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激光雕刻对织物结构与透光性的影响 被引量:1
1
作者 缪永达 金肖克 +2 位作者 田伟 丁昊 祝成炎 《现代纺织技术》 北大核心 2025年第4期43-51,共9页
为阐明激光雕刻对织物结构与透光性的影响,借助电镜观察纯棉、纯涤纶织物,研究激光在织物上的作用机制;结合织物的孔隙图像处理方法,研究激光雕刻对织物结构的影响;测试织物厚度、质量损失率、透光率的变化,同时利用灰色关联分析法和相... 为阐明激光雕刻对织物结构与透光性的影响,借助电镜观察纯棉、纯涤纶织物,研究激光在织物上的作用机制;结合织物的孔隙图像处理方法,研究激光雕刻对织物结构的影响;测试织物厚度、质量损失率、透光率的变化,同时利用灰色关联分析法和相关性理论,分析激光雕刻后织物结构参数对透光性的影响。结果表明:激光使棉织物产生膨胀与破裂乃至汽化去除,使涤纶织物熔融流动甚至汽化分解;棉、涤纶织物上的孔隙数量和孔隙率与激光雕刻能量呈正相关,随着激光雕刻能量的增大,棉织物厚度下降,涤纶织物的厚度则是先增加后减少;激光雕刻后织物孔隙率、厚度与透光性之间呈强关联性,其中孔隙率为透光性的第一影响因素,织物透光性与孔隙率呈极显著正相关,与厚度呈极显著负相关。研究结果可为激光雕刻技术在窗帘等类型纺织品的应用提供参考。 展开更多
关键词 激光雕刻 织物结构 孔隙 透光性 灰色关联分析 相关性
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推动激光聚变点火实验研究和关键技术
2
作者 滕晓丽 沈力 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第1期19-25,共7页
2021年8月8日,国家点火装置(National Ignition Facility,NIF)上获得1.3 MJ能量产出,首次达到MJ量级。这一进展使激光聚变研究接近美国国家科学院和国家核安全管理局定义的点火门槛,极大地鼓舞了激光聚变领域的研究人员。此次实验取得... 2021年8月8日,国家点火装置(National Ignition Facility,NIF)上获得1.3 MJ能量产出,首次达到MJ量级。这一进展使激光聚变研究接近美国国家科学院和国家核安全管理局定义的点火门槛,极大地鼓舞了激光聚变领域的研究人员。此次实验取得的成果取决于过去几年整个NIF研究团队的努力,包括理论和数值模拟、诊断技术、制靶技术、黑腔、靶壳以及填充管相关技术。调研了NIF上聚变点火的发展进程,梳理了美国过去十年为推动惯性聚变研究发展在实验和相关技术方面所作的努力,以期对中国激光聚变研究提供参考。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 ICF诊断 制靶技术 激光技术 实验设计 光学元器件
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第1.5代“三高一优”YDF特种激光光纤 被引量:1
3
作者 俞娟 倪力 +3 位作者 彭昆 向恒 冷晓晓 林傲祥 《强激光与粒子束》 CAS CSCD 北大核心 2024年第10期1-4,共4页
面向高端特种光纤激光器研制需求,突破限制光纤激光器系统功率输出和性能提升的技术瓶颈,中国工程物理研究院化工材料研究所高功率光纤激光技术所地联合创新中心团队采用模式裁剪制备工艺技术,率先推出了国内首创、特别适合976 nm-LD端... 面向高端特种光纤激光器研制需求,突破限制光纤激光器系统功率输出和性能提升的技术瓶颈,中国工程物理研究院化工材料研究所高功率光纤激光技术所地联合创新中心团队采用模式裁剪制备工艺技术,率先推出了国内首创、特别适合976 nm-LD端面泵浦方式(976技术路线)的第1.5代YDF特种激光光纤,有效提升了光纤激光系统的模式不稳定阈值(TMI),显著优化了激光输出的光束质量。相对于目前普遍使用的第1.0代铝磷硅三元体系光纤(Yb-APS),第1.5代YDF特种激光光纤的激光功率提升约20%,光束质量M2优化约20%,集中展现了高功率、高效率、高TMI阈值、M2优化的“三高一优”的技术特点,可供工业市场高端客户选择和强激光技术领域应用。 展开更多
关键词 光纤激光器 模式不稳定阈值 光束质量 单模 光纤设计与制备 激光光纤
