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晶片表面Haze值研究 被引量:5
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作者 张伟才 宋晶 +1 位作者 杨洪星 赵权 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第9期681-683,共3页
介绍了晶片表面Haze值的定义和理论依据,通过对SSIS系统的原理分析,揭示了Haze是一种间接反映晶片表面状态的光学信号。通过对不同表面状态抛光片的光学扫描,研究了晶片表面粗糙度与Haze值的关系;通过对Si抛光片和砷化镓抛光片的扫描对... 介绍了晶片表面Haze值的定义和理论依据,通过对SSIS系统的原理分析,揭示了Haze是一种间接反映晶片表面状态的光学信号。通过对不同表面状态抛光片的光学扫描,研究了晶片表面粗糙度与Haze值的关系;通过对Si抛光片和砷化镓抛光片的扫描对比,研究了晶片本体反射系数对Haze值的影响。研究结果表明,同种材料的Haze值随着表面粗糙度的增大而增大,而不同的材料即使拥有相似的表面粗糙度,Haze值也会因本体反射系数的不同而呈现很大差异。通过对Haze扫描图的特征分析,研究了Haze值分布与晶片表面均匀性的关系,成功地利用Haze值分布将表面性状化,为化学机械抛光和湿法清洗工艺提供了一个新的反馈手段。 展开更多
关键词 haze 光散射 表面粗糙度 一致性 扫描表面检查系统
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激光共焦显微镜对近视激光术后haze结构的研究 被引量:4
2
作者 吴艳 杨丽萍 +2 位作者 薛春燕 黄振平 石尧 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2013年第3期240-242,共3页
目的利用激光共焦显微镜观察近视激光术后的haze结构。方法选取Epi-LASIK术后发生haze患者12例(24眼)设为A组,另选择接受Epi-LASIK但无并发症发生患者10例(20眼)设为B组,行双眼激光共焦显微镜检查,观察A组患者角膜上皮层、前基质层、中... 目的利用激光共焦显微镜观察近视激光术后的haze结构。方法选取Epi-LASIK术后发生haze患者12例(24眼)设为A组,另选择接受Epi-LASIK但无并发症发生患者10例(20眼)设为B组,行双眼激光共焦显微镜检查,观察A组患者角膜上皮层、前基质层、中后基质层变化,并比较两组各层细胞密度。结果 A组角膜上皮基底膜缺如,上皮下散在斑点状瘢痕及高反光白色小点,瓣边缘见环形瘢痕,周边上皮细胞核呈高反光。角膜前基质层纤维紊乱,局部见空泡样改变及大量点状、斑片状瘢痕组织,近上皮瓣基底部大片瘢痕,其间可见细小皱褶;瘢痕间少量神经末梢走行,神经组织纤细,局部可见断裂、扭曲。中、后基质层见正常网状结构,内皮细胞"六边形"结构正常。A组角膜上皮层细胞密度为(6381.9±290.1)mm(-2),前基质层细胞密度为(482.6±53.3)mm(-2),对照组分别为(4729.1±319.2)mm(-2)和(372.4±41.2)mm(-2),两组相比差异均有统计学意义(均为P<0.05);A组中、后基质层和内皮层的细胞密度分别为(278.0±41.1)mm(-2)、(188.2±22.0)mm(-2)、(3290.1±339.2)mm(-2),对照组分别为(301.3±49.3)mm(-2)、(197.6±28.1)mm(-2)、(3102.3±322.0)mm(-2),两组相比差异均无统计学意义(均为P>0.05)。结论激光共焦显微镜可用于近视激光术后haze结构的观察评估。 展开更多
关键词 激光共焦显微镜 haze Epi—LASIK 近视
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抛光垫使用期对300mm Si片Haze值影响研究 被引量:1
3
作者 索思卓 库黎明 +5 位作者 黄军辉 葛钟 陈海滨 张国栋 盛方毓 阎志瑞 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第12期1084-1087,共4页
抛光垫是化学机械抛光(CMP)过程中重要的消耗材料之一。由于抛光垫与Si片直接接触,所以抛光垫的物理特性会直接影响到所加工Si片品质的优劣。通过研究不同使用时间的抛光垫结构以及所抛光Si片表面haze值,发现抛光Si片表面haze值在抛光... 抛光垫是化学机械抛光(CMP)过程中重要的消耗材料之一。由于抛光垫与Si片直接接触,所以抛光垫的物理特性会直接影响到所加工Si片品质的优劣。通过研究不同使用时间的抛光垫结构以及所抛光Si片表面haze值,发现抛光Si片表面haze值在抛光垫使用前期逐渐减小,中期稳定缓慢升高,后期快速升高。从理论上系统地对结果进行了分析,充分证实了在CMP过程中,保持抛光垫特性的稳定对Si片表面质量具有非常重要的意义。 展开更多
