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Langmuir probe diagnostics in multi-Maxwellian EEDF plasmas
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作者 YIP Chi-shung JIN Chenyao +1 位作者 JIANG Di ZHANG Wei 《推进技术》 北大核心 2025年第6期254-274,共21页
This article provides a short review on the importance of the detailed analysis of a Langmuir probe I-V trace in a multi-Maxwellian plasma,and discuss proper procedures analyzing Langmuir probe I-V traces in bi-Maxwel... This article provides a short review on the importance of the detailed analysis of a Langmuir probe I-V trace in a multi-Maxwellian plasma,and discuss proper procedures analyzing Langmuir probe I-V traces in bi-Maxwellian and triple-Maxwellian Electron Energy Distribution Function(EEDF)plasmas.Discus⁃sion and demonstration of procedures include the treatment of the ion saturation current,electron saturation cur⁃rent,space-charge effects on the I-V trace,and most importantly how to properly isolate and fit for each electron group present in an I-V trace reflecting a mult-Maxwellian EEDF,as well as how having a multi-Maxwellian EEDF affects the procedures of treating the ion and electron saturation currents.Shortcomings of common improp⁃er procedures are discussed and demonstrated with simulated I-V traces to show how these procedures gives false measurements. 展开更多
关键词 plasma diagnostics langmuir probes EEDFs I-V characteristics Electron temperature
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Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体 被引量:8
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作者 张治国 陈小锰 +3 位作者 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期110-114,共5页
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010~1011数量级,电子温度在(5~10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;... 利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010~1011数量级,电子温度在(5~10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;同样随微波源功率变化,等离子体密度在功率为850W时也达到最大值。电子温度、等离子体空间电位变化与等离子体密度呈相同趋势。 展开更多
关键词 非平衡磁控溅射 langmuir 探针诊断 ECR 等离子体密度 等离子体参量 电子温度 功率变化 变化关系 电位变化 最大值 工艺参 数量级 溅射靶 微波源 片架
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Langmuir探针诊断低压氢等离子体电子密度与温度 被引量:6