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具有高吸收性能的柔性超黑表面
4
作者 吴家政 安阳 李炜 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第15期2334-2343,共10页
超黑表面在热辐射等领域发挥着重要作用,为了制备具有宽光谱高吸收特性的超黑表面,并且简化制备流程、降低成本,提出一种基于飞秒激光和倒模技术的制造方法。实验以激光加工的铜片为母版,探究激光参数对微结构形貌尺寸的影响,选取合适... 超黑表面在热辐射等领域发挥着重要作用,为了制备具有宽光谱高吸收特性的超黑表面,并且简化制备流程、降低成本,提出一种基于飞秒激光和倒模技术的制造方法。实验以激光加工的铜片为母版,探究激光参数对微结构形貌尺寸的影响,选取合适参数进行周期性微结构的加工。利用二次模具将周期性微结构与黑漆基底进行结合,获得一种在太阳光谱宽波段具有全向高吸收性能的柔性超黑表面。最后,利用超黑表面联合氧化铟锡(IndiumTin Oxide,ITO)透明玻璃提出一种太阳能吸收器设计方法,并进行户外实验验证。实验结果表明:超黑表面在太阳光谱波段具有高达98.3%的正入射吸收率,入射角为70°大角度时,超黑表面仍具有90%以上的吸收率。覆盖有ITO透明玻璃的太阳能吸收器最高可提升4℃的器件温度。整体工艺制备流程简单,成本低廉,超黑表面具有柔性基底且可大面积扩展。 展开更多
关键词 飞秒激光加工 倒模 超黑表面 吸收率 微结构阵列
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金属零件的激光直接快速制造 被引量:19
5
作者 杨森 钟敏霖 +1 位作者 张庆茂 刘文今 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第4期234-238,共5页
简要介绍了一种快速制造金属零件的新方法 -激光直接制造法及其特点 ,它是将激光表面涂覆技术和快速原型技术相结合来直接制造金属构件。回顾了国内外研究的现状 。
关键词 金属零件 激光直接快速制造 RP技术
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脉冲激光气相沉积技术及其在ICF薄膜靶制备中的应用 被引量:25
6
作者 吴卫东 许华 +2 位作者 魏胜 唐永建 陈正豪 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第6期873-876,共4页
 在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗...  在ICF实验及天体物理的辐射不透明实验中,经常用到多层薄膜靶,激光脉冲气相沉积(PLD)技术是制备多层薄膜靶的较好方法。论述了PLD技术的原理、实验方法和装置的设计,用该方法初步制备了原子级光滑的Cu及Cu Fe薄膜。Cu薄膜的均方根粗糙度为0.2nm,Fe薄膜的均方根粗糙度为0.4nm。 展开更多
关键词 脉冲激光气相沉积 ICF 薄膜靶 制备 准分子激光器
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激光成形制备生物医用材料研究现状与发展趋势 被引量:27
7
作者 黄卫东 吕晓卫 林鑫 《中国材料进展》 CAS CSCD 2011年第4期1-10,29,共11页
激光成形技术能够实现生物医用材料、人造肢体及医用植入体的个性化设计和生产,并且具有很少的工序环节和很短的加工周期,因此在生物医用材料的制备领域具有重大应用价值。目前适合于生物医用材料制备的激光成形技术主要有立体光刻(SL)... 激光成形技术能够实现生物医用材料、人造肢体及医用植入体的个性化设计和生产,并且具有很少的工序环节和很短的加工周期,因此在生物医用材料的制备领域具有重大应用价值。目前适合于生物医用材料制备的激光成形技术主要有立体光刻(SL),分层实体制造(LOM),选择性激光烧结/熔化(SLS/SLM)和激光立体成形(LSF)技术。基于各种激光成形制备技术的原理和特点,综述了激光成形制备生物医用材料的研究进展和应用现状,认为中国在激光成形的各个单项技术领域同发达国家的差别并不大,但综合集成和产业化的差距却非常大。因此,形成包含完整产业链的产学研创新联盟是激光成形技术在中国生物医用材料领域科技发展和产业振兴的重要途径。先进的装备技术是任何一种技术充分发展和应用的必要基础,也是我国生物医用材料产业落后于发达国家的关键环节之一。因此,迫切需要建立适用于医用植入体制造的专用激光立体成形制备系统,形成具有市场化前景、自主知识产权的产品工程化技术和工艺流程,并建立相应的技术标准体系,以显著提升我国生物医用材料及医用植入体的技术水平,促进我国医用植入及组织工程领域的整体发展。 展开更多