关键词 精抛光 抛光垫 化学机械抛光 haze
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高度近视PRK术后屈光回退行LASIK治疗后并发haze 2例
4
作者 赵金荣 于金国 +1 位作者 李雪非 张金英 《国际眼科杂志》 CAS 2010年第6期1231-1231,共1页
关键词 LASIK手术 后屈光回退 haze PRK术 高度近视 准分子激光角膜切削术 并发 治疗
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PRK术后K值与Haze的关系
5
作者 杨小红 曾琼英 黄绮华 《眼科新进展》 CAS 1999年第6期414-415,共2页
目的 探讨PRK 术后Haze 的程度与角膜曲率(K 值)变化之间的关系。方法 用德国产的TOMEY·RC1 000 型的自动电脑验光仪测量K值,用国产( 苏州) 裂隙灯观察角膜上皮下雾状混浊Haze 的程度。将PRK... 目的 探讨PRK 术后Haze 的程度与角膜曲率(K 值)变化之间的关系。方法 用德国产的TOMEY·RC1 000 型的自动电脑验光仪测量K值,用国产( 苏州) 裂隙灯观察角膜上皮下雾状混浊Haze 的程度。将PRK 术后随访1a 以上的101 只眼的Haze 情况与K 值变化关系进行分析。结果 随Haze 程度增加,K值变小,反之亦成立;PRK 术后局部应用激素可减轻Haze 程度。结论 Haze 与屈光度呈正相关系,与K值呈负相关系;Haze 改变K 值引起屈光回退;PRK 术后1mo~3a 有Haze 出现的病人局部应用激素眼液均可减轻Haze 改收稿 19990804本文编辑 张知达作者单位 510080  广东省人民医院眼科善视力。 展开更多
关键词 PRK手术 K值 haze
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雷帕霉素对兔眼准分子激光角膜切削术后haze的影响 被引量:2
6
作者 于睿 高洪莲 +2 位作者 李欣蒙 刘奇奇 张磊 《国际眼科杂志》 CAS 北大核心 2022年第3期366-372,共7页
目的:探究调节自噬活性对兔眼准分子激光角膜切削术(PRK)术后角膜上皮下雾状混浊(haze)的影响。方法:新西兰大白兔64只行右眼PRK手术后,根据术后局部用药不同,随机分为4组:单纯手术组、14μmol/L二甲基亚砜组(DMSO)、50μmol/L雷帕霉素... 目的:探究调节自噬活性对兔眼准分子激光角膜切削术(PRK)术后角膜上皮下雾状混浊(haze)的影响。方法:新西兰大白兔64只行右眼PRK手术后,根据术后局部用药不同,随机分为4组:单纯手术组、14μmol/L二甲基亚砜组(DMSO)、50μmol/L雷帕霉素组、100μmol/L雷帕霉素组,每组16只。根据分组情况,术后2h开始给予上述滴眼液治疗,每天3次,1次1滴,持续7d,另选取16只兔为正常对照组。术后每天用手持裂隙灯显微镜照相系统,观察兔眼术后炎症反应及角膜上皮愈合情况。裂隙灯显微镜照相系统采集PRK术后1、4wk时各组兔眼haze的形成情况。各组分别于术后1、4wk采用空气栓塞法处死8只兔子,摘取角膜组织,冻存备用。免疫组化检测转化生长因子-β1(TGF-β1)、α-平滑肌肌动蛋白(α-SMA)、基质金属蛋白酶-2(MMP-2)的表达水平。Real Time-PCR技术检测自噬因子-5(ATG5)、自噬因子-12(ATG12)、B淋巴细胞瘤基因-2(Bcl-2)、半胱氨酸天冬氨酸蛋白酶-3(Caspase3)基因的相对表达量。结果:PRK术后兔眼角膜上皮均在3~4d完全愈合,各组兔眼术后角膜上皮愈合时间比较无差异(F=0.745,P=0.530)。在观察期间,各组术后haze均于4wk时最明显,单纯手术组和14μmol/L DMSO组haze症状均较严重,其次为50μmol/L雷帕霉素组,100μmol/L雷帕霉素组haze症状较其他组明显减轻,各组兔眼术后不同时间点haze分级比较有差异(均P<0.05)。免疫组化显示,术后1、4wk,单纯手术组和14μmol/L DMSO组TGF-β1、MMP-2和α-SMA的表达均较强,其次为50μmol/L雷帕霉素组,100μmol/L雷帕霉素组较其他组表达明显减弱(均P<0.05)。PCR法检测显示,术后1、4wk,50、100μmol/L雷帕霉素组ATG5、ATG12和Bcl-2 mRNA相对表达量较单纯手术组和14μmol/L DMSO组明显升高(均P<0.05);50、100μmol/L雷帕霉素组Caspase3 mRNA相对表达量较单纯手术组和14μmol/L DMSO组明显降低(均P<0.05)。结论:雷帕霉素可以增强自噬水平,抑制凋亡水平,从而减轻兔眼PRK术后haze的形成。 展开更多
