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Photoresponse of the In0.3Ga0.7N metal-insulator-semiconductor photodetectors
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作者 周建军 文博 +7 位作者 江若琏 刘成祥 姬小利 谢自力 陈敦军 韩平 张荣 郑有炓 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第7期2120-2122,共3页
In0.3Ga0.7N metal-insulator-semiconductor (MIS) and metal-semiconductor (MS) surface barrier photodetectors have been fabricated. The In0.3Ga0.7N epilayers were grown on sapphire by metalorganic chemical vapour de... In0.3Ga0.7N metal-insulator-semiconductor (MIS) and metal-semiconductor (MS) surface barrier photodetectors have been fabricated. The In0.3Ga0.7N epilayers were grown on sapphire by metalorganic chemical vapour deposition (MOCVD). The photoresponse and reverse current-voltage characteristics of the In0.3Ga0.7N MIS and MS photodetectors were measured. A best zero bias responsivity of 0.18 A/W at 450 nm is obtained for the In0.3Ga0.7N MIS photodetector with 10 nm Si3N4 insulator layer, which is more than ten times higher than the In0.3Ga0.7N MS photodetector. The reason is attributed to the decrease of the interface states and increase of surface barrier height by the inserted insulator. The influence of the thickness of the Si3N4 insulator layer on the photoresponsivity of the MIS photodetector is also discussed. 展开更多
关键词 INGAN photodetector metal-insulator-semiconductor structure
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基于离心铸造法制备的CsPbBr_(3)多晶薄膜及其光电性能
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作者 云文磊 郭喜涛 +1 位作者 冯林 邓文娟 《半导体技术》 北大核心 2025年第4期358-364,共7页
金属卤化物钙钛矿因具有优异的光电特性,被广泛应用于光电探测器。然而,溶液法制备钙钛矿多晶薄膜的工艺复杂,且薄膜的连续性和致密度不高,进而影响其光电性能。使用溶液处理离心铸造法快速制备了连续且致密的CsPbBr_(3)多晶薄膜,采用... 金属卤化物钙钛矿因具有优异的光电特性,被广泛应用于光电探测器。然而,溶液法制备钙钛矿多晶薄膜的工艺复杂,且薄膜的连续性和致密度不高,进而影响其光电性能。使用溶液处理离心铸造法快速制备了连续且致密的CsPbBr_(3)多晶薄膜,采用叉指金电极构建了金属-半导体-金属结构的CsPbBr_(3)微米晶薄膜光电探测器。利用离心力增强CsPbBr_(3)微米晶粒之间的接触,形成连续且致密的高质量薄膜,最终有效地提升了CsPbBr_(3)多晶薄膜光电探测器的性能。所制备的光电探测器表现出出色的弱光电探测能力,在520 nm波长光源照射下,器件的光响应度和比探测率分别达到525 mA/W和2.8×10^(12)Jones。研究结果表明,通过离心铸造法能够有效地提高溶液处理的钙钛矿多晶薄膜的质量,进而提升其光电器件性能。 展开更多
关键词 金属卤化物钙钛矿 离心铸造法 金属-半导体-金属结构 CsPbBr_(3)多晶薄膜 光电探测器
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94K低温下和室温下GaN基MSM紫外光探测器性能的比较(英文) 被引量:1
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作者 包春玉 黎子兰 +6 位作者 陈志忠 秦志新 胡晓东 童玉珍 丁晓民 杨志坚 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期461-464,共4页
在采用MOCVD技术生长的GaN膜上制备出MSM紫外光探测器 ,分别在室温下和 94K低温下 ,测量了探测器对不同光波长的响应、同一光波长下对不同偏压的响应、不同斩波频率下的响应。结果表明 ,在 94K下响应有了很大的改善。当光波长从 36 0nm... 在采用MOCVD技术生长的GaN膜上制备出MSM紫外光探测器 ,分别在室温下和 94K低温下 ,测量了探测器对不同光波长的响应、同一光波长下对不同偏压的响应、不同斩波频率下的响应。结果表明 ,在 94K下响应有了很大的改善。当光波长从 36 0nm增加到 4 5 0nm时 ,响应下降了 3个数量级 ,而常温下只下降两个数量级 ,但探测器的时间响应常数变长了。 展开更多
