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电火花加工单晶硅微结构的表面质量及成形精度
1
作者 孙瑶 董俊逸 +1 位作者 唐本甲 李思慧 《东北大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第2期96-103,共8页
以电火花加工(EDM)P型单晶硅为实验对象,探究单晶硅加工表面的形貌特征及微观放电凹坑特性,揭示电火花加工单晶硅的材料去除机理,即应力蚀除作用大于熔化和气化蚀除作用.开展单晶硅微槽和微孔的加工工艺实验研究,探究电火花加工单晶硅... 以电火花加工(EDM)P型单晶硅为实验对象,探究单晶硅加工表面的形貌特征及微观放电凹坑特性,揭示电火花加工单晶硅的材料去除机理,即应力蚀除作用大于熔化和气化蚀除作用.开展单晶硅微槽和微孔的加工工艺实验研究,探究电火花加工单晶硅微结构的成形精度、尺寸偏差、截面轮廓起伏高度和表面质量,揭示主要加工参数对电火花加工单晶硅的材料去除率、表面形貌、表面粗糙度的影响规律. 展开更多
关键词 单晶硅 电火花加工 微槽 微孔 表面形貌 成形精度
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超声辅助/复合多能场加工技术研究综述
2
作者 朱永伟 陈美伶 +2 位作者 韩昇 胡辰 赵建社 《航空制造技术》 北大核心 2025年第1期38-53,共16页
随着科技的飞速进步,难加工材料、异形面零部件得到广泛应用,传统切削技术难以(或不能)解决不断涌现的加工难题。超声、激光、放电及电解加工等特种加工方法可有效解决此类技术难题。单一加工技术各有优点,但均有其局限性,如切削加工高... 随着科技的飞速进步,难加工材料、异形面零部件得到广泛应用,传统切削技术难以(或不能)解决不断涌现的加工难题。超声、激光、放电及电解加工等特种加工方法可有效解决此类技术难题。单一加工技术各有优点,但均有其局限性,如切削加工高硬材料难度大,加工效率及精度差;超声加工只对硬脆性材料效果显著;放电成形及线切割加工总体效率较低且有表面变质层;常规参数电解加工精度不够高且存在环境保护问题。在实践中,将超声效应有效辅助/复合的多能场加工方法具有多技术复合优势。本文针对超声辅助切削、超声辅助激光、超声复合放电、超声复合电解及超声复合机械–电解–放电等多能场加工的机理、技术特点及应用现状进行系统分析与综述。超声辅助切削加工可显著减小切削力、切削热,改善排屑条件,减小(或避免)加工表面缺陷,有效提高加工精度与效率;超声辅助激光加工可有效解决产物排出及表面质量问题;超声复合放电加工可在保证加工精度的同时有效提高加工效率,同时超声的抛磨作用可改善放电加工表面质量;因超声效应可增强和改善电解极间作用效果,提高材料电解去除的非线性,超声复合电解加工在具有较好的加工速度及表面质量的同时,加工精度可得到明显提高;超声复合机械–电解–放电等多能场加工方法的参数相互作用可“存利去弊”,具有多技术复合优势。通过多能场各参数的优化协调,可对不同性能材料与加工要求的难加工零部件实现优化加工。本文对超声辅助/复合多能场加工特点、技术指标及实际应用进行了较系统的归纳与总结,分析其存在问题,探讨有效解决措施,对未来的相关研究工作进行分析与展望。 展开更多
关键词 超声加工 复合电加工 机械–电解–放电 辅助切削 多能场加工
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铜-石墨复合电极材料制备及抗电蚀性能分析 被引量：9
3
作者 明平美 朱荻 +1 位作者 朱健 贾世星 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1021-1025,共5页
通过复合电铸技术,在耐电蚀性强的铜主体中引入抗电蚀性能优异的石墨微粉,制备了铜-石墨复合电极材料,探讨了复合电沉积条件与石墨含量的关系,用扫描电子显微镜分析了复合铸层的形貌特点,测定了表面粗糙度和显微硬度,试验研究了复合电... 通过复合电铸技术,在耐电蚀性强的铜主体中引入抗电蚀性能优异的石墨微粉,制备了铜-石墨复合电极材料,探讨了复合电沉积条件与石墨含量的关系,用扫描电子显微镜分析了复合铸层的形貌特点,测定了表面粗糙度和显微硬度,试验研究了复合电极材料的抗电蚀能力。结果表明,在一定工艺条件下制备的铜-石墨复合电极材料表现出较优异的抗电蚀性能。 展开更多
关键词 复合电铸 微细电火花加工(microedm) 石墨 抗电蚀性
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微细电火花加工系统及其工艺技术 被引量：15