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作者 戴阳 吴卫东 +4 位作者 高映雪 葛芳芳 黄竞 王海平 马婷婷 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期1234-1238,共5页
为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,... 为研究实验参数对螺旋波诱导的低压氢等离子体状态的影响,用Langmuir探针对等离子体伏安特性曲线进行了原位诊断,采用双曲正切函数的指数变换模型拟合曲线,根据Druyvesteyn方法得到状态参数电子密度、有效电子温度和电子能量几率函数,分析了它们随实验参数的变化规律。结果表明:射频输入功率、气压和约束磁场对等离子体状态有较大影响。随着射频射入功率增大,放电模式发生转变,电子密度跳跃增长;随着气压增大,电子密度先增大后减小,1.5 Pa为最佳电离气压,随约束磁场的增强呈线性增长;有效电子温度随功率和气压的增大而下降,随约束磁场的增强线性降低,电子能量几率函数曲线峰位和高能部分都向低能移动,与有效电子温度变化规律吻合。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 langmuir探针 双曲正切函数 Druyvesteyn方法 状态参数
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直流磁控溅射辉光等离子体的Langmuir静电探针诊断 被引量:4
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作者 温培刚 颜悦 +6 位作者 望咏林 伍建华 张官理 张定国 陆文琪 董闯 徐军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期79-82,共4页
与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要... 与大连理工大学合作研制了新型Langmuir静电探针。应用研制的静电探针,对氩气直流磁控溅射铜等离子体进行了轴向和径向二维空间内的诊断。诊断结果显示:电子温度随着离靶面距离增大而递减;电子密度在径向和轴向均存在波动;电子能量主要分布在0eV~5eV范围内,高能电子占比例极少。 展开更多
关键词 直流磁控溅射 langmuir静电探针 等离子体 诊断
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用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布 被引量:5
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作者 陈宗胜 林志丹 +1 位作者 时家明 马丽芳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期646-649,共4页
电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子... 电子密度是低温等离子体的重要参数之一,仅采用发射光谱或Langmuir探针一种诊断方法,很难测量出该参数及其分布。针对这一问题,提出了用Langmuir探针法标定的发射光谱法,用于诊断等离子体电子密度及其分布。通过对一定长度表面波等离子体源的实验测量,验证了该方法的可行性。对于电子温度变化不大的等离子体,利用本文提出的诊断方法,可以测量出其电子密度及其分布。提出的诊断方法为低温等离子体参数的实验诊断提供了一种新的途径。 展开更多
关键词 等离子体 langmuir探针 发射光谱 诊断
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氙气离子推力器束流等离子体特征参数的Langmuir单探针诊断 被引量:8
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作者 张尊 汤海滨 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1602-1608,共7页
离子推力器和航天器的成功整合,需要对羽流-航天器之间可能的相互作用进行全面的评估。为了给二者的整合提供实验依据,设计使用了Langmuir单探针测试系统,对氙气离子推力器束流等离子体参数的空间分布进行了诊断研究。实验中使用栅极表... 离子推力器和航天器的成功整合,需要对羽流-航天器之间可能的相互作用进行全面的评估。为了给二者的整合提供实验依据,设计使用了Langmuir单探针测试系统,对氙气离子推力器束流等离子体参数的空间分布进行了诊断研究。实验中使用栅极表面向外凸出的双栅极Kaufman型离子推力器,真空舱的背景压强为3mPa。与传统静态等离子体不同的是:离子推力器束流等离子体具有很大的定向速度,致使探针电流大幅增加,所以传统静态等离子体条件下的I-V(电流-电位)曲线的解释需要重新考虑并进行适当修正。为了尽量减少定向流对离子饱和电流的影响,实验中选择将Langmuir探针与推力器轴线平行放置。实验结果表明:离子推力器的束流等离子体的悬浮电位、空间电位、离子浓度的变化趋势相似,不同径向位置处的各参数都随着轴向距离的增加而减小。分布图中存在一些参数值较低的特殊点,是因为这些测点并没有位于等离子体束流区域内。通过这些特殊点的轴向和径向坐标,可估计出推力器的束流发散角(16.014°)、栅极半径(在71.3~111.3mm范围之内)、束流形状。 展开更多