关键词 准分子激光角膜切削术 角膜上皮下雾状混浊(haze) 雷帕霉素 自噬
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准分子激光双面式切削原位角膜磨镶术后Haze和屈光回退分析 被引量:5
7
作者 袁满红 邓珍 +2 位作者 李伟力 肖启国 周珍华 《国际眼科杂志》 CAS 2007年第1期130-132,共3页
目的:评价准分子激光双面式切削原位角膜磨镶术(both-sidedLASIK,BSL)的安全性和有效性。方法:2004-12/2005-10我院进行BSL手术治疗的高度近视患者38例75眼,回顾性的对临床疗效进行分析。结果:随访9~15mo,38例患者均未出现严重并发症... 目的:评价准分子激光双面式切削原位角膜磨镶术(both-sidedLASIK,BSL)的安全性和有效性。方法:2004-12/2005-10我院进行BSL手术治疗的高度近视患者38例75眼,回顾性的对临床疗效进行分析。结果:随访9~15mo,38例患者均未出现严重并发症。术前、术后1d和9mo的平均裸眼视力分别为0.07±0.05、0.67±0.29、0.92±0.23,两两之间比较差异均有统计学意义(P<0.01)。1mo时见7眼(9%)有1级Haze形成,较常规LASIK稍多。电脑验光1d和1mo与3mo和6mo之间比较差异均有统计学意义,1mo和3mo与6mo和9mo之间比较差异均无统计学意义。结论:BSL术后能够获得较好的裸眼视力,无严重的并发症出现,屈光回退程度较轻,Haze形成较常规LASIK稍多,对角膜较薄的高度近视患者是一种较为理想、安全、有效的治疗方法。 展开更多
关键词 高度近视 准分子激光手术 角膜上皮下混浊 屈光回退
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LASEK术后Haze的发病机制与防治的研究进展 被引量:15
8
作者 谭业双 刘磊 李新宇 《眼科新进展》 CAS 2007年第7期546-548,共3页
准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术中保留了尚存活性的角膜上皮层,能减轻术后角膜上皮下混浊(Haze)形成。可能的原因是减少了眼表组织中白介素-1分泌和转化生长因子-β含量,降低了凋亡介导下的角膜创伤愈合。通过术中预防性使用抗代谢药物... 准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术中保留了尚存活性的角膜上皮层,能减轻术后角膜上皮下混浊(Haze)形成。可能的原因是减少了眼表组织中白介素-1分泌和转化生长因子-β含量,降低了凋亡介导下的角膜创伤愈合。通过术中预防性使用抗代谢药物、局部应用糖皮质激素、细胞因子拮抗剂等药物以及手术治疗等方法,从而预防或减轻Haze形成,提高角膜屈光手术的稳定性和预测性。本文就近年来准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术术后Haze的发病机制及防治措施的研究进展作一简要综述。 展开更多
关键词 准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术 角膜上皮下混浊
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LASEK术后Haze的防治研究进展 被引量:16
9
作者 陈丽华 江萍 《国际眼科杂志》 CAS 2006年第5期1133-1135,共3页
准分子激光上皮瓣下角膜磨镶术(LASEK)后角膜上皮下雾状混浊(Haze)的形成主要是凋亡机制介导的角膜创伤愈合过程。通过局部应用皮质类固醇药物、非甾体抗炎药物等来减弱创伤愈合反应,以及应用锌制剂、细胞因子调控等来阻断角膜细胞凋亡... 准分子激光上皮瓣下角膜磨镶术(LASEK)后角膜上皮下雾状混浊(Haze)的形成主要是凋亡机制介导的角膜创伤愈合过程。通过局部应用皮质类固醇药物、非甾体抗炎药物等来减弱创伤愈合反应,以及应用锌制剂、细胞因子调控等来阻断角膜细胞凋亡,可以预防和治疗Haze的形成,提高LASEK的稳定性和预测性。 展开更多
关键词 准分子激光 角膜上皮下雾状混浊 准分子激光上皮瓣下角膜磨镶术
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TransPRK治疗中高度近视术中使用低浓度MMC预防haze的疗效 被引量:3
10