4
作者 张勇 赵航 +2 位作者 张广玉 王振龙 赵万生 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期526-530,共5页
开发了一套微细电火花加工系统,该系统不仅能加工微细轴、微细孔,还能实现微三维结构的微细电火花加工。研究了针对该系统的微细电火花加工工艺技术,研究了放电电压、放电电容等工艺参数,主轴转速,以及工作液介质对微细电火花加工效率... 开发了一套微细电火花加工系统,该系统不仅能加工微细轴、微细孔,还能实现微三维结构的微细电火花加工。研究了针对该系统的微细电火花加工工艺技术,研究了放电电压、放电电容等工艺参数,主轴转速,以及工作液介质对微细电火花加工效率、相对电极损耗率的影响规律。采用旋转削边电极技术大大提高了进行大深径比微细孔加工时的加工效率。进行了大量的加工实验,加工出了最小直径为6μm的微细轴以及最小直径为10μm的微细孔;通过对电极损耗的在线补偿策略研究,实现了微三维结构的加工,加工出了外径为4mm、具有24个叶片的微型涡轮盘及具有微三维结构的微细梁,充分证实了该系统的广泛适用性。 展开更多
关键词 微细电火花加工 微细轴 微细孔 微三维结构
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微细电火花加工脉冲电源及其脉冲控制技术 被引量：16
5
作者 蒋毅 赵万生 +1 位作者 顾琳 康小明 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期1684-1689,1694,共7页
为了提高微细电火花加工效率,通过分析微细电火花加工特点,改进了主放电回路,设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的微细电火花加工脉冲电源.该电源集成了放电状态检测功能,能够判断每一个脉冲的放电状态,并及时切断有害脉冲.设计了... 为了提高微细电火花加工效率,通过分析微细电火花加工特点,改进了主放电回路,设计了一种基于现场可编程门阵列(FPGA)的微细电火花加工脉冲电源.该电源集成了放电状态检测功能,能够判断每一个脉冲的放电状态,并及时切断有害脉冲.设计了应用于微细电火花加工的清扫脉冲回路,可在极间加载高能量窄脉宽的清扫脉冲,以清除积聚在极间的加工屑.利用该电源在桌面式微细电火花加工机床上进行了微细深孔加工实验和微细孔极限加工实验,取得了较好的加工效果. 展开更多
关键词 微细电火花加工 脉冲电源 清扫脉冲 深小孔
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空气中微细电火花沉积的工艺规律研究 被引量：6
6
作者 金柏冬 曹国辉 +2 位作者 王振龙 肖凯 赵万生 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期111-115,共5页
论述了一种新的电火花加工方法,它通过合理选择工艺条件在空气中将金属材料放电沉积在工件上。对电火花沉积加工的基本原理进行了分析,预测了实现条件,使用通用的电火花成形加工机床和常见的电极材料黄铜,在空气介质中,通过大量实验对... 论述了一种新的电火花加工方法,它通过合理选择工艺条件在空气中将金属材料放电沉积在工件上。对电火花沉积加工的基本原理进行了分析,预测了实现条件,使用通用的电火花成形加工机床和常见的电极材料黄铜,在空气介质中,通过大量实验对微细电火花沉积进行了系统研究,得出各工艺参数的影响规律。在高速钢工件表面沉积出直径为0.19mm、高度为7.35mm的微小圆柱体。对沉积材料的测试表明,沉积材料致密,与基体结合紧密,成分取决于工具电极材料,同时基体硬度得到提高。 展开更多
关键词 微细加工 电火花加工 电火花沉积 工艺参数
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微细电火花加工装置及其控制技术 被引量：8
7
作者 张勇 张广玉 +2 位作者 王振龙 李志勇 赵万生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期78-82,86,共6页
