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题名基于石英晶体薄膜的压力传感器研究
被引量：1
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作者
曹文静
林立男
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机构
北京晨晶电子有限公司
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2024年第10期19-22,共4页
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文摘
基于石英晶体薄膜,进行了直接键合、Au-Au键合、共晶焊和玻璃浆料封接,包括石英晶体—石英晶体、石英晶体—609金属双层封接、石英晶体三层封接、石英晶体—609金属多层封接。封接漏率低于1×10^(-13)Pa·m^(3)/s,强度达到了10MPa,翘曲降到了3μm。采用石英晶体作为敏感元件,利用MEMS加工工艺制备出带有电极图形石英,通过转接的方式,将石英晶体薄膜封接到609金属上制成电容压力传感器,测试了不同封接工艺零位漂移,实现了0.001~0.1 mmHg低真空度的测量范围,测量范围内精度±0.6%。15天长期零位漂移为0.8μmHg,漂移水平为0.5%FS。通过在石英晶体上设计“弓”型应力释放结构,采用上述相同工艺制备了电容压力传感器,15天长期零位漂移水平降至0.06%FS。
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关键词
石英晶体
薄膜压力传感器
真空测量
长期零位漂移
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Keywords
quartz crystals
thin film pressure sensor
vacuum measurement
long term zero drift
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名泉水和井水温度长期观测资料的初步统计
被引量：5
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作者
马玉川
黄辅琼
薛艳
王博
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机构
中国地震台网中心
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出处
《震灾防御技术》
CSCD
北大核心
2015年第2期367-377,共11页
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基金
财政部公益性行业科研专项(201308006)
中国地震局2014年度震情跟踪专项工作任务(2014010504)
中国地震局2015年度震情跟踪专项工作任务(2015010308)
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文摘
依据中国地震台网中心前兆数据库中的水温数据,绘制了中国大陆用于地震监测预报的泉水温度分布图以及井下50—149m和150—250m的水温分布图,统计了人工和数字化观测水温中长期趋势性上升或下降的测点,分析了数字化观测水温长期趋势性变化的原因。结果表明,泉主要分布在川滇、青藏高原东北缘、中天山、郯庐断裂带及邻区、北京西北和福建沿海等地,这些泉与断裂构造具有较好的空间相关性;其中水温大于25℃的温泉多分布在中强地震多发区;井水温度的空间分布具有北方地区水温低于南方地区、小区域内的温差不显著等特征,其主要受控于气候因素;井下150—250m与50—149m水温相比,符合随深度增加水温升高的地热规律;人工观测水温中10%为客观的长期趋势性变化;数字化观测水温中24%为长期趋势性变化,其中一部分是水温的客观反映,另一部分是水温仪零飘的反映。
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关键词
泉井
水温
长期变化
地震
零飘
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Keywords
Spring well
Water temperature
long-term changes
Earthquake
zero drifts of thermometers
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分类号
P315.73
[天文地球—地震学]
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题名直流OCT与FOCT的误差特性分析和比较
被引量：3
- 3
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作者
李登云
李鹤
熊魁
姚力
徐韬
范佳威
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机构
中国电力科学研究院
国网浙江省电力公司电力科学研究院
武汉大学
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出处
《现代电子技术》
北大核心
2017年第24期154-159,共6页
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基金
国网公司科技项目(JL71-15-042)
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文摘
为了解决OCT和FOCT的误差特性,介绍OCT和FOCT的基本原理与典型结构。针对舟山五端柔性直流输电系统中的OCT和FOCT,提出适用的现场校准试验方法,并建立相应的现场校准试验平台,完成了舟衢站OCT、舟泗站和舟洋站FOCT的现场校准试验。同时根据现场校准结果,分析比较了OCT和FOCT的误差特性:OCT的长期稳定性和线性度优于FOCT;OCT的基本误差曲线是单调变化的,而FOCT的基本误差曲线呈S形,二者的误差变化均随电流增大逐渐减小;OCT几乎没有零点漂移,而FOCT有较大零点漂移。文中的研究结果对OCT和FOCT的运行与维护均具有一定的参考价值。
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关键词
OCT
FOCT
误差特性
现场校准
长期稳定性
零点漂移
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Keywords
OCT
FOCT
error characteristic
field calibration
long-term stability
zero drift
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分类号
TM452.92
[电气工程—电器]
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