作者 李瑾瑜 张日平 +2 位作者 孙丽霞 王贤 刘彩霞 《国际眼科杂志》 CAS 2017年第7期1313-1316,共4页
目的:探讨TransPRK治疗中高度近视中使用低剂量MMC预防haze的有效性和安全性,并观察角膜光密度的变化。方法:收集我院行TransPRK手术治疗中高度近视的患者61例,随机分为试验组(0.1g/L MMC放置40s)21例和对照组(0.2g/L MMC放置40s)40例... 目的:探讨TransPRK治疗中高度近视中使用低剂量MMC预防haze的有效性和安全性,并观察角膜光密度的变化。方法:收集我院行TransPRK手术治疗中高度近视的患者61例,随机分为试验组(0.1g/L MMC放置40s)21例和对照组(0.2g/L MMC放置40s)40例。所有患者随访3mo,观察的指标包括术后上皮愈合时间、术后第1d疼痛评价、最佳矫正视力、屈光度、haze情况及角膜光密度的变化。结果:术后0.1g/L组上皮愈合时间为3.86±1.11d,0.2g/L组为4.23±1.27d,术后第1d疼痛评分0.1g/L组为2.01±0.58分,0.2g/L组为1.79±0.7分,两组间差异均无统计学意义(P=0.667、0.582);0.1g/L组术后1、3mo等效球镜度分别为0.28±0.25、0.05±0.23D,0.2g/L组分别为-0.13±0.17、0.07±0.22D;两组之间比较,差异无统计学意义(P=0.178、0.490)。视力方面,0.2g/L组术后1mo视力稍下降,到3mo时恢复至术前水平,差异有统计学意义(F=15.847,P<0.001),0.1g/L组虽然也表现出这种变化趋势,但无统计学差异(F=3.038,P=0.093),而组间比较无统计学差异(P>0.05)。术后两组间1、3mo haze情况未见统计学差异(z=-0.709,P=0.479;z=-0.478,P=0.633)。两组术后1mo角膜光密度均较术前增加,至术后3mo恢复到术前水平,差异有统计学意义(0.1g/L组:F=27.399,P=0.001;0.2g/L组:F=8.313,P=0.001),组间对比无统计学差异(P>0.05)。结论:TransPRK治疗中高度近视术中使用低浓度MMC预防haze是安全、有效的,其疗效与常规用量(0.2g/L)相当,而且视力更早趋于稳定;判断角膜透明性时,光密度测量可以作为裂隙灯检查外的一种辅助手段。 展开更多
关键词 经上皮准分子激光角膜切削术 丝裂霉素C 角膜上皮下雾状混浊
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准分子激光角膜上皮下磨镶术中应用丝裂霉素C预防Haze的早期临床观察 被引量:3
11
作者 付玲玲 李桂芳 +1 位作者 张恒俊 陈鑫 《国际眼科杂志》 CAS 2006年第6期1472-1473,共2页
目的:探讨准分子激光角膜上皮下磨镶术中联合应用丝裂霉素C预防术后上皮下浑浊(Haze)的发生。方法:患者42例(84眼)分为A、B两组,A组右眼进行常规LASEK手术,不用丝裂霉素C;B组左眼常规LASEK手术+0.2g/L丝裂霉素C棉片于激光治疗区12~15s... 目的:探讨准分子激光角膜上皮下磨镶术中联合应用丝裂霉素C预防术后上皮下浑浊(Haze)的发生。方法:患者42例(84眼)分为A、B两组,A组右眼进行常规LASEK手术,不用丝裂霉素C;B组左眼常规LASEK手术+0.2g/L丝裂霉素C棉片于激光治疗区12~15s,术后随访6mo。结果:A组出现1级Haze18例,2级或以上Haze5例,Haze发生率55%;B组出现1级Haze7例,2级或以上Haze2例,Haze发生率21%,两组Haze发生率差异有统计学意义(P<0.001)。结论:LASEK手术中联合应用0.2g/L丝裂霉素C可降低Haze的发生率同时减轻Haze的程度,但是其更远期的疗效及副反应有待于进一步的观察。 展开更多
关键词 准分子激光角膜上皮下磨镶术 丝裂霉素C 上皮下浑浊
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紫外线对LASEK术后早期角膜Haze的影响 被引量:4
12
作者 王晓雄 曹婷 邢怡桥 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2016年第10期943-945,共3页