设计开发出了具有四轴三联动的微细电火花加工装置.针对该装置,对微细电极的制作控制技术、成型加工的伺服控制和微三维结构加工过程中电极损耗的补偿控制等进行了深入研究.在充分分析伺服机构性能的基础上,提出针对不同加工目的采用不... 设计开发出了具有四轴三联动的微细电火花加工装置.针对该装置,对微细电极的制作控制技术、成型加工的伺服控制和微三维结构加工过程中电极损耗的补偿控制等进行了深入研究.在充分分析伺服机构性能的基础上,提出针对不同加工目的采用不同的伺服控制策略,不仅解决了伺服机构在微位移进给过程中存在的爬行问题,同时也较好地解决了电极制作过程中存在的伺服振荡问题;对电极损耗的补偿控制技术进行了深入的研究,进而提出了电极损耗的在线补偿策略,该补偿策略作为微细电火花加工控制系统的一个组成部分,使电极损耗的补偿与微细铣削加工的CAD/CAM系统分开,大大提高了微细电火花进行三维微结构加工的实用性.实验加工出最小直径为6μm的微细轴以及最小直径为10μm微细孔,并实现了外径为4 mm、具有24个叶片的微型涡轮盘以及直径为150μm微小半球的加工. 展开更多
关键词 微细电火花加工 伺服控制策略 电极损耗补偿 微结构
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IN718镍基高温合金电火花加工表面完整性初步研究 被引量：9
8
作者 李丽 魏修亭 +2 位作者 程祥 殷凤仕 侯荣国 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第24期3479-3483,共5页
镍基合金具有优良的性能而获得广泛的应用,针对切削加工中存在的问题,采用与材料的力学性能无关的电火花进行加工,通过对其电火花加工实验,初步研究了峰值电流和脉冲宽度加工参数对加工表面完整性的影响规律。结果表明,表面粗糙度随峰... 镍基合金具有优良的性能而获得广泛的应用,针对切削加工中存在的问题,采用与材料的力学性能无关的电火花进行加工,通过对其电火花加工实验,初步研究了峰值电流和脉冲宽度加工参数对加工表面完整性的影响规律。结果表明,表面粗糙度随峰值电流和脉冲宽度的增大而增大,与电极丝的运动方向无关。加工表面由微观组织规则的凹坑、熔滴和微小孔组成,加工表面无微观裂纹存在。显微硬度变化不大,无加工硬化现象。随脉冲能量减小,重铸现象减轻,加工表面完整性越好。 展开更多
关键词 镍基合金 电火花 加工表面完整性 表面粗糙度 微观形貌
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微细电火花加工的底面轮廓模型及定长补偿方法 被引量：15
9
作者 裴景玉 邓容 胡德金 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期42-46,共5页
针对三维金属微细结构的微细电火花加工,应用等损耗理论,采用分层加工方法建立了单道加工时底面形状随电极损耗变化的轮廓模型.在此基础上,提出定长补偿的方法,给出了补偿长度计算公式,并对底面轮廓模型以及定长补偿方法进行仿真分析.... 针对三维金属微细结构的微细电火花加工,应用等损耗理论,采用分层加工方法建立了单道加工时底面形状随电极损耗变化的轮廓模型.在此基础上,提出定长补偿的方法,给出了补偿长度计算公式,并对底面轮廓模型以及定长补偿方法进行仿真分析.实验测定了微细条件下钨打钢的相对体积损耗比,进行了无补偿和定长补偿的实验加工.仿真及实验结果表明:无补偿时底面轮廓呈指数曲线,与实验结果相吻合;定长补偿方法加工的底面轮廓为恒定的波动曲线;随着补偿精度增加,底面轮廓的波动范围增大;在符合端面损耗理论的范围内,分层厚度越大,加工的相对误差越小.所提出的定长补偿方法提高了加工尺寸精度和形状精度. 展开更多
关键词 电火花加工 微细电火花加工 底面轮廓 补偿
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超声振动辅助电火花微孔加工研究进展 被引量：6
10
作者 殷振 张鹏 +5 位作者 于大国 沈兴全 苗情 戴晨伟 张坤 李华 《航空制造技术》 CSCD 北大核心 2022年第8期53-63,共11页
超声振动辅助电火花(UVE)微孔加工作为一种特种复合加工技术,是提高难加工材料微孔加工性能的有效途径之一。在UVE微孔加工中,根据超声振动作用形式不同,可分为电极振动、工件振动和工作液振动3种微孔加工方式。电极振动的UVE微孔加工中... 超声振动辅助电火花(UVE)微孔加工作为一种特种复合加工技术,是提高难加工材料微孔加工性能的有效途径之一。在UVE微孔加工中,根据超声振动作用形式不同,可分为电极振动、工件振动和工作液振动3种微孔加工方式。电极振动的UVE微孔加工中,超声频率一般为20~40kHz,超声振幅为5μm左右,材料去除率可提高40%~60%,可加工深径比最大接近30的微孔。工件振动的UVE微孔加工中,超声频率大多小于30kHz,超声振幅小于10μm,材料去除率可提高40%左右,微孔锥度降低30%左右。工作液振动的UVE微孔加工中,超声频率一般大于40kHz,超声振幅大于5μm,材料去除率最大可提高33倍,孔壁粗糙度可达Ra0.2μm。对3种类型的UVE微孔加工的研究成果进行了总结与分析,探讨了3种类型的UVE微孔加工机理以及存在的问题,对比了3种振动类型的UVE微孔加工特点以及适用范围,并对UVE微孔加工发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 电火花加工 超声振动辅助电火花(UVE) 微孔加工 加工质量 加工机理
