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激光集成测量表面粗糙度和微位移的研究
被引量：
1
1
作者
王世华
周肇飞
晋崇九
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期44-47,共4页
本文研究了使表面粗糙度，微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量表面粗糙度，光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究，用同一光源，同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传...
本文研究了使表面粗糙度，微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量表面粗糙度，光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究，用同一光源，同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传感器实现了并非简单组合的集成，可为精密测试一机多功能化提供可能的手段。
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关键词
光散射法
光学三角法
表面粗糙度
微位移
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职称材料
题名
激光集成测量表面粗糙度和微位移的研究
被引量：
1
1
作者
王世华
周肇飞
晋崇九
机构
四川联合大学
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期44-47,共4页
基金
国家自然科学基金
文摘
本文研究了使表面粗糙度，微位移光电传感器实现结构和功能的集成化。对光散射法测量表面粗糙度，光学三角法测量微位移这两种不同工作原理光电传感器的集成化研究，用同一光源，同一光路、同一光敏接收器使不同工作原理和功能的光电传感器实现了并非简单组合的集成，可为精密测试一机多功能化提供可能的手段。
关键词
光散射法
光学三角法
表面粗糙度
微位移
Keywords
light scattering method
,
optical triangle method
,
integrated electrooptical sensor
分类号
TH744.506 [机械工程—光学工程]
TH741.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光集成测量表面粗糙度和微位移的研究
王世华
周肇飞
晋崇九
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
1998
1
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