目的探讨紫外线暴露与LASEK术后早期角膜Haze形成的关系。方法选取2012年1月至2013年12月在武汉大学人民医院接受LASEK的近视患者199例(389眼),按照患者接受手术的时间分为两组:一组接受手术的月份为紫外线强度较弱的1月、2月、11月、12... 目的探讨紫外线暴露与LASEK术后早期角膜Haze形成的关系。方法选取2012年1月至2013年12月在武汉大学人民医院接受LASEK的近视患者199例(389眼),按照患者接受手术的时间分为两组:一组接受手术的月份为紫外线强度较弱的1月、2月、11月、12月,为低紫外线暴露组;另一组接受手术的月份为紫外线强度较强的5月、6月、7月、8月,为高紫外线暴露组。比较两组术后早期(术后3个月内)角膜Haze的发生情况。结果两组一般资料比较,高紫外线暴露组的切削光学区(5.6±0.5)mm大于低紫外线暴露组(5.5±0.5)mm,差异有统计学意义(t=-2.244,P=0.026),而两组性别、年龄、术前屈光度等效球镜、术前角膜中心厚度、切削深度、角膜切削率(术中角膜切削深度/术前角膜中心厚度)的差异均无统计学意义(均为P>0.05)。高紫外线暴露组术后角膜Haze达到0级、0.5级、1级、2级的比例分别为77.4%、12.3%、6.3%、4.0%,低紫外线暴露组的比例分别为86.9%、8.0%、4.4%、0.7%,差异有统计学意义(Z=-2.325,P=0.020),高紫外线暴露组患者的角膜Haze较重。术后角膜Haze达到2级的患者集中在高紫外线暴露组,手术月份集中在6月、7月、8月。结论环境中的高紫外线辐射可能促进LASEK术后早期角膜Haze的形成。 展开更多
关键词 LASEK 紫外线 角膜 雾状混浊
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上皮瓣弃留对兔Epi-LASIK术后haze影响的研究 被引量:2
13
作者 陈静 韩苏宁 +3 位作者 毕媛 杨传红 朱海萍 邓红燕 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2011年第10期908-911,共4页
目的观察角膜上皮下雾状混浊(haze)形成过程中转化生长因子β2(transfor-ming growth factor β2,TGF-β2)在兔机械法准分子激光上皮瓣下角膜磨镶术(epipo lislaser insitu keratomileusis,Epi-LASIK)和去瓣Epi-LASIK术后的表达差异,并... 目的观察角膜上皮下雾状混浊(haze)形成过程中转化生长因子β2(transfor-ming growth factor β2,TGF-β2)在兔机械法准分子激光上皮瓣下角膜磨镶术(epipo lislaser insitu keratomileusis,Epi-LASIK)和去瓣Epi-LASIK术后的表达差异,并探讨上皮瓣弃留对Epi-LASIK术后haze形成的影响。方法 24只新西兰白兔,双眼分别建立Epi-LASIK和去瓣Epi-LASIK模型。裂隙灯显微镜下观察术后1个月、2个月、3个月角膜haze的情况,免疫组织化学SABC法检测角膜组织TGF-β2的表达。结果 Epi-LASIK组和去瓣Epi-LASIK组haze分级情况在术后1个月、2个月、3个月差异均无统计学意义(χ2=0.08、0.58、0.25,均为P>0.05)。Epi-LASIK组术后1个月、2个月、3个月TGF-β2的表达分别为8546.42±2013.25、7831.62±1560.27、6253.21±1962.35,去瓣Epi-LASIK组术后1个月、2个月、3个月TGF-β2的表达分别为8037.21±1634.29、6994.56±2013.58、6042.58±1862.24,2组术后各时间点角膜组织TGF-β2的表达差异均无统计学意义(t=0.96、1.31、0.38,均为P>0.05);组内比较,随时间延长,TGF-β2的表达呈逐渐降低的趋势。结论上皮瓣弃留对Epi-LASIK术后各时间点角膜组织TGF-β2的表达及haze发生程度均无明显影响。 展开更多
关键词 EPI-LASIK 去瓣Epi-LASIK 角膜上皮下雾状混浊 转化生长因子Β2
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羊膜提取液抑制兔Epi-LASIK术后haze形成的作用和机制 被引量:2
14
作者 夏世刚 王俞方 +1 位作者 肖启国 彭华 《国际眼科杂志》 CAS 2017年第8期1427-1432,共6页