关键词 低温 msm GAN 室温 氮化镓 紫外光探测器 时间响应常数
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具有势垒增强层的MSM光电探测器暗电流的计算 被引量:2
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作者 覃化 史常忻 王森章 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期176-180,共5页
将具有完全晶格匹配势垒增强层的MSM-PD简化为一维模型,并通过理论分析,得出了它的暗电流特性,进一步得到器件暗电流与势垒增强层的关系。
关键词 肖特基势垒 势垒增强层 暗电流特性 msm-pd
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Ultraviolet ZnO Photodetectors with High Gain 被引量:1
5
作者 Ghusoon M.Ali S.Singh P.Chakrabarti 《Journal of Electronic Science and Technology of China》 2010年第1期55-59,共5页
Fabrication and characterization of metal-semiconductor-metal ultraviolet (MSM UV) photodetector based on ZnO ultra thin (nano scale) films with Pd Schottky contact are reported. The ZnO thin film was grown on gla... Fabrication and characterization of metal-semiconductor-metal ultraviolet (MSM UV) photodetector based on ZnO ultra thin (nano scale) films with Pd Schottky contact are reported. The ZnO thin film was grown on glass substrate by thermal oxidation of preeposited zinc films using vacuum deposition technique. With applied voltage in the range from -3V to 3V, the contrast ratio, responsivity, and detectivity for an incident radiation of 0.1 mW at 365 nm wavelength were estimated. The proposed device exhibited a high gain which was attributed to the hole trapping at semiconductor-metal interface. I-V characteristics were studied and the parameters, such as ideality factor, leakage current, resistance-areaproduct, and barrier height, were extracted from the measured data. 展开更多
关键词 metal-semiconductor-metal msm Schottky contacts ultraviolet (UV) detector zinc oxide(ZnO).
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掺银硫系玻璃光电探测器响应波长特性研究
6
作者 吕松竹 赵建行 +3 位作者 周姚 曹英浩 宋瑛林 周见红 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期343-350,共8页
由于硫系玻璃具有良好的光学性质,在非线性光学等方面研究广泛,但基于硫系玻璃光电探测器的相关研究却很少。本文利用真空共热蒸发技术制备了不同掺银比例的硫系玻璃薄膜作为半导体膜层结构,并设计构建了金属-绝缘体-半导体结构的自供... 由于硫系玻璃具有良好的光学性质,在非线性光学等方面研究广泛,但基于硫系玻璃光电探测器的相关研究却很少。本文利用真空共热蒸发技术制备了不同掺银比例的硫系玻璃薄膜作为半导体膜层结构,并设计构建了金属-绝缘体-半导体结构的自供电光电探测器,探究了该光电探测器的响应光谱范围。结果表明,该探测器对可见光到近红外区域的光均有响应。针对掺银硫系玻璃光电探测器在635 nm波长激光下,研究了探测器响应电压与激发功率之间的关系。当激光功率小于10 mW时,探测器响应电压与激发功率线性相关;当激光功率大于10 mW时,探测器响应电压逐渐饱和。探测器的上升和衰减时间分别为3.932 s和1.522 s。本研究为硫系玻璃材料在自供电光电探测器领域的应用提供了证明。 展开更多
关键词 硫系玻璃 光电探测器 金属-绝缘体-半导体
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基于PSPICE的光接收机电路设计与仿真
7
作者 王苹 解光军 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第5期542-545,共4页