关键词 激光成形 生物医用材料 激光立体成形 选择性激光烧结 选择性激光熔化
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激光快速成形技术的发展及其在功能梯度材料制备上的应用 被引量:10
8
作者 魏增敏 张永忠 +2 位作者 高士友 杜宝亮 石力开 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期77-80,共4页
激光快速成形技术集计算机辅助设计、高功率激光熔覆、快速成形于一体,通过激光熔化同步输送的金属或陶瓷粉末,在基板上逐层熔化堆积而形成致密的材料或零件。其离散/堆积的成形特点使得该技术在材料及零件制备上具有很大的柔性,通过精... 激光快速成形技术集计算机辅助设计、高功率激光熔覆、快速成形于一体,通过激光熔化同步输送的金属或陶瓷粉末,在基板上逐层熔化堆积而形成致密的材料或零件。其离散/堆积的成形特点使得该技术在材料及零件制备上具有很大的柔性,通过精确控制2种或多种材料粉末的输送和相应的工艺可以实现材料组成、微观组织结构和性能的梯度分布及多种材料的集成。介绍了激光快速成形的原理、技术特点、系统组成,着重介绍了国内外采用该技术在制备功能梯度材料方面的研究开发情况,简要分析了利用激光快速成形技术制备功能梯度材料的发展前景。 展开更多
关键词 激光快速成形技术 材料制备 功能梯度材料 计算机辅助设计 应用 结构和性能 激光熔覆 陶瓷粉末 激光熔化 成形特点 材料组成 精确控制 梯度分布 微观组织 开发情况 发展前景 高功率 国内外 输送 零件 堆积
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激光熔覆制备梯度功能涂层的研究现状 被引量:16
9
作者 杨森 赵金兰 杨欣 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期220-224,共5页
介绍了激光熔覆技术的特点及其在材料表面改性中的应用概况,回顾了利用激光熔覆技术制备梯度功能涂层的国内外研究现状。经分析认为,外加强化相与基材热物性差别大是导致涂层开裂失效的主要因素。利用原位合成和基于快速原型的激光直接... 介绍了激光熔覆技术的特点及其在材料表面改性中的应用概况,回顾了利用激光熔覆技术制备梯度功能涂层的国内外研究现状。经分析认为,外加强化相与基材热物性差别大是导致涂层开裂失效的主要因素。利用原位合成和基于快速原型的激光直接制造技术制备梯度功能表层或构件是将来的发展方向。 展开更多
关键词 激光技术 原位自生 梯度功能材料 激光直接制造
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改进的飞秒激光加工微型光波导方法 被引量:7
10
作者 龚小竞 褚家如 +2 位作者 杨建军 张铁群 朱晓农 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期27-32,共6页
分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法。在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法。未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10∶1,甚至更... 分析了垂直式加工中加工区域光强分布不对称的原因,从理论上总结出改进这种不对称的方法。在分析了仅引入单个透镜就能实现这一改进的可行性后,实验验证了这种改进方法。未改进之前加工出的光波导其端口两个方向直径之比为10∶1,甚至更高;而改进后的比例则非常接近1∶1。通过对光强不对称的改进,该方法有光路简单,无能量损失的优势。 展开更多
关键词 飞秒激光 垂直式加工 光波导