目的:探讨羊膜提取液(AE)抑制兔微型角膜刀法准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术(Epi-LASIK)后角膜上皮下雾状混浊(haze)形成的作用和机制。方法:新西兰白兔36只72眼按照随机数字表法分为三组:AE组、激素组和溶媒对照组。构建Epi-LASIK动物模... 目的:探讨羊膜提取液(AE)抑制兔微型角膜刀法准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术(Epi-LASIK)后角膜上皮下雾状混浊(haze)形成的作用和机制。方法:新西兰白兔36只72眼按照随机数字表法分为三组:AE组、激素组和溶媒对照组。构建Epi-LASIK动物模型,术后AE组滴用AE眼液,激素组滴用1g/L磷酸地塞米松眼液,溶媒对照组滴用不含AE的溶媒眼液。术后1、4、8wk在裂隙灯下进行haze分级评估。HE染色观察角膜上皮的修复,免疫组织化学法观察角膜上皮细胞NF-kB P65蛋白的表达。用ELISA法检测炎症细胞因子(TNF-α、TGF-β1和IL-1β)和抗炎症细胞因子(IL-4、IL-10和IL-13)的表达水平。结果:HE染色结果显示,与激素组和溶媒对照组比较,Epi-LASIK术后1wk,AE组兔角膜上皮基底细胞形态较均匀,排列较规则;术后4wk时,AE组浅基质层内出现少量新生胶原纤维,排列较规则,形成少量瘢痕;术后8wk,AE组角膜浅基质层见少量新生胶原纤维,排列规则,极少形成瘢痕。在术后早期(1wk和4wk),AE组与激素组、溶媒对照组相比,具有明显抑制炎症因子(TNF-α、TGF-β1和IL-1β)和促进抗炎症因子(IL-4、IL-10和IL-13)分泌的作用,组间比较差异有显著统计学意义(P<0.01)。而且,在术后早期(1wk和4wk),AE组与激素组、溶媒对照组相比,角膜上皮细胞NF-kB通路关键组份P65蛋白浅染,细胞核淡染,明显抑制NF-kB信号通路的激活。结论:羊膜提取液可能通过抑制角膜上皮细胞的NF-kB信号通路,减轻炎症反应,从而减少胶原与瘢痕形成和haze的发生。 展开更多
关键词 羊膜提取液 微型角膜刀法准分子激光角膜上皮瓣下磨镶术 角膜混浊 NF-kB通路 炎症细胞因子
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抛光工艺对硅片表面Haze值的影响 被引量:3
15
作者 王永涛 赵而敬 +4 位作者 尚锐刚 李明飞 鲁进军 张建 蔡丽艳 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第12期918-922,共5页
随着超大规模集成电路的快速发展,硅片表面的Haze值对于现代半导体器件工艺的影响也越来越受到人们的重视。通过实验研究了精抛光工艺参数对硅片表面Haze值的影响规律。结果表明,随着抛光时间的延长,硅的去除量逐渐增大,硅片表面Haze值... 随着超大规模集成电路的快速发展,硅片表面的Haze值对于现代半导体器件工艺的影响也越来越受到人们的重视。通过实验研究了精抛光工艺参数对硅片表面Haze值的影响规律。结果表明,随着抛光时间的延长,硅的去除量逐渐增大,硅片表面Haze值逐渐降低;同时抛光过程中机械作用与化学作用的协同作用对Haze值也有较大影响。随着抛光液温度的降低与抛光液体积流量的减小,化学作用减弱,硅片表面Haze值逐渐减小。而随着抛光压力的增大,机械作用逐渐起主导作用,硅片表面Haze值逐渐降低。但当Haze值降低到某一数值后,随着硅去除量的增大、抛光液温度的下降、抛光液体积流量的降低、抛光压力的增大,硅片表面的Haze值基本保持不变。 展开更多
关键词 haze 化学机械抛光(CMP) 微粗糙度 抛光液 硅片
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澄清果菜汁后混浊(Haze)产生的原因及解决方法 被引量:12
16
作者 李选怀 《饮料工业》 1999年第3期16-19,共4页
后混浊(Haze)在澄清果菜汁加工行业频繁出现,这已严重地困扰着我国果蔬加工行业的生产和贮存环节,造成了巨大的经济损失。文中着重介绍后混浊产生的原因和解决方法。
关键词 澄清果菜汁 后混浊 haze 果汁 菜汁
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激素冲击疗法治疗Epi-LASIK术后haze的临床研究
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作者 陆岩 曹哲瑶 夏丽坤 《国际眼科杂志》 CAS 2011年第12期2240-2241,共2页
目的:观察短期大剂量应用高浓度激素冲击疗法减轻或消除Epi-LASIK术后角膜上皮下雾状混浊(haze)的疗效。方法:选取Epi-LASIK术后双眼出现2~3级haze的患者16例32眼,右眼滴用1g/L氟米龙(氟美瞳)眼液冲击治疗,左眼非冲击治疗作为对比。结... 目的:观察短期大剂量应用高浓度激素冲击疗法减轻或消除Epi-LASIK术后角膜上皮下雾状混浊(haze)的疗效。方法:选取Epi-LASIK术后双眼出现2~3级haze的患者16例32眼,右眼滴用1g/L氟米龙(氟美瞳)眼液冲击治疗,左眼非冲击治疗作为对比。结果:治疗3mo后,与左眼相比右眼haze减轻更显著,视力提高更明显。结论:氟美瞳冲击疗法治疗Epi-LASIK术后haze可缩短治疗时间,提高疗效,且并发症少,值得推广应用。 展开更多
