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GaAs/InP材料的外延技术研究
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作者 李玉东 王本忠 +2 位作者 王如峰 刘式墉 苏士昌 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1993年第5期29-32,共4页
关键词 砷化镓 衬底 材料 外延生长
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InGaAsP/InP异质界面的X射线双晶衍射测量
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作者 卢革宇 王贤仁 +2 位作者 苗忠礼 程强 关一民 《吉林大学自然科学学报》 CAS CSCD 1993年第3期61-63,共3页
本文利用X射线双晶衍射测量LPE生长的InGaAsP/InP异质结的R-C曲线,得到了异质结的垂直失配和水平失配.在考虑存在失配位错的情况下,计算了驰豫晶格失配、曲率半径和失配位错密度.指出了影响外延层R-C曲线半峰宽的因素.
关键词 界面 双晶衍射 X射线 异质结
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(ZnSe/Cdse)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的X射线双晶衍
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作者 朱南昌 李润身 +2 位作者 陈京一 彭中灵 袁诗鑫 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第3期167-174,共8页
给出了通过测量3条X射线双晶衍射摇摆曲线计算多层外延材料各层成份、界面共格度及晶向偏角的方法,并对(CdSe/ZnSe)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的结构、应变及界面进行了研究.结果表明:ZnSe缓冲层与... 给出了通过测量3条X射线双晶衍射摇摆曲线计算多层外延材料各层成份、界面共格度及晶向偏角的方法,并对(CdSe/ZnSe)ZnSe/GaAs(001)多量子阱材料的结构、应变及界面进行了研究.结果表明:ZnSe缓冲层与衬底之间的界面共格度接近干零,而多量子阱部分与缓冲层之间的界面接近完全共格,表明多量子阱结构有较好的结构完整性.缓冲层与衬底之间有晶向偏角,而多量子阱结构与缓冲层之间无晶向偏角.在复杂多量子阱材料的摇摆曲线上未见内周期的卫星衍射峰.多量子阱实际的生长厚度比设计厚度小20%~30%,说明生长过程中存在表面原子的逃逸,致使样品的不同部位存在组份、厚度的不均匀和局部的应变。还讨论了X射线衍射仪与双晶衍射仪在测定多量子阱结构时的差别. 展开更多
关键词 X射线双晶衍射 多量子阱 硒化镉
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