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基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制
1
作者
貊泽强
余锦
+7 位作者
樊仲维
刘洋
葛文琦
张雪
聂树真
郭广妍
王治昊
王昊成
《科学技术与工程》
北大核心
2013年第21期6229-6234,共6页
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机...
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术,使得激光脉冲在空间上均匀分布,改善了加工效果。最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能,实现系统加工线宽达到3.64μm,绝对定位精度小于1μm的激光微加工。
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关键词
激光微细加工
控制系统
光束整形
光机同步
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职称材料
题名
基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制
1
作者
貊泽强
余锦
樊仲维
刘洋
葛文琦
张雪
聂树真
郭广妍
王治昊
王昊成
机构
中国科学院光电研究院
中国科学院研究生院
出处
《科学技术与工程》
北大核心
2013年第21期6229-6234,共6页
文摘
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术,使得激光脉冲在空间上均匀分布,改善了加工效果。最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能,实现系统加工线宽达到3.64μm,绝对定位精度小于1μm的激光微加工。
关键词
激光微细加工
控制系统
光束整形
光机同步
Keywords
laser micromachining control system bean shaping laser machine synchronization
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TP272 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制
貊泽强
余锦
樊仲维
刘洋
葛文琦
张雪
聂树真
郭广妍
王治昊
王昊成
《科学技术与工程》
北大核心
2013
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