文章基于PSPICE通用软件,设计了一个由金属-半导体-金属Schottky势垒光探测器(MSM-PD)组成的GaAs光接收机电路,并对其进行了电路级仿真,仿真结果显示达到了设计目的。
关键词 光电集成电路 金属-半导体-金属Schottky势垒光电探测器 光接收机
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一种850nm单片集成光接收机前端
8
作者 冯欧 冯忠 +5 位作者 杨立杰 焦世龙 蒋幼泉 陈堂胜 李拂晓 叶玉堂 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期350-355,共6页
采用0.5μm GaAs PHEMT工艺和台面光刻互连工艺研制了一种850nm光接收机前端单片电路,包括金属-半导体-金属光探测器和跨阻前置放大器。探测器光敏面积约2000μm2,电容小于0.15pF,4V偏压下的暗电流小于14nA。跨阻前置放大器-3dB带宽接近... 采用0.5μm GaAs PHEMT工艺和台面光刻互连工艺研制了一种850nm光接收机前端单片电路,包括金属-半导体-金属光探测器和跨阻前置放大器。探测器光敏面积约2000μm2,电容小于0.15pF,4V偏压下的暗电流小于14nA。跨阻前置放大器-3dB带宽接近10GHz,跨阻增益约43dBΩ。光接收机前端在输入2.5Gb/s非归零伪随机二进制序列调制的850nm光信号下得到较为清晰的输出眼图。 展开更多
关键词 金属-半导体-金属光探测器 跨阻前置放大器 光电集成电路 台面 眼图
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薄膜光探测器绑定点的几何设计与仿真分析
9
作者 刘小龙 肖靖 +1 位作者 何敏 肖剑波 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第8期158-164,共7页
目前,光器件在硅基衬底上的集成是光电领域的研究热点。将基于表面张力的流体自组装技术应用于薄膜金属-半导体-金属(MSM)光探测器的集成上,其集成效果的优劣与器件绑定点的几何形状有关。为了有效预测薄膜MSM光探测器绑定点的间距和形... 目前,光器件在硅基衬底上的集成是光电领域的研究热点。将基于表面张力的流体自组装技术应用于薄膜金属-半导体-金属(MSM)光探测器的集成上,其集成效果的优劣与器件绑定点的几何形状有关。为了有效预测薄膜MSM光探测器绑定点的间距和形状对集成效果的影响,利用MATLAB对其集成过程中表面自由能的分布状况进行了仿真分析。首先,在介绍薄膜MSM光探测器的基础上,对其集成过程建立了平移和旋转仿真模型。然后,根据表面自由能与匹配度的线性关系,分别仿真出了不同间距和形状的绑定点在集成过程中匹配度的分布状况图。通过分析匹配度的斜率以及正确装配状态和误装配状态之间的关系,预测两端绑定点间距较长、绑定点形状为梯形时集成效果较好。最后,考虑到薄膜光电器件有可能需要区分正负极的情况,将其两端绑定点设计成不对称形状并进行仿真分析,尽量避免集成过程中出现正负极反接的状态。 展开更多
关键词 薄膜金属-半导体-金属光探测器 流体自组装技术 表面自由能 绑定点
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基于CVD单层MoS_2 FET的光电探测器
10
作者 战俊 粟雅娟 +2 位作者 贾昆鹏 罗军 闫祥宇 《微纳电子技术》 北大核心 2017年第7期437-443,共7页
通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO_2/Si衬底生长出MoS_2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS_2的存在;基于CVD生长的单层MoS_2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电探测器的工艺研发;对MoS_2 FET器件进行了电学特性表征,开关比... 通过化学气相沉积(CVD)工艺在SiO_2/Si衬底生长出MoS_2材料,对材料进行喇曼光谱表征,验证了单层MoS_2的存在;基于CVD生长的单层MoS_2完成了晶圆级背栅场效应晶体管(FET)光电探测器的工艺研发;对MoS_2 FET器件进行了电学特性表征,开关比可达到105数量级,场效应迁移率约为1 cm2·V-1·s-1,栅极漏电流为10-10 A数量级;对MoS2FET器件的光电特性进行了表征,该光电探测器具有普通光电导探测器的基本光电特性,其光电流随光照强度的增强以及源漏电压的增加而增加,同时由于栅极的调制提高了光电探测器的灵活性。通过控制栅极电压能够控制MoS2FET光电探测器的暗电流大小,实现对探测器η参数的有效调制。最后通过器件能带图对MoS_2 FET光电探测器的光电特性进行了阐释,为其走向实际应用奠定了理论基础。 展开更多
关键词 二硫化钼(MoS2) 场效应晶体管(FET) 二维(2D)半导体材料 光电探测器 过渡金属硫属化合物(TMD)
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金属-半导体-金属光电探测器的瞬态特性分析 被引量:3
11
作者 孙亚春 王庆康 《光电子技术》 CAS 2003年第2期121-125,共5页
给出了金属 -半导体 -金属光电探测器 ( MSM- PD)高频特性的等效电路模型 ,在此模型基础上编写模拟分析程序 ,分析了探测器相关器件参数对器件截止频率的影响 。
关键词 金属-半导体-金属光电探测器 msm-pd 等效电路 截止频率 瞬态特性 光纤通信
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基于Pt电极的TiO_2紫外探测器研究 被引量:1
