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题名多级弯曲磁微梁执行器力-磁耦合宏模型
被引量：5
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作者
方玉明
黄庆安
李伟华
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机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第z1期2194-2196,共3页
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基金
国家"8 63"计划项目 (No .2 0 0 2AA431 0 1 0 )
江苏省高校自然科学研究计划资助项目 (No .0 3KJB51 0 0 89)
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文摘
本文以多级弯曲磁微梁执行器为研究对象 ,先采用梁的模态函数线性组合来逼近梁的变形曲线 ,再将求模态磁场力的积分项分段求积 ,最后利用磁路定律 ,建立了考虑力 磁耦合的非线性方程组 ,克服了以往的模型不能考虑力 磁耦合的缺点 .方程组的复杂程度 (阶数 )与所取的模态阶数相关 .计算结果同实验数据对比表明 ,模型有足够的精度 。
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关键词
多级曲折磁芯微梁执行器
力-磁耦合
宏模型
微机械
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Keywords
magnetic microactuator with a multilevel meander
force-magnetic coupling
mems
macromodel
cantilever beam
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
TN405
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名三层多级弯曲磁微执行器设计与研究
被引量：1
- 2
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作者
郭永献
贾建援
梁丽萍
张大兴
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机构
西安电子科技大学机电工程学院
航天长征火箭技术有限公司
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期412-415,共4页
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文摘
吸合效应是许多微执行器都存在固有的不稳定性,基于RFMEMS(射频微机电系统)电容式开关改进(或消除)不稳定性的方法以及多层悬臂梁概念,设计了一种三层多级弯曲磁微执行器,分别用磁动势控制模型和磁通控制模型对其吸合现象进行了研究。仿真结果表明:磁动势控制模型中,当所串联的中磁极厚度h1=0时,漏磁阻对临界吸合角度θPI无影响,θPI为系统最大旋转角度θmax的44%,θPI随h1增大而增大,随漏磁阻减小而减小,并且θPI/θmax存在极限值约为0.724;磁通控制模型中无论是否考虑漏磁阻,h1大小对临界吸合角度无影响,θPI/θmax≈0.723。
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关键词
MEMS
多级弯曲磁微执行器
吸合
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Keywords
MEMS
multilevel meander magnetic microactuator
pull-in
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分类号
O482.5
[理学—固体物理]
O441.3
[理学—电磁学]
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