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基于PC平台的高精度激光微加工系统的研制
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作者 貊泽强 余锦 +7 位作者 樊仲维 刘洋 葛文琦 张雪 聂树真 郭广妍 王治昊 王昊成 《科学技术与工程》 北大核心 2013年第21期6229-6234,共6页
介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机... 介绍了自主设计高精度皮秒激光微加工系统及其控制单元。首先在加工系统整体方案的设计上充分考虑了激光器的选择、光束质量、控制方式等对加工精度的影响。将高斯光束转化为平顶光束引入激光微加工。其次使用了一种位置比较脉冲的光机同步技术,使得激光脉冲在空间上均匀分布,改善了加工效果。最后在系统中加入了路径规划、实时监测及同步显示等功能,实现系统加工线宽达到3.64μm,绝对定位精度小于1μm的激光微加工。 展开更多
关键词 激光微细加工 控制系统 光束整形 光机同步
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