关键词 离子推力器 束流等离子体 langmuir单探针 悬浮电位 空间电位 电子温度 离子浓度
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溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断 被引量:1
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作者 李洪涛 蒋百灵 +3 位作者 杨波 曹政 郭维华 焦栋茂 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期476-480,共5页
为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流辉光放电等离子体进行了诊断,分析了直流辉光放电等离子体参量(离子密度、离子流通量、等离子体电势、电... 为揭示磁控溅射辉光放电等离子体参量对Si薄膜沉积过程的本质影响,采用Langmuir探针于不同的靶电流、靶基距和氢分压条件下对直流辉光放电等离子体进行了诊断,分析了直流辉光放电等离子体参量(离子密度、离子流通量、等离子体电势、电子密度、电子温度)的变化规律,并以此为依据探讨了其对Si靶溅射过程和溅射Si粒子输运过程的影响。结果表明:不同靶电流下,距靶面3 cm处等离子体参量中离子密度、离子流通量和电子密度均随靶电流的增大而增大;靶电流为0.5A时,在靶基距从4 cm增大至21 cm过程中,离子密度和离子流通量先增大后减小,均在9 cm处出现峰值;靶基距恒为12 cm时,随氢气流量的增大,离子密度和离子流通量均增大(除氢气流量为45 ml/min(标准状态)时有所下降)。上述各参数下电子温度的变化波动性较大,但电子能量均在15 eV,即高能电子所占比例极小。 展开更多
关键词 磁控溅射 langmuir探针 等离子体 离子密度 电子密度
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便携式等离子体Langmuir探针数据采集处理系统的研制 被引量:1
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作者 牛田野 曹金祥 +2 位作者 金革 梁昊 朱颖 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期470-473,共4页
本文通过Langmuir探针对等离子体参数特性的研究,作者设计了一种便携式的高速探针数据采集与处理系统。该系统结构紧凑,集成了扫描电源和数据采集电路,通过USB2.0接口上传至PC。配合PC端的应用程序,可以完成在线数据采集与离线分析的功... 本文通过Langmuir探针对等离子体参数特性的研究,作者设计了一种便携式的高速探针数据采集与处理系统。该系统结构紧凑,集成了扫描电源和数据采集电路,通过USB2.0接口上传至PC。配合PC端的应用程序,可以完成在线数据采集与离线分析的功能。与传统的静电探针采集电路相比,本系统采集速度高,传输迅速,安装携带方便,可以适应不同环境等离子体实验的要求。 展开更多
关键词 等离子体诊断 探针 高速数据采集 USB
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Langmuir探针测量低温等离子体参数特性实验 被引量:2
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作者 符斯列 陈俊芳 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2010年第3期4-6,13,共4页
介绍了Langmuir探针测量等离子体参数特性的实验原理和方法,采用Langmuir单探针诊断了电子回旋共振等离子体参数的分布特性。结果表明,在一定微波功率下,气压增加,等离子体密度趋于饱和。将Langmuir单探针测量等离子体特性实验引入高年... 介绍了Langmuir探针测量等离子体参数特性的实验原理和方法,采用Langmuir单探针诊断了电子回旋共振等离子体参数的分布特性。结果表明,在一定微波功率下,气压增加,等离子体密度趋于饱和。将Langmuir单探针测量等离子体特性实验引入高年级近代物理实验课程的综合创新实验,使得学生在动手实验的过程中接触到物理学科研究前沿领域的技术与知识,激发学生的创新意识和提高创新能力。 展开更多
关键词 langmuir单探针 低温等离子体 特性诊断
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Langmuir探针的中毒效应及其抑制