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电蚀产物对微细电火花电极形状损耗影响的实验研究 被引量：6
11
作者 李晓鹏 王元刚 +2 位作者 刘宇 王慧 赵福令 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第15期1815-1822,1889,共9页
针对微细电火花加工技术特点,开展电极形状损耗形成机理的研究,设计了开放状态微细电火花加工实验方法,实现电蚀产物浓度的改变;通过实验对比不同加工状态下微细电火花加工电极形状损耗变化、工件表面微观形貌和重熔层情况,系统研究不... 针对微细电火花加工技术特点,开展电极形状损耗形成机理的研究,设计了开放状态微细电火花加工实验方法,实现电蚀产物浓度的改变;通过实验对比不同加工状态下微细电火花加工电极形状损耗变化、工件表面微观形貌和重熔层情况,系统研究不同电蚀产物浓度作用下电极形状损耗的影响规律;分析微细电极形状损耗的影响机制,总结内凹坑形状变化与电蚀产物的内在关系。研究成果为实现微细电极的形状控制提供了一定的实验及理论依据,达到了提升微细电火花加工质量和加工稳定性的目标。 展开更多
关键词 微细电火花加工 放电通道 电极形状损耗 电蚀产物
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基于Linux的微细电火花加工数控系统的研究 被引量：8
12
作者 郭锐 赵万生 +2 位作者 李论 李志勇 郑君民 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2007年第2期370-374,380,共6页
为了满足微细电火花加工高精度、高灵敏度和强实时性的运动控制要求,提出了以可编程多轴控制器为下位机、PC和Linux为上位机的体系结构,进行了六轴联动微细电火花加工数控系统的软硬件设计。为了解决微细电极在线制造和补偿等技术难题,... 为了满足微细电火花加工高精度、高灵敏度和强实时性的运动控制要求,提出了以可编程多轴控制器为下位机、PC和Linux为上位机的体系结构,进行了六轴联动微细电火花加工数控系统的软硬件设计。为了解决微细电极在线制造和补偿等技术难题,该数控系统集成了机器视觉功能,基于V4L2应用程序接口开发了图像采集程序,基于OpenCV开发了图像处理程序,通过Canny边缘检测算法,提取了微细电极的边缘轮廓,可以在线观察和测量微细电极。此外,基于Lex和YACC设计并实现了数控代码解释器。 展开更多
关键词 微细电火花加工 运动控制器 LINUX 数控系统
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超声—电解复合微细加工阴极制作工艺研究 被引量：8
13
作者 朱永伟 徐玉明 齐金华 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期46-49,共4页
介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截... 介绍超声—电解复合微细加工原理,分析微细阴极工作特点及制作难点,提出微细组合放电加工制作阴极的方法;利用精密电加工设备,通过"联动复合进给"、"内、外面转换"及"平动与拷贝"式微细放电,制作多种截形的微细阴极;进行超声—电解复合微细加工试验,阴极可满足使用要求。 展开更多
关键词 超声 电解 复合微细加工 微细阴极制作 微细放电
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一种高深宽比微细槽的电火花加工工艺 被引量：6
14
作者 崔晶 李勇 熊英 《北京工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期289-293,共5页
