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大型氦气工程试验回路管路系统泄漏检测技术研究 被引量:2
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作者 刘吉 杨明德 +3 位作者 党杰 陈镇 薄涵亮 张作义 《核科学与工程》 CSCD 北大核心 2015年第2期289-294,共6页
大型氦气工程试验回路(Helium Test Loop,HTL)是为高温气冷堆关键技术设备的工程验证和热工性能试验而建立的一套回路系统。HTL回路运行介质为高温、高压、高纯度的氦气,易泄漏,对回路中设备、管路、阀门提出了很高的密封要求。现有的... 大型氦气工程试验回路(Helium Test Loop,HTL)是为高温气冷堆关键技术设备的工程验证和热工性能试验而建立的一套回路系统。HTL回路运行介质为高温、高压、高纯度的氦气,易泄漏,对回路中设备、管路、阀门提出了很高的密封要求。现有的单一检漏方法都不适用于HTL回路管路系统的泄漏检测,本文针对不同类型待测漏点构建了合理的检漏系统,采用了氦质谱真空检漏法、氦质谱正压检漏法、压力变化法、气泡检漏法相结合并互为补充的方法。讨论了各方法系统构成,应用范围及检测结果。通过检漏结果对回路管道系统进行了修正,以保证回路运行过程中的泄漏率可以满足要求。 展开更多
关键词 泄漏检测 氦质谱 真空检漏 正压检漏
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“天宫一号”目标飞行器检漏工作总述 被引量:3
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作者 韩琰 闫荣鑫 +1 位作者 冯琪 黄锡宁 《航天器环境工程》 2011年第6期625-627,共3页
文章主要描述了"天宫一号"目标飞行器研制过程中与检漏相关的内容,包括检漏项目、检漏方法和检漏结果等。重点介绍了氦质谱吸枪检漏、压力变化检漏和氦质谱非真空累积检漏及多种气体分析等多种检漏方法及其适用范围。"... 文章主要描述了"天宫一号"目标飞行器研制过程中与检漏相关的内容,包括检漏项目、检漏方法和检漏结果等。重点介绍了氦质谱吸枪检漏、压力变化检漏和氦质谱非真空累积检漏及多种气体分析等多种检漏方法及其适用范围。"天宫一号"的检漏数据验证了应用以上检漏方法可行且有效。 展开更多
关键词 目标飞行器 实验舱 检漏 氦质谱
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引信检漏技术综述 被引量:3
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作者 鲍凯 吴孝俭 +1 位作者 邢智辉 张国珍 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2007年第4期6-10,共5页
综述了国家军用标准GJB573A-98《引信环境与性能试验方法》中,方法308"泄漏试验"规定的引信检漏技术要求和四种检漏方法,即卤素法、氦气法、气泡法和容积分配法。
关键词 引信密封 漏率 氦质谱背压检漏 差压式检漏
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长时间累积检漏技术的可行性研究 被引量:2
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作者 韩琰 孙立臣 +1 位作者 冯琪 李征 《航天器环境工程》 2013年第5期539-543,共5页
随着载人航天器向大型化和长时间在轨的方向发展,现有总漏率测试方法的检漏灵敏度已经不能满足设计需求,通过延长总漏率测试时间提高灵敏度的方法亟需研究。文章从理论分析和试验验证两个方面研究了长时间累积检漏技术的可行性,为后续... 随着载人航天器向大型化和长时间在轨的方向发展,现有总漏率测试方法的检漏灵敏度已经不能满足设计需求,通过延长总漏率测试时间提高灵敏度的方法亟需研究。文章从理论分析和试验验证两个方面研究了长时间累积检漏技术的可行性,为后续大型航天器检漏提供参考。 展开更多
关键词 氦质谱检漏 长时间累积检漏 载人航天器 不确定度
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空调两器检漏氦气的纯化循环使用分析 被引量:3
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作者 汪澎 赵俊 +1 位作者 章学华 黄剑波 《制冷与空调》 2013年第4期78-80,82,共4页