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作者 林揆训 林璇英 +2 位作者 余云鹏 王洪 胡盛明 《功能材料》 EI CAS CSCD 1996年第5期392-395,共4页
射频辉光放电硅烷等离子体化学汽相沉积是制备氢化非晶硅薄膜的主要工艺技术。探测和控制等离子体参数是选取最佳工艺条件、制备优质薄膜的关键问题。Langmuir探针是获得等离子体荷电参数的诊断技术。本文分析了探针诊断技术中... 射频辉光放电硅烷等离子体化学汽相沉积是制备氢化非晶硅薄膜的主要工艺技术。探测和控制等离子体参数是选取最佳工艺条件、制备优质薄膜的关键问题。Langmuir探针是获得等离子体荷电参数的诊断技术。本文分析了探针诊断技术中的一大难题──中毒效应产生的原因,提出并验证了用加热探针抑制中毒效应的机理。理论分析和实验结果表明,探针被加热升温到200℃时,其中毒效应完全得到了抑制。 展开更多
关键词 射频 辉光放电 硅烷 等离子体诊断 L-探针
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工频脉冲激励条件下线形微波H_2等离子体的Langmuir探针诊断
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作者 刘伟 唐伟忠 +1 位作者 黑立富 蒋开云 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期312-317,共6页
在金刚石膜的化学气相沉积过程中,使用脉冲电源激励的微波等离子体可以提高金刚石膜的沉积速率或金刚石膜的质量。本文使用Langmuir探针研究了在工频脉冲电源激励条件下形成的线形微波H2等离子体的状态和开关特性。实验测量了在使用一... 在金刚石膜的化学气相沉积过程中,使用脉冲电源激励的微波等离子体可以提高金刚石膜的沉积速率或金刚石膜的质量。本文使用Langmuir探针研究了在工频脉冲电源激励条件下形成的线形微波H2等离子体的状态和开关特性。实验测量了在使用一支磁控管单独激励和两支磁控管共同激励情况下的H2等离子体的状态参量,包括等离子体的空间电位Vsp、探针悬浮电位Vf、电子温度Te和电子密度ne随时间的变化,特别是讨论了H2等离子体参量在激励电源开启与关断瞬间的过渡特征。 展开更多
关键词 langmuir探针 微波等离子体 脉冲电源
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Langmuir探针法结合发射光谱法诊断螺旋波低压氢等离子体
12
作者 高映雪 吴卫东 +1 位作者 戴阳 姜帆 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2011年第4期365-371,共7页
采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射... 采用Langmuir探针法结合发射光谱法对螺旋波诱导的低压氢等离子体进行诊断,根据Druyvesteyn方法和日冕模型分析电子能量几率函数(EEPF)、有效电子温度(Teff)、电子密度(ne)及激发态氢原子密度(nH*)随实验参数的变化规律。结果表明:随射频功率(Prf)、气压(p)和约束磁场(B)的增大,EEPF峰位由高能向低能移动,Teff下降;当Prf从25W增大至35W左右时,ne发生跳跃增长,而nH*始终随Prf增大线性增长;随p增大,ne和nH*都呈现先增加后减小的变化规律;随B增强,ne线性增长,而nH*先增大后减小。 展开更多
关键词 螺旋波等离子体 langmuir探针 发射光谱 Druyvesteyn方法 日冕模型
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用Langmuir探针诊断MPT羽流 被引量:4
13
作者 林榕 毛根旺 +3 位作者 唐金兰 杨涓 夏广庆 何洪庆 《固体火箭技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期149-152,共4页
为了探索微波等离子推力器(MPT)羽流的特性,建立了一套Langmuir探针诊断系统并对MPT的羽流进行了诊断,得出了MPT喷管羽流的电子温度和电子数密度等重要特性参数。实验结果表明,所测参数反映了等离子体的特性,与理论计算结果基本相符,并... 为了探索微波等离子推力器(MPT)羽流的特性,建立了一套Langmuir探针诊断系统并对MPT的羽流进行了诊断,得出了MPT喷管羽流的电子温度和电子数密度等重要特性参数。实验结果表明,所测参数反映了等离子体的特性,与理论计算结果基本相符,并且诊断手段简单易行,为MPT羽流诊断提供了一种实验手段。 展开更多
关键词 微波等离子推力器(MPT) langmuir探针 等离子体诊断 羽流 电子温度
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高信噪比Langmuir探针系统 被引量:2
14