为实现高深宽比微槽的加工,提出了一种自成形和扫描加工相结合的微细扁平电极制作及微细槽加工的工艺方法.采用棒状毛坯电极在一平板试件上扫描加工出一定长度的通槽,将毛坯电极沿垂直通槽方向向左和右偏移,两侧分别进行电火花反拷加工... 为实现高深宽比微槽的加工,提出了一种自成形和扫描加工相结合的微细扁平电极制作及微细槽加工的工艺方法.采用棒状毛坯电极在一平板试件上扫描加工出一定长度的通槽,将毛坯电极沿垂直通槽方向向左和右偏移,两侧分别进行电火花反拷加工,得到扁平微细电极.再采用该扁平电极在线进行扫描加工即可得到期望的微细槽.实验获得了深径比大于18及尺寸一致性较高的阵列微细槽.与反拷或线电极磨削得到微细电极相比,自成形电极方法降低安装精度要求.而采用扁平电极进行微深槽的微细电火花加工,相对提高电极截面面积,降低电极损耗率,有利于提高加工效率. 展开更多
关键词 电火花加工 微细加工 微细电极 微槽
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多工位组合电极电火花成形微凹槽结构 被引量：5
15
作者 宋满仓 李文明 +1 位作者 刘莹 刘冲 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3371-3377,共7页
针对具有复杂微尺度凹槽结构的高硬度模具钢型腔难以加工的难题,提出了一种多工位组合电极电火花成形的新方法。以某种聚合物微流控芯片模具型腔为研究对象,选用NAK80模具钢为型腔材料,铜钨合金(W75%)为相应的微凸起结构电极材料并经由... 针对具有复杂微尺度凹槽结构的高硬度模具钢型腔难以加工的难题,提出了一种多工位组合电极电火花成形的新方法。以某种聚合物微流控芯片模具型腔为研究对象,选用NAK80模具钢为型腔材料,铜钨合金(W75%)为相应的微凸起结构电极材料并经由高速铣削加工。为降低加工难度及保障加工质量,对复杂微凸起结构进行分解,形成2组4工位组合电极;采用周铣、端铣交替进行的工艺使微凸起上表面的毛刺连续发生塑性变形从而减小和去除微凸起结构顶端的加工毛刺。最后,利用制备好的多工位组合电极,采用变换工位代替更换电极的加工方式,通过精密电火花成形,依次完成粗、半精与精加工。结果表明:加工的凹槽侧壁与底面垂直度较好,宽度、高度误差在3μm以内,根部圆角在15μm以内,可以满足成型聚合物微流控芯片的使用要求。 展开更多
关键词 微凹槽结构 微尺度型腔 多工位组合电极 高速铣削 去毛刺 电火花成形
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微细电火花线切割与超精磨削加工表面摩擦性能比较 被引量：5
16
作者 崔海 郭黎滨 +1 位作者 张彬 陆喜文 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期3687-3692,共6页
采用小于16μJ的微能量进行微细电火花线切割加工,结合放电机理、润滑理论和热力学传递过程,综合研究微细电火花线切割加工表面在润滑条件下的摩擦磨损性能,并与超精磨削加工表面在同种条件下进行对比。研究结果表明:由于微细电火花线... 采用小于16μJ的微能量进行微细电火花线切割加工,结合放电机理、润滑理论和热力学传递过程,综合研究微细电火花线切割加工表面在润滑条件下的摩擦磨损性能,并与超精磨削加工表面在同种条件下进行对比。研究结果表明:由于微细电火花线切割加工表面微观形貌的各向同性特征,其表面支承面积率增加速度快,核心区容积和谷底区容积都较大,支承特性和液体滞留性均优良;不同电参数加工的表面在不同转速和不同载荷的润滑摩擦下均处于边界和流体润滑状态,且摩擦因数稳定,具有明显的优于超精磨削加工表面的摩擦学性能。 展开更多
关键词 微细电火花线切割 润滑 表面形貌 摩擦因数
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微细喷油孔电火花加工机床的研制 被引量：5
17
作者 李文卓 颜国正 于云霞 《中国石油大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第1期82-85,共4页
设计开发了一台高精度、高性能，具有自主知识产权的微细孔电火花喷孔加工机床。该机床采用卧式布局旋转主轴，主轴转速可调。采用基于压电陶瓷与步进电机结合的宏微伺服进给系统，能实现电极的微步距振动式进给。配有制作微细工具电极... 设计开发了一台高精度、高性能，具有自主知识产权的微细孔电火花喷孔加工机床。该机床采用卧式布局旋转主轴，主轴转速可调。采用基于压电陶瓷与步进电机结合的宏微伺服进给系统，能实现电极的微步距振动式进给。配有制作微细工具电极的反拷系统，能够在线获得所需的各种尺寸的工具电极。该机床能稳定加工各种柴油机喷嘴的喷孔，尤其适合加工孔径为0．05～0．20mm的喷孔，加工精度达0．001—0．005mm，加工效率达到20～50s／孔。 展开更多