关键词 微型角膜刀法角膜上皮瓣下激光原位磨镶术 角膜上皮下雾状混浊 糖皮质激素 疗效
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Surface active agents stabilize nanodroplets and enhance haze formation
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作者 Yunqing Ma Changsheng Chen Xianren Zhang 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第1期94-99,共6页
Although many organic molecules found commonly in the atmosphere are known to be surface-active in aqueous solutions, their effects on the mechanisms underlying haze formation remain unclear. In this paper, based on a... Although many organic molecules found commonly in the atmosphere are known to be surface-active in aqueous solutions, their effects on the mechanisms underlying haze formation remain unclear. In this paper, based on a simple thermodynamic analysis, we report that the adsorption of amphiphilic organics alone not only lowers the surface tension,but also unexpectedly stabilizes nanodroplets of specific size under water vapor supersaturation. Then we determine how various factors, including relative humidity, water activity effect due to dissolution of inorganic components as well as surface tension effect due to surface adsorption of organic components, cooperatively induce the stability of nanodroplets.The nanodroplet stability behaviors not captured in the current theory would change the formation mechanism of haze droplets, from the hygroscopic growth pathway to a nonclassical two-step nucleation pathway. 展开更多
关键词 NANODROPLET stability AEROSOL haze NUCLEATION
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Research progress of protein haze in white wines
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作者 Zhaolong Liu Le Xu +4 位作者 Jun Wang Changqing Duan Yanfeng Sun Qingsen Kong Fei He 《Food Science and Human Wellness》 SCIE CSCD 2023年第5期1427-1438,共12页