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激光惯性约束聚变靶制备技术研究进展 被引量:11
11
作者 高莎莎 吴小军 +4 位作者 何智兵 何小珊 王涛 朱方华 张占文 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期1-10,共10页
在实验室实现聚变反应释放的能量大于点燃聚变反应所需能量的阈值是当今世界ICF研究的主要目标,实现这一目标仍需要深入研究一系列的关键物理问题。在ICF研究中,制靶能力的发展与提升至关重要,靶的质量是实验成功的核心要素之一。本文... 在实验室实现聚变反应释放的能量大于点燃聚变反应所需能量的阈值是当今世界ICF研究的主要目标,实现这一目标仍需要深入研究一系列的关键物理问题。在ICF研究中,制靶能力的发展与提升至关重要,靶的质量是实验成功的核心要素之一。本文介绍了国际ICF靶制备工作近年来在新型烧蚀层材料靶丸、新型靶丸支撑技术、优化黑腔材料与构型以及减小燃料填充管直径等方面取得的一系列进展,并结合ICF物理需求,简要阐述了ICF靶的发展趋势。 展开更多
关键词 惯性约束聚变 制备 进展 发展
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大功率激光扩束器的光学设计 被引量:8
12
作者 巩盾 王红 +1 位作者 田铁印 袁钾光 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期426-428,436,共4页
为了使激光扩束器可以长时间的工作于大功率激光照射情况下,在传统多波长激光扩束器的基础上,利用变更材料和结构的方法进行改进,设计了2.3倍和6倍两级扩束的激光扩束器,用光学设计软件分析其像质并进行优化,对像质进行理论分析;加工成... 为了使激光扩束器可以长时间的工作于大功率激光照射情况下,在传统多波长激光扩束器的基础上,利用变更材料和结构的方法进行改进,设计了2.3倍和6倍两级扩束的激光扩束器,用光学设计软件分析其像质并进行优化,对像质进行理论分析;加工成型后,置于实际环境中进行实验。经实验验证,在调Q脉冲激光器的峰值功率高达20MW的大功率激光照射下,在系统后1m位置出射光束直径分别为24.5mm和154.8mm,脉冲间隔可以在5s以上,并很好地保持了高斯光束的固有特性。结果表明,扩束器完全达到设计要求,有良好的使用效果。 展开更多
关键词 光学设计与制造 激光扩束器 石英 大功率激光器
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激光原位合成TiC-Ni-Mo涂层界面组织与磨损性能 被引量:10
13
作者 赫庆坤 王勇 +1 位作者 赵卫民 程义远 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期77-80,100+117,共6页
利用激光熔覆原位合成了TiC-Ni-Mo复合涂层,借助于EPMA,TEM分析以及磨损试验,研究了TiC-Ni-Mo涂层的界面组织与磨损性能.结果表明,在涂层中添加5%Mo,可以细化TiC晶粒,改善涂层组织的均匀性,提高涂层硬度和耐磨性,降低摩擦系数,TiC/Ni界... 利用激光熔覆原位合成了TiC-Ni-Mo复合涂层,借助于EPMA,TEM分析以及磨损试验,研究了TiC-Ni-Mo涂层的界面组织与磨损性能.结果表明,在涂层中添加5%Mo,可以细化TiC晶粒,改善涂层组织的均匀性,提高涂层硬度和耐磨性,降低摩擦系数,TiC/Ni界面存在如下位向关系:(001)TiC//(111)γ-Ni.添加10%Mo,涂层硬度和耐磨性下降.TiC颗粒中存在大量呈一定方向分布的位错,γ-Ni相内部的位错杂乱分布;熔覆层的耐磨机制为增强相的抗磨作用,磨损形貌为短而浅的犁沟. 展开更多
关键词 激光熔覆 原位合成 界面 耐磨性
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飞秒激光双光子聚合方法加工图案化微透镜及其成像测试 被引量:7
14
作者 苏亚辉 秦天天 +1 位作者 许兵 吴东 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期2629-2635,共7页