关键词 微细喷油孔 电火花加工 机床 宏微驱动 柴油机
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材料晶界和晶粒对电火花微细加工的影响研究 被引量：3
18
作者 李剑忠 沈飞虎 +1 位作者 殷国强 余祖元 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第13期1601-1604,共4页
为了在电火花微细加工中确定合理的工具损耗补偿工艺与加工工艺,提高微小零件微细加工的质量,通过在合金材料上选择晶粒和晶界部位大量加工微孔以及其后的统计分析,研究了微细电火花加工过程中工件材料晶粒与晶界对放电间隙、材料去除... 为了在电火花微细加工中确定合理的工具损耗补偿工艺与加工工艺,提高微小零件微细加工的质量,通过在合金材料上选择晶粒和晶界部位大量加工微孔以及其后的统计分析,研究了微细电火花加工过程中工件材料晶粒与晶界对放电间隙、材料去除速度以及电极体积相对损耗等加工特性的影响。研究结果表明,由于工件材料中晶粒和晶界在成分、熔点、热导率以及机械性能等方面的差异,当用微细电火花进行微细加工,特别是当加工尺度小于工件材料的晶粒尺寸时,晶粒和晶界的加工特性具有明显差别,制订工具损耗补偿工艺和加工工艺时应该考虑到材料微观结构对加工过程的影响。 展开更多
关键词 微细电火花 微细加工 晶粒 晶界
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大深径比微小孔快速电火花加工系统 被引量：5
19
作者 贾振元 任小涛 +1 位作者 刘巍 郑新毅 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期3055-3061,共7页
用电火花加工技术快速加工大深径比微小孔存在散热困难、排屑不畅、电极损耗大及加工过程不易控制等技术难点,为此,在分析电火花加工机理及加工特点的基础上,研发了一台用于快速加工大深径比微小孔的电火花机床。该设备采用立式布局,通... 用电火花加工技术快速加工大深径比微小孔存在散热困难、排屑不畅、电极损耗大及加工过程不易控制等技术难点,为此,在分析电火花加工机理及加工特点的基础上,研发了一台用于快速加工大深径比微小孔的电火花机床。该设备采用立式布局,通过应用电极旋转、工件振动的旋振式机构,实现了加工过程中快速散热和排屑;通过采取工业控制计算机搭载数据采集卡和运动控制器的方式,实现了加工过程的检测控制功能一体化。针对电火花加工过程中放电信号严重畸变以及放电状态不稳定导致加工状态难检测的问题,提出了两级模糊逐级映射放电状态检测方法,同时为了实现机床的快速响应和精确控制,设计了双闭环加工控制系统。实验表明,该机床适合于深径比超过10,小孔直径为60～200μm的微小孔快速加工,且性能稳定、可靠性高。 展开更多
关键词 电火花加工 大深径比微小孔 放电状态检测 加工过程控制
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微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术 被引量：6
20
作者 曾伟梁 王振龙 董德生 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1565-1568,共4页
针对LIGA制作微细群电极工艺复杂、价格昂贵的缺点,提出微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术.根据微细电火花放电的机理,利用微细群孔放电反拷来制作微细群电极.基于微细群电极反拷电加工时圆柱电极不能旋转的特点,在加工中复合了... 针对LIGA制作微细群电极工艺复杂、价格昂贵的缺点,提出微细群电极的电火花超声复合反拷加工技术.根据微细电火花放电的机理,利用微细群孔放电反拷来制作微细群电极.基于微细群电极反拷电加工时圆柱电极不能旋转的特点,在加工中复合了超声振动,并在理论分析的基础上,系统地研究超声振动对微细群电极反拷电加工的影响.得到一系列3×3的微细群电极和由这些群电极制作的微细群孔,单电极直径小于30μm,长径比大于10,表面光洁,有很好的同轴度. 展开更多
关键词 微细电火花加工 群电极 超声复合 反拷
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