12
作者 解天骄 郭文滨 +4 位作者 阮圣平 张海峰 沈亮 李福民 刘彩霞 《吉林大学学报(信息科学版)》 CAS 2012年第2期116-119,共4页
针对宽禁带半导体紫外探测器响应不够灵敏和响应度偏低等问题,将具有高功函数的Pt电极引入TiO2紫外探测器,采用溶胶凝胶法制备了纳米TiO2薄膜。以金属Pt为电极,采用磁控溅射的方法,将Pt电极溅射在TiO2纳米薄膜上,制作了MSM(Metal-Semico... 针对宽禁带半导体紫外探测器响应不够灵敏和响应度偏低等问题,将具有高功函数的Pt电极引入TiO2紫外探测器,采用溶胶凝胶法制备了纳米TiO2薄膜。以金属Pt为电极,采用磁控溅射的方法,将Pt电极溅射在TiO2纳米薄膜上,制作了MSM(Metal-Semiconductor-Metal)型紫外探测器件。在5 V偏压下,探测器的暗电流为4.5 nA,260 nm波长光照下的光电流为5.7μA。在260 nm的紫外光照射下,探测器的响应度达到最大值,约为447 A/W,与其他紫外探测器(200 A/W左右)的响应度均值相比有了很大的提升。最后,设计外围电路,制作出功能完整的紫外强度测试仪。实验表明,该探测器成功地解决了传统宽禁带半导体紫外探测器灵敏度及响应度偏低等问题。 展开更多
关键词 紫外探测器 纳米TIO2 msm
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基于二维材料的快速响应金属-半导体-金属结构光电探测器研究进展 被引量:5
13
作者 何嘉玉 陈克强 +6 位作者 冀婷 石林林 冯琳 李国辉 郝玉英 张晗 崔艳霞 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期745-762,共18页
快速响应光电探测器在光通信、高速摄影、生物医学成像等领域有广泛的需求。目前,市场上应用的快速响应光电探测器大多基于硅、砷化镓等传统的无机半导体材料,但是其制作工艺复杂、成本较高,并且机械灵活性差。以石墨烯、二硫化钼为代... 快速响应光电探测器在光通信、高速摄影、生物医学成像等领域有广泛的需求。目前,市场上应用的快速响应光电探测器大多基于硅、砷化镓等传统的无机半导体材料,但是其制作工艺复杂、成本较高,并且机械灵活性差。以石墨烯、二硫化钼为代表的二维材料具有独特的层状结构以及良好的光学、电学、热学和机械特性,是制备光电探测器的理想材料。尤其是部分二维材料所拥有的超高载流子迁移率特性,十分适用于研制快速响应光电探测器。近年来,一系列基于二维材料的金属-半导体-金属结构光电探测器(Metal-semiconductor-metal photodetectors,MSM-PDs)被陆续报道,很多具有1μs以下的快速响应特性。本文以基于二维材料的快速响应MSM-PDs为主题进行综述。首先介绍了MSM-PDs中的基本结构及工作原理,深入剖析了决定其响应速度的主要因素。随后介绍了石墨烯、过渡金属硫化物、黑磷、二维钙钛矿、三元硒氧铋等二维材料的分子结构、光学、电学等特性,并对各类二维材料在MSM-PDs的应用进行对比。然后分类介绍了响应速度在1μs以下的欧姆接触型、肖特基接触型以及基于表面等离激元效应二维材料MSM-PDs的研究进展。最后总结全文,并对二维材料在快速响应光电探测器中的应用前景及发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 光电探测器 快速响应 二维材料 石墨烯 过渡金属硫化物 黑磷 二维钙钛矿 金属-半导体-金属
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Synthesis and electrical characterization of tungsten oxide nanowires 被引量:3
14
作者 黄睿 朱静 于荣 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2009年第7期3024-3030,共7页
Tungsten oxide nanowires of diameters ranging from 7 to 200 nm are prepared on a tungsten rod substrate by using the chemical vapour deposition (CVD) method with vapour-solid (VS) mechanism.Tin powders are used to... Tungsten oxide nanowires of diameters ranging from 7 to 200 nm are prepared on a tungsten rod substrate by using the chemical vapour deposition (CVD) method with vapour-solid (VS) mechanism.Tin powders are used to control oxygen concentration in the furnace,thereby assisting the growth of the tungsten oxide nanowires.The grown tungsten oxide nanowires are determined to be of crystalline W18O49. I-V curves are measured by an in situ transmission electron microscope (TEM) to investigate the electrical properties of the nanowires.All of the I-V curves observed are symmetric,which reveals that the tungsten oxide nanowires are semiconducting. Quantitative analyses of the experimental I-V curves by using a metal semiconductor-metal (MSM) model give some intrinsic parameters of the tungsten oxide nanowires,such as the carrier concentration,the carrier mobility and the conductivity. 展开更多
