出了用卡尔曼滤波算法处理陀螺仪零点随机误差的方法,通过运用Allan方差分析法评价了卡尔曼滤波效果;最后,在转速测试平台上进行了陀螺仪测量试验。研究结果表明,通过建立误差模型和采用卡尔曼滤波算法能有效减小陀螺仪测量过程中的漂移。 展开更多
关键词 mems陀螺仪 卡尔曼滤波 Allan方差分析法
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基于灰色模型和RBF神经网络的MEMS陀螺温度补偿 被引量:25
20
作者 李士心 王晓亮 +1 位作者 翁海娜 孙学成 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2010年第6期742-746,共5页
MEMS陀螺的零偏随温度呈非线性变化,同时含有较大的随机噪声。针对传统的多项式模型难以精确表达零偏随温度变化的问题,提出了一种基于灰色模型和RBF神经网络的MEMS陀螺温度补偿方法:首先用灰色模型对数据进行预处理,以减小原始数据的噪... MEMS陀螺的零偏随温度呈非线性变化,同时含有较大的随机噪声。针对传统的多项式模型难以精确表达零偏随温度变化的问题,提出了一种基于灰色模型和RBF神经网络的MEMS陀螺温度补偿方法:首先用灰色模型对数据进行预处理,以减小原始数据的噪声;然后用降噪后的样本数据对RBF神经网络进行训练。在相同的训练次数下训练误差可减小一个数量级。验证试验结果表明,采用该模型补偿后的陀螺零偏误差较传统的多项式模型减小一个数量级,较未经预处理的RBF神经网络减小2/3。 展开更多
关键词 mems陀螺 灰色模型 RBF神经网络 温度补偿
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