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GaAs/InP材料的外延技术研究
1
作者
李玉东
王本忠
+2 位作者
王如峰
刘式墉
苏士昌
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1993年第5期29-32,共4页
关键词
砷化镓
衬底
材料
外延生长
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职称材料
InGaAsP/InP异质界面的X射线双晶衍射测量
2
作者
卢革宇
王贤仁
+2 位作者
苗忠礼
程强
关一民
《吉林大学自然科学学报》
CAS
CSCD
1993年第3期61-63,共3页
本文利用X射线双晶衍射测量LPE生长的InGaAsP/InP异质结的R-C曲线,得到了异质结的垂直失配和水平失配.在考虑存在失配位错的情况下,计算了驰豫晶格失配、曲率半径和失配位错密度.指出了影响外延层R-C曲线半峰宽的因素.
关键词
界面
双晶衍射
X射线
异质结
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职称材料
(ZnSe/Cdse)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的X射线双晶衍
3
作者
朱南昌
李润身
+2 位作者
陈京一
彭中灵
袁诗鑫
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第3期167-174,共8页
给出了通过测量3条X射线双晶衍射摇摆曲线计算多层外延材料各层成份、界面共格度及晶向偏角的方法,并对(CdSe/ZnSe)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的结构、应变及界面进行了研究.结果表明:ZnSe缓冲层与...
给出了通过测量3条X射线双晶衍射摇摆曲线计算多层外延材料各层成份、界面共格度及晶向偏角的方法,并对(CdSe/ZnSe)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的结构、应变及界面进行了研究.结果表明:ZnSe缓冲层与衬底之间的界面共格度接近干零,而多量子阱部分与缓冲层之间的界面接近完全共格,表明多量子阱结构有较好的结构完整性.缓冲层与衬底之间有晶向偏角,而多量子阱结构与缓冲层之间无晶向偏角.在复杂多量子阱材料的摇摆曲线上未见内周期的卫星衍射峰.多量子阱实际的生长厚度比设计厚度小20%~30%,说明生长过程中存在表面原子的逃逸,致使样品的不同部位存在组份、厚度的不均匀和局部的应变。还讨论了X射线衍射仪与双晶衍射仪在测定多量子阱结构时的差别.
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关键词
X射线双晶衍射
多量子阱
硒化镉
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职称材料
题名
GaAs/InP材料的外延技术研究
1
作者
李玉东
王本忠
王如峰
刘式墉
苏士昌
机构
吉林大学电子科学系 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1993年第5期29-32,共4页
基金
国家自然科学基金
关键词
砷化镓
衬底
材料
外延生长
Keywords
Hybrid epitaxy
Heteroepitaxy
GaAs
inp
double
crystal
X-ray
diffraction
Photoluminescence
Exciton
分类号
TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
InGaAsP/InP异质界面的X射线双晶衍射测量
2
作者
卢革宇
王贤仁
苗忠礼
程强
关一民
机构
吉林大学电子科学系
出处
《吉林大学自然科学学报》
CAS
CSCD
1993年第3期61-63,共3页
文摘
本文利用X射线双晶衍射测量LPE生长的InGaAsP/InP异质结的R-C曲线,得到了异质结的垂直失配和水平失配.在考虑存在失配位错的情况下,计算了驰豫晶格失配、曲率半径和失配位错密度.指出了影响外延层R-C曲线半峰宽的因素.
关键词
界面
双晶衍射
X射线
异质结
Keywords
interface
,
double crystal diffraction
,
inp
分类号
TN307 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
(ZnSe/Cdse)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的X射线双晶衍
3
作者
朱南昌
李润身
陈京一
彭中灵
袁诗鑫
机构
中国科学院上海冶金研究所
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第3期167-174,共8页
文摘
给出了通过测量3条X射线双晶衍射摇摆曲线计算多层外延材料各层成份、界面共格度及晶向偏角的方法,并对(CdSe/ZnSe)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的结构、应变及界面进行了研究.结果表明:ZnSe缓冲层与衬底之间的界面共格度接近干零,而多量子阱部分与缓冲层之间的界面接近完全共格,表明多量子阱结构有较好的结构完整性.缓冲层与衬底之间有晶向偏角,而多量子阱结构与缓冲层之间无晶向偏角.在复杂多量子阱材料的摇摆曲线上未见内周期的卫星衍射峰.多量子阱实际的生长厚度比设计厚度小20%~30%,说明生长过程中存在表面原子的逃逸,致使样品的不同部位存在组份、厚度的不均匀和局部的应变。还讨论了X射线衍射仪与双晶衍射仪在测定多量子阱结构时的差别.
关键词
X射线双晶衍射
多量子阱
硒化镉
Keywords
X-ray
double
-
crystal
diffraction
,rocking curve,multiple quantum wells,
interface
coherency.
分类号
TN304.25 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
GaAs/InP材料的外延技术研究
李玉东
王本忠
王如峰
刘式墉
苏士昌
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
1993
0
在线阅读
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职称材料
2
InGaAsP/InP异质界面的X射线双晶衍射测量
卢革宇
王贤仁
苗忠礼
程强
关一民
《吉林大学自然科学学报》
CAS
CSCD
1993
0
在线阅读
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职称材料
3
(ZnSe/Cdse)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的X射线双晶衍
朱南昌
李润身
陈京一
彭中灵
袁诗鑫
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
0
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职称材料
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