为改善以往图案化透镜加工工艺复杂、制造技术昂贵、图案设计方面有限制等缺点,本文将飞秒激光双光子聚合加工技术应用于图案化微透镜的快速、高精度加工。通过球面波因子的变形设计了不同图案的微透镜,利用飞秒激光双光子聚合加工技术... 为改善以往图案化透镜加工工艺复杂、制造技术昂贵、图案设计方面有限制等缺点,本文将飞秒激光双光子聚合加工技术应用于图案化微透镜的快速、高精度加工。通过球面波因子的变形设计了不同图案的微透镜,利用飞秒激光双光子聚合加工技术在光刻胶样品中加工出图案化的微透镜,然后将光刻胶样品置于显影液中去除未聚合部分,得到图案化微透镜,最后对图案化微透镜进行成像测试和光强均一化分析。将LED光源分别置于不同图案微透镜的下方,光线透过图案化微透镜成功聚焦出光强一致的焦点图案。实验结果表明,使用飞秒激光双光子聚合加工可以实现灵活可控的3D图案化微透镜结构的加工,采用加工功率为7 mW,曝光时间为2 ms,扫描xy步距为0.5μm,z步距为0.8~1.5μm,不仅保证了微透镜结构表面光滑,而且实现了微透镜的快速加工。该技术在加工光学超材料、光学微器件、集成光学器件等方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 激光加工 飞秒激光 双光子聚合 微透镜 光刻胶
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激光惯性约束聚变靶技术现状及其发展趋势 被引量:25
15
作者 张林 杜凯 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第12期3091-3097,共7页
靶是激光惯性约束聚变(ICF)研究的物质基础,其质量的好坏对物理实验结果有极其重要的影响。靶本身的特点决定了制靶是一项极其复杂且特色鲜明的系统工程。主要介绍了国内ICF靶制备技术的现状,并对存在的问题及今后一段时期内的发展趋势... 靶是激光惯性约束聚变(ICF)研究的物质基础,其质量的好坏对物理实验结果有极其重要的影响。靶本身的特点决定了制靶是一项极其复杂且特色鲜明的系统工程。主要介绍了国内ICF靶制备技术的现状,并对存在的问题及今后一段时期内的发展趋势作了简要说明。 展开更多
关键词 激光 惯性约束聚变 制备 进展
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激光处理在服装设计中的应用 被引量:10
16
作者 苑国祥 姜绶祥 +2 位作者 纽德华 范金土 欧伟文 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第10期98-103,共6页
通过分析不同条件下激光处理对织物外观和特征的影响,把此处理技术应用于服装设计,并对激光处理前后织物的面密度、厚度、拉伸强度、撕裂强度、色差及表面形态进行观察测试和对比分析。实验结果表明,激光处理在服装设计中具有应用可行性... 通过分析不同条件下激光处理对织物外观和特征的影响,把此处理技术应用于服装设计,并对激光处理前后织物的面密度、厚度、拉伸强度、撕裂强度、色差及表面形态进行观察测试和对比分析。实验结果表明,激光处理在服装设计中具有应用可行性,可以通过激光蚀刻对服装表面进行处理从而取得新的设计效果。这种处理手法不同于传统的加工处理手法,不仅具有无污染的特性,而且能够提高设计生产效率,呈现新的设计外观,赋予更高的附加值。 展开更多
关键词 激光蚀刻 涤纶织物 服装设计 蚀刻处理参数
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316L不锈钢选区激光熔化成型非水平悬垂面研究 被引量:21
17
作者 杨永强 卢建斌 +1 位作者 王迪 罗子艺 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第6期94-99,共6页
为了提高选区激光熔化直接成型非水平悬垂面的能力,通过实验研究了影响悬垂面极限成型角度的工艺因素.实验使用316L不锈钢粉末,设计了不同倾斜角度的悬垂平面模型和悬垂曲面模型.结果表明:提高预置粉末密度可以提高悬垂面成型的极限角度... 为了提高选区激光熔化直接成型非水平悬垂面的能力,通过实验研究了影响悬垂面极限成型角度的工艺因素.实验使用316L不锈钢粉末,设计了不同倾斜角度的悬垂平面模型和悬垂曲面模型.结果表明:提高预置粉末密度可以提高悬垂面成型的极限角度;在25μm的成型厚度下,激光扫描能量输入在0.15~0.2 J/mm时悬垂面成型精度最高,悬垂面翘曲最小,成型完整悬垂表面的倾斜角度达到30°.最后,通过成型带有悬垂结构的个性化零件对研究结果进行验证.成型件悬垂结构在成型方向和水平方面上的尺寸精度分别达到0.1 mm以下和0.01 mm.本研究从工艺和设计的角度为选区激光熔化技术直接成型非水平悬垂面提出了基本的控制和优化方法. 展开更多