空调行业在两器生产过程中需要使用氦质谱检漏仪对两器产品进行氦检,检漏过程中使用的氦气通过回收装置循环使用。当循环使用的氦气纯度较低时进行排空并补充高纯度氦气,以提高检漏过程中的氦气纯度。针对排空的低纯度氦气,为满足氦气... 空调行业在两器生产过程中需要使用氦质谱检漏仪对两器产品进行氦检,检漏过程中使用的氦气通过回收装置循环使用。当循环使用的氦气纯度较低时进行排空并补充高纯度氦气,以提高检漏过程中的氦气纯度。针对排空的低纯度氦气,为满足氦气检漏纯度要求,通过纯化可以将其纯度提高,实现氦气在空调两器检漏过程中的循环使用。 展开更多
关键词 两器 氦检 回收装置 低纯度氦气 纯化 循环利用
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常压检漏的多种示漏气体分析仪的研制 被引量:2
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作者 肖祥正 阎荣鑫 +3 位作者 陈光锋 张家珠 王荣宗 谢朝阳 《真空与低温》 1999年第1期4-9,共6页
介绍了一种以四极质谱计为核心的适合在常压下检漏的多种示漏气体分析仪的结构、工作原理、设计方案、试验方法、试验结果。该仪器具有在大气压下检测He浓度为1×10-9、Ne浓度为2×10-7、CF4浓度为1×1... 介绍了一种以四极质谱计为核心的适合在常压下检漏的多种示漏气体分析仪的结构、工作原理、设计方案、试验方法、试验结果。该仪器具有在大气压下检测He浓度为1×10-9、Ne浓度为2×10-7、CF4浓度为1×10-9的能力。 展开更多
关键词 检漏 常压 四极质谱计 气体分析仪
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半导体设备真空与检漏 被引量:2
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作者 申承志 郝晓亮 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第7期644-646,657,共4页
基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些... 基于实际应用,介绍了半导体设备真空结构和真空室常用部件,讲述了He质谱检漏仪的使用方法。总结了真空检漏的经验,阐述了微漏难检的现状。分析了磁控溅射台和ICP真空故障,采用静压检漏法和He质谱检漏仪检漏法,给出了零部件微漏导致这些设备抽不上高真空的结论。指出今后的发展方向是真空部件小型化,以及根据设备特点来提高真空部件的可靠性。结果表明,先排除干扰因素,再细心检漏,可大大提高检漏效率,使设备尽快恢复正常。 展开更多
关键词 检漏 半导体设备 He质谱检漏仪 真空泵 真空
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带腐蚀性物料的真空系统在线检漏方法研究
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作者 赫梓宇 周永胜 +1 位作者 赵伟利 李德鑫 《真空与低温》 2014年第6期335-339,共5页
带腐蚀性物料的真空系统,往往对密封性要求严格。为了进行带腐蚀性物料的真空系统在线检漏而进行研究,分析可行的检漏方法,提出适用手段。通过分析,经过分级冷冻、物料处理及选用适合的检漏步骤,能够使氦质谱检漏仪满足负压检漏条件,从... 带腐蚀性物料的真空系统,往往对密封性要求严格。为了进行带腐蚀性物料的真空系统在线检漏而进行研究,分析可行的检漏方法,提出适用手段。通过分析,经过分级冷冻、物料处理及选用适合的检漏步骤,能够使氦质谱检漏仪满足负压检漏条件,从而使用喷氦法确定漏点位置,使用氦罩法获得准确的漏率。实际应用证明,该方法用于带腐蚀性物料的真空系统在线检漏,能够准确、有效的检测漏点位置及漏率。该研究为带腐蚀性物料的真空系统在线检漏提供了技术支持。 展开更多
关键词 真空系统 检漏 氦质谱 腐蚀性物料
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关于氦质谱检漏固定方法的几点讨论 被引量:3
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作者 肖汉武 蒋玉齐 《真空与低温》 2020年第6期442-448,共7页
GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小... GJB548B-2005方法1014.2密封试验中的固定方法根据器件内腔体积划分5档体积范围,由于划分不够细致,对于某些内腔体积,其拒收极限值R1所对应的等效标准漏率L存在偏松问题,因此对于部分微小漏率器件存在漏检的风险。此外固定方法中的最小加压压力310 kPa对于大尺寸陶瓷封装而言,有可能导致盖板凹陷、密封损伤等问题。本文分析了现有标准中固定方法和灵活方法的等效标准漏率差异以及大尺寸腔体的加压问题,提出了降压检漏建议。 展开更多
关键词 氦质谱检漏 等效标准漏率 固定方法 灵活方法 陶瓷封装 降压检漏
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