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题名先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展
被引量：9
- 1
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作者
何杰
朴继军
朱玲瑞
袁小平
胡少勤
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机构
中国电子科技集团公司第二十六研究所
中国电子科技集团公司第四十四研究所
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出处
《压电与声光》
CAS
北大核心
2019年第3期410-415,共6页
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文摘
微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用。高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用。该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述。
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关键词
微纳加工技术
微陀螺
微半球谐振陀螺
微光学陀螺
声表面波(SAW)陀螺
微惯性测量单元
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Keywords
micro/nano processing technology
micro gyroscope
milli-hemispherical resonator gyro (m-HRG)
micro-optical gyroscope (MOG)
SAW gyroscope
MIMU
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分类号
TN65
[电子电信—电路与系统]
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题名微型固体波动陀螺技术发展研究
被引量：3
- 2
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作者
蒋军彪
刘奎
谭鹏立
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机构
西安现代控制技术研究所
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出处
《弹箭与制导学报》
北大核心
2021年第6期12-17,共6页
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基金
装备发展预研项目(170441417078)资助。
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文摘
微型固体波动陀螺具有超高精度的潜质,可作为不依赖卫星的导航系统的传感器。首先简述了固体波动陀螺的技术方案;然后较为详细介绍了微型半球谐振陀螺的发展现状和制备工艺;着重讨论了微型半球谐振陀螺的主要误差源;最后分析了存在的问题,提出了解决途径。
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关键词
微型固体波动陀螺
微型半球谐振陀螺
谐振子
频率裂解
锁区
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Keywords
micro solid state gyro
micro hemisphere resonator gyro(mhrg)
resonator
frequency split
lock-in
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名石英半球型微谐振器的仿真与加工
被引量：2
- 3
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作者
邢亚亮
张卫平
唐健
孙殿竣
刘朝阳
欧彬
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机构
上海交通大学微纳电子学系微米/纳米加工技术重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第4期553-556,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61574093)
航空基金资助项目(2013ZC57003)
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文摘
该文对石英半球型微谐振器进行了模态仿真,分析了前十阶振型及适合陀螺工作的模态,讨论了谐振器壁厚变化对四波腹模态谐振频率的影响。利用吹玻璃法和湿法腐蚀制作了石英半球型微谐振器,跟踪不同的腐蚀速率得出湿法腐蚀可精确控制壁厚的结论。测试腐蚀后的谐振器表面粗糙度仅为0.581nm,保留了原子级别的光滑度。
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关键词
石英半球型微谐振器
半球谐振陀螺
模态分析
湿法腐蚀
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Keywords
micro silica hemispherical resonator
hemispherical resonator gyro
mode analysis
wet etching
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分类号
TN252
[电子电信—物理电子学]
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名一种微半球陀螺分时控制系统降噪方法
被引量：1
- 4
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作者
陈鹤
丁徐锴
李宏生
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机构
东南大学仪器科学与工程学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2022年第5期117-120,共4页
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基金
国家自然科学基金青年科学基金项目(52005101)
江苏省科技计划项目青年基金项目(BK20200392)。
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文摘
为提高微半球陀螺仪分时控制系统输出信号的测量精度,提出了一种在系统开关切换通道中增加卸荷通道的降噪方法。通过建立陀螺工作状态切换等效模型,对降噪方法的有效性进行理论分析和仿真验证,然后设计相应数字测控电路进行噪声性能测试。实验数据显示,改进后的分时系统输出信号均方差降低了67%,角度随机游走降低了52%,噪声性能有效提升。
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关键词
微半球谐振陀螺
分时控制系统
卸荷通道
工作状态
均方差
角度随机游走
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Keywords
micro-hemispheric resonator gyro
time-sharing control system
unloading channel
working state
mean square error
angle random walk
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分类号
V241
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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