作者 李亚磊 邓新绿 +1 位作者 俆军 丁万昱 《核聚变与等离子体物理》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期306-309,共4页
介绍了一套以积分网络为基础的新型Langmuir探针系统。该系统使用积分网络进行数据采集,在数据采集过程中同步完成模/数转换,有效地抑制了噪音干扰。以数据采集卡为接口与计算机系统进行数据通信,提出了一种在等离子体诊断中有效抵制噪... 介绍了一套以积分网络为基础的新型Langmuir探针系统。该系统使用积分网络进行数据采集,在数据采集过程中同步完成模/数转换,有效地抑制了噪音干扰。以数据采集卡为接口与计算机系统进行数据通信,提出了一种在等离子体诊断中有效抵制噪音干扰的方法,大幅度提高了探针的信噪比。探针系统已成功地应用于ECR等离子体源中。实验表明:该探针系统具有良好的抗干扰效果,得到的I-V特性曲线平滑,无明显的背景干扰信号,获得高出普通Langmuir探针10.9dB的探针信噪比。 展开更多
关键词 langmuir探针 等离子体诊断 抗干扰 信噪比 I-V特性曲线
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基于数据采集系统的等离子体Langmuir探针诊断实验 被引量:1
15
作者 李阿红 鄢扬 +2 位作者 王彬 高昕艳 谢文楷 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第8期1301-1305,共5页
采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合,实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果。本数据采集系统是一个虚拟仪器系统,包括数据采集、分析测试和结果显示三部分,用来采集Langmuir探针的电流电压信号,并加以分析... 采用Langmuir探针、扫描电源和微机数据采集系统相结合,实时获得了等离子体的伏安特性曲线及参数计算结果。本数据采集系统是一个虚拟仪器系统,包括数据采集、分析测试和结果显示三部分,用来采集Langmuir探针的电流电压信号,并加以分析处理。整个测试过程非常快,可以在ms级的时间内完成,相对于手动测试,基于数据采集系统的Langmuir探针诊断实验得到的数据更为精确,电压测试范围更大,并能去除因为等离子体电位漂移而产生的曲线失真。根据所得的伏安曲线,讨论了等离子体的电子温度,离子密度等参数的计算方法。进一步研究发现电子温度随真空室气压增大而变小,离子密度随气压增大而变大。 展开更多
关键词 langmuir探针 等离子体 电子温度 离子密度 数据采集系统
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Langmuir双探针测量Hall推力器羽流特性 被引量:2
16
作者 白耀忠 王平阳 +2 位作者 康小录 于水淋 乔彩霞 《推进技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期368-371,共4页
应用Langmuir双探针测量了距离Hall推力器出口30~100cm的羽流特性。实验中真空舱压力保持在5×10^-4~2×10^-3Pa之间。实验证明,电子温度和数密度随着角度和轴向距离的变化而变化,但羽流中远场的电子温度变化幅度很小,基... 应用Langmuir双探针测量了距离Hall推力器出口30~100cm的羽流特性。实验中真空舱压力保持在5×10^-4~2×10^-3Pa之间。实验证明,电子温度和数密度随着角度和轴向距离的变化而变化,但羽流中远场的电子温度变化幅度很小,基本稳定在0.455eV左右;电子数密度随着与轴向距离和中心轴夹角的增加而减小。实验结果可为高性能的Hall推力器设计提供参考依据,并为等离子体羽流的数值模拟提供输入条件和验证依据。 展开更多
关键词 Hall推力器^+ langmuir双探针^+ 等离子体羽流^+
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余辉等离子体研究——Langmuir探针数采系统及空间电位理论
17
作者 秦宏 焦维新 +1 位作者 王文清 肖佐 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1991年第3期365-372,共8页
本文第一部分设计了余辉等离子体Langmuir探针的计算机数据采集系统,实验结果表明,这个系统是可靠的。第二部分对实验中得到的空间电位演化规律进行了理论分析,提出了双极扩散电位理论,较好地拟合了实验曲线,在实验中发现的探针电流峰... 本文第一部分设计了余辉等离子体Langmuir探针的计算机数据采集系统,实验结果表明,这个系统是可靠的。第二部分对实验中得到的空间电位演化规律进行了理论分析,提出了双极扩散电位理论,较好地拟合了实验曲线,在实验中发现的探针电流峰值弛豫现象可以用空间电位的演化做定性的解释。 展开更多
关键词 余辉 等离子体 探针 数据采集