关键词 光学制造 快速成型 选区激光熔化 非水平悬垂面
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激光熔覆原位合成TiC/Ti复合材料试验研究 被引量:9
18
作者 廖乃镘 张先菊 +2 位作者 李伟 范洪远 黄文容 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2005年第2期24-26,共3页
利用激光熔覆技术,在工业纯钛表面原位合成了 TiC/Ti复合材料。结果表明:选择不同的激光熔覆工艺参数,可使碳粉和Ti粉通过原位合成反应在钛表面生成TiC/Ti复合材料熔覆层;激光功率和扫描速率是影响熔覆层质量的主要因素:激光功率越大,... 利用激光熔覆技术,在工业纯钛表面原位合成了 TiC/Ti复合材料。结果表明:选择不同的激光熔覆工艺参数,可使碳粉和Ti粉通过原位合成反应在钛表面生成TiC/Ti复合材料熔覆层;激光功率和扫描速率是影响熔覆层质量的主要因素:激光功率越大,形成的增强相颗粒尺寸越大,相应合金元素氧化也越严重;扫描速率越大,Ti与 C的作用时间变短,增强相颗粒尺寸越细小,且增强相所占的体积分数也相应减少。用 XRD、DES和 SEM证明了 TiC颗粒的存在,同时发现颗粒分布具有一定的均匀性,原位生成的TiC颗粒主要以等轴状和块状两种形态存在。 展开更多
关键词 激光熔覆 原位反应合成 TIC 钛基复合材料
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激光熔覆直接制造金属零件的组织及力学性能分析 被引量:10
19
作者 姬生钦 李鹏 曾晓雁 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期130-132,160,共4页
利用激光熔覆直接制造技术,采用不同的路径填充模式制备了不锈钢拉伸试样,对试样进行拉伸试验并对断口进行电镜扫描分析。结果表明,所制备的金属拉伸试样结合强度高,表现为韧性断裂,其屈服强度与断裂强度高于相近成分下常规加工方式所... 利用激光熔覆直接制造技术,采用不同的路径填充模式制备了不锈钢拉伸试样,对试样进行拉伸试验并对断口进行电镜扫描分析。结果表明,所制备的金属拉伸试样结合强度高,表现为韧性断裂,其屈服强度与断裂强度高于相近成分下常规加工方式所加工试样的相应值。激光扫描方向对拉伸性能的高低没有显著影响。拉伸试样显微组织晶粒细小,具有定向凝固特征。 展开更多
关键词 激光技术 激光熔覆 激光直接制造 力学性能 不锈钢 金属粉末
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脉冲激光沉积法制备VO_2热致变色薄膜研究进展 被引量:4
20
作者 李毅 王海方 +4 位作者 俞晓静 黄毅泽 张虎 张伟 朱慧群 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第12期83-88,共6页
基于半导体和金属间的相变特性,伴随着温度、电场、压力的变化,具有相关智能特性的VO2薄膜材料具有较大的应用潜力。本文主要阐述脉冲激光沉积技术在制备金属氧化物方面的物理过程和技术特点,详细介绍脉冲激光沉积制备VO2薄膜材料的工... 基于半导体和金属间的相变特性,伴随着温度、电场、压力的变化,具有相关智能特性的VO2薄膜材料具有较大的应用潜力。本文主要阐述脉冲激光沉积技术在制备金属氧化物方面的物理过程和技术特点,详细介绍脉冲激光沉积制备VO2薄膜材料的工艺参数和国内外研究进展,并与几种常规制备方法进行对比,给出脉冲激光沉积掺杂对VO2薄膜材料特性的影响,以及采用脉冲激光沉积制备VO2纳米材料,讨论了脉冲激光沉积制备具有智能特性的VO2薄膜材料存在的问题和发展方向。 展开更多
关键词 脉冲激光沉积 VO2 薄膜 制备 掺杂
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