关键词 tungsten oxide nanowires chemical vapour deposition (CVD) electrical characterization metal semiconductor metal msm structure
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镀钯键合铜丝的发展趋势 被引量:16
15
作者 康菲菲 杨国祥 +3 位作者 孔建稳 刀萍 吴永瑾 张昆华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第21期104-107,128,共5页
铜丝表面镀钯是提高抗氧化性进而改善键合性能的有效手段。镀钯键合铜丝具有优异的综合性能,是半导体封装材料连接导线的新型材料。综述了镀钯键合铜丝国内外的发展现状、研究背景、镀钯工艺及金丝、铜丝和镀钯铜丝的比较。
关键词 金属材料 半导体封装 镀钯键合铜丝 键合性能
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基于应变锗的金属—半导体—金属光电探测器
16
作者 李鸿翔 张倩 +1 位作者 刘冠宇 薛忠营 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第9期747-754,共8页
通过对锗(Ge)半导体材料进行拉伸应变和n型掺杂,可以提高其电子迁移率和发光性能。将薄膜卷曲技术与微电子加工技术相结合,制备出悬浮的Ge微米带结构,实现了单轴和双轴2种不同的应变状态,并且可以通过调整光刻图案来控制Ge的应变状态和... 通过对锗(Ge)半导体材料进行拉伸应变和n型掺杂,可以提高其电子迁移率和发光性能。将薄膜卷曲技术与微电子加工技术相结合,制备出悬浮的Ge微米带结构,实现了单轴和双轴2种不同的应变状态,并且可以通过调整光刻图案来控制Ge的应变状态和大小。利用这一方法,制备出了高性能双轴应变Ge对称型肖特基接触金属-半导体-金属(MSM)光电探测器。经测试,在1 V偏压和入射功率为1 000 nW的863 nm激光下,该探测器具有低至nA量级的暗电流和高达713的电流开/关比。该性能的实现主要是依赖于双轴应变和掺杂对Ge能带的修饰。研究结果展示了应变Ge在光电探测领域的优势,也证明了其在Si兼容光学通信设备中的应用潜力。 展开更多
关键词 绝缘体上锗(GOI) 应变锗(Ge) 肖特基接触 光电探测器 金属-半导体-金属(msm)
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金属-无机半导体-金属光电探测器的研究进展 被引量:2
17
作者 高琳华 崔艳霞 +4 位作者 梁强兵 刘艳珍 李国辉 范明明 郝玉英 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2020年第8期221-239,共19页
金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PDs)本身固有的高速、高响应率、易集成等特性使其在光纤通信、传感、制导等多个领域受到广泛关注。文中围绕金属-无机半导体-金属光电探测器展开综述。首先介绍了MSM-PDs的基本结构,包含共面和垂直两... 金属-半导体-金属光电探测器(MSM-PDs)本身固有的高速、高响应率、易集成等特性使其在光纤通信、传感、制导等多个领域受到广泛关注。文中围绕金属-无机半导体-金属光电探测器展开综述。首先介绍了MSM-PDs的基本结构,包含共面和垂直两种类型。紧接着,介绍了MSM-PDs具体的工作原理,除了常见的光电导型及肖特基型工作原理,还介绍了以金属作为吸光层的热载流子光电探测器的工作原理。随后,详细介绍了以GaAs、InGaAs、Si/Ge等无机材料作为半导体层的MSM-PDs在过去所取得的研究进展。此外,还介绍了利用金属微纳结构拓展较宽带隙半导体材料MSM-PDs在红外波段响应特性的研究进展。最后,总结全文并对MSM-PDs未来的发展做出了展望。 展开更多
关键词 金属-半导体-金属 光电探测器 肖特基 红外 金属微纳结构
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光功率检测电路研究进展
18
作者 梁明 姜海明 +5 位作者 刘偲嘉 甘育娇 谢康 袁伟超 李明朗 林毅华 《光通信技术》 2023年第4期48-52,共5页
光功率检测电路的性能好坏决定了接收信号的质量,介绍了光功率检测电路中半导体光电探测器的分类以及与光电探测器相连的几种常用的跨阻放大器,并根据跨阻放大器的性能指标对比了各自的优缺点和应用范围。最后,展望了光功率检测电路的... 光功率检测电路的性能好坏决定了接收信号的质量,介绍了光功率检测电路中半导体光电探测器的分类以及与光电探测器相连的几种常用的跨阻放大器,并根据跨阻放大器的性能指标对比了各自的优缺点和应用范围。最后,展望了光功率检测电路的发展前景。 展开更多
关键词 光功率 光电探测器 跨阻放大器 检测电路 集成互补的金属氧化物半导体电路
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