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微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究
被引量：
2
1
作者
郝瑞
彭倍
周吴
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第17期2118-2124,共7页
微机电系统(MEMS)压电振动台作为加速度传感器现场标定平台的新秀,能够提供片上物理驱动环境,为加速度传感器的快速重新标定提供持续稳定的加速度信号,然而用于压电振动台驱动的压电材料具有明显的迟滞特性,严重影响平台振动信号的稳定...
微机电系统(MEMS)压电振动台作为加速度传感器现场标定平台的新秀,能够提供片上物理驱动环境,为加速度传感器的快速重新标定提供持续稳定的加速度信号,然而用于压电振动台驱动的压电材料具有明显的迟滞特性,严重影响平台振动信号的稳定性和连续性。基于上述振动台振动特性,建立基于多项式拟合的压电迟滞模型,采用前馈控制和反馈控制相结合的复合控制方法对压电振动台进行控制和加速度滞后补偿。实验结果表明,在10 V(317 Hz)正弦电压激励下,MEMS压电振动台提供的简谐振动信号的加速度最大误差从1.3g降到了0.05g。
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关键词
mems
压电振动平台
压电迟滞模型
复合控制
加速度传感器自标定
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职称材料
题名
微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究
被引量：
2
1
作者
郝瑞
彭倍
周吴
机构
电子科技大学机械与电气工程学院
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第17期2118-2124,共7页
基金
国家自然科学基金(52075082,51975107)
四川省科技厅区域创新合作项目(2020YFQ0017)。
文摘
微机电系统(MEMS)压电振动台作为加速度传感器现场标定平台的新秀,能够提供片上物理驱动环境,为加速度传感器的快速重新标定提供持续稳定的加速度信号,然而用于压电振动台驱动的压电材料具有明显的迟滞特性,严重影响平台振动信号的稳定性和连续性。基于上述振动台振动特性,建立基于多项式拟合的压电迟滞模型,采用前馈控制和反馈控制相结合的复合控制方法对压电振动台进行控制和加速度滞后补偿。实验结果表明,在10 V(317 Hz)正弦电压激励下,MEMS压电振动台提供的简谐振动信号的加速度最大误差从1.3g降到了0.05g。
关键词
mems
压电振动平台
压电迟滞模型
复合控制
加速度传感器自标定
Keywords
micro-electro-mechanical
system(
mems
)
piezoelectric
vibratory
platform
piezoelectric
hysteresis model
compound control
accelerometer self-calibration
分类号
TH703 [机械工程—精密仪器及机械]
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出处
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被引量
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1
微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究
郝瑞
彭倍
周吴
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
2
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