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太阳辐射通量对星载朗缪尔探针等离子体密度测量精度的影响
18
作者 朱子渊 熊超 +5 位作者 郑宇豪 颜蕊 高顺祖 黄宇阳 尹凡 万欣 《地球物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期2886-2896,共11页
本文利用Swarm C卫星和CHAMP卫星搭载的朗缪尔探针测量的电离层就位等离子体密度数据和位于Arecibo及Jicamarca两座非相干散射雷达测量的电子密度数据进行了详细、全面的对比.除此之外,本文还使用了利用GRACE卫星星间测距系统(K-Band Ra... 本文利用Swarm C卫星和CHAMP卫星搭载的朗缪尔探针测量的电离层就位等离子体密度数据和位于Arecibo及Jicamarca两座非相干散射雷达测量的电子密度数据进行了详细、全面的对比.除此之外,本文还使用了利用GRACE卫星星间测距系统(K-Band Ranging system,KBR)计算得到的星间平均电子密度作为进一步对比.总体上来看,Swarm C、CHAMP和GRACE三颗卫星都与两台地基非相干散射雷达观测数据展现出了良好的线性关系,相关系数分别达到了0.96,0.97,0.96.不同的是,Swarm C卫星与雷达观测间的误差表现出了对太阳辐射通量的依赖,而该依赖关系在CHAMP和GRACE卫星等离子体密度数据中却不明显.结合三颗卫星飞行期间其所处高度及太阳辐射通量的变化,我们认为星载朗缪尔探针的测量结果与探头周围的离子成分有密切关系.比如,在Swarm卫星的数据反演算法中没有考虑离子成分变化对等离子体密度反演精度的影响.在太阳活动低年,较轻的离子(比如H~+)从等离子体层向下扩散到Swarm卫星轨道高度时,其朗缪尔探针就会高估探头周围的等离子体密度.这一影响主要出现在太阳活动低年,且在夜侧要显著大于日侧.与Swarm卫星不同的是,CHAMP卫星的轨道高度随着时间下降(从450 km降至320 km)与太阳辐射通量水平下降的趋势一致,导致CHAMP卫星高度的离子成分变化不明显,其等离子体密度测量误差没有展现出对太阳活动的依赖性.此外,虽然GRACE卫星在2008—2009极低太阳活动年期间,其轨道高度维持在约480 km,但其测量方法并不依赖于卫星周围离子成分的变化,因此其测量结果与雷达观测间的误差也未表现出明显的太阳活动依赖.该对比结果显示了基于GRACE星间测距系统得到的顶部电离层等离子体密度可以为其他基于朗缪尔探针测量的低轨道卫星提供很好的绝对值参考,有助于其他卫星等离子体密度测量的在轨标较. 展开更多
关键词 朗缪尔探针 等离子体密度测量 电离层电子密度
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鞘层电容对快速扫描双探针伏安曲线的影响
19
作者 孙海岗 靳琛垚 +2 位作者 张炜 江堤 叶孜崇 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2024年第2期198-205,共8页
建造了基于多偶极腔体热阴极放电形式搭建的500kHz不对称快速扫描双探针系统,以电容对测量结果的影响进行实验研究。对不同扫描频率下不同尺寸的快速扫描不对称朗缪尔双探针受离子饱和电流及鞘电流影响的结果进行了对比分析。这项研究... 建造了基于多偶极腔体热阴极放电形式搭建的500kHz不对称快速扫描双探针系统,以电容对测量结果的影响进行实验研究。对不同扫描频率下不同尺寸的快速扫描不对称朗缪尔双探针受离子饱和电流及鞘电流影响的结果进行了对比分析。这项研究对于不同扫描频率下快速扫描不对称双探针的选择应用有着参考和指导意义。 展开更多
关键词 朗缪尔探针 等离子体诊断 鞘层电容
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常压介质阻挡放电的部分电学参量研究 被引量:9
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作者 唐晓亮 邱高 +4 位作者 任忠夫 冯贤平 闫永辉 严治仁 王良 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期55-57,共3页
用自制改进的介质阻挡放电连续处理纺织材料的装置 ,采用示波器李萨如图形测量放电功率 ,分析了常压等离子体放电的极板充电电流和放电功率等电学参量间的变化关系 ,研究结果表明 :放电间隙、工作气体成分和流量均会影响这些电学参量 ,... 用自制改进的介质阻挡放电连续处理纺织材料的装置 ,采用示波器李萨如图形测量放电功率 ,分析了常压等离子体放电的极板充电电流和放电功率等电学参量间的变化关系 ,研究结果表明 :放电间隙、工作气体成分和流量均会影响这些电学参量 ,当放电间隙 1.0~ 2 .5mm时 。 展开更多
关键词 介质阻挡放电 参量 材料表面改性 李萨如图形 变化关系 电学 辉光放电 极板 充电电流 放电间隙
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