Protein haze was one of the main causes of the instability of white wines. Proteins that caused haze or precipitation in white wines mainly came from grape fruits, and their compositions and contents were affected by ... Protein haze was one of the main causes of the instability of white wines. Proteins that caused haze or precipitation in white wines mainly came from grape fruits, and their compositions and contents were affected by many factors such as fruit diseases, harvesting methods and water stress. Unstable wine proteins were usually pathogenesis-related(PR)proteins of grapes, mainly chitinases and thaumatin-like proteins(TLPs), which had lower isoelectric point(pI)and smaller molecular weight, and were highly resistant to the low pH values of wines and the protease hydrolysis during fermentation. At present, the technology of protein stabilization and clarification in white wines mainly included bentonite fining, heat treatment, enzymatic hydrolysis, polysaccharide treatment and ultrafiltration methods. Among them, the most commonly used method was bentonite treatment. In this paper, the research progresses of the origin, mechanism and influencing factors of the unstable proteins in white wines were summarized, and the applications, advantages and disadvantages of various clarification techniques were also concluded, in order to provide some support for the theoretical and technological research of the protein stability in white wines in the future. 展开更多
关键词 White wine PROTEIN haze BENTONITE STABILIZATION
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多柔比星对兔眼准分子激光角膜切削术后角膜上皮下混浊(Haze)的影响
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作者 李娜 樊郑军 +2 位作者 石芊 王静 隋艳来 《眼科新进展》 CAS 北大核心 2020年第7期617-618,624,共3页
目的通过动物实验初步观察应用多柔比星对准分子激光角膜切削术(photorefractive keratectomy,PRK)术后角膜上皮下混浊(Haze)的影响,评估其抑制PRK术后Haze的有效性和安全性,旨在探讨PRK术中多柔比星替代丝裂霉素C应用的可行性。方法新... 目的通过动物实验初步观察应用多柔比星对准分子激光角膜切削术(photorefractive keratectomy,PRK)术后角膜上皮下混浊(Haze)的影响,评估其抑制PRK术后Haze的有效性和安全性,旨在探讨PRK术中多柔比星替代丝裂霉素C应用的可行性。方法新西兰白兔10只(20眼),其中右眼为多柔比星治疗的实验组,左眼为丝裂霉素C治疗的对照组,两组兔眼均行PRK激光切削校正-8.00 D后,分别用0.2 g·L-1多柔比星或0.2 g·L-1丝裂霉素C的棉片处理,分别于术后1 d、1周、2周、3周、4周在裂隙灯下观察角膜上皮愈合及Haze情况。结果术后1周,两组所有兔眼角膜上皮均已完全愈合。实验组3眼术后1 d即出现角膜基质片状炎性浸润灶,其中2眼治疗后角膜基质炎性浸润灶消退,另1眼形成浅层斑翳;实验组其余7眼及对照组10眼均未见Haze。结论多柔比星虽然可能引起角膜基质非感染性炎症反应,但在抑制PRK术后细胞增殖方面或具有与丝裂霉素C类似效果。 展开更多
关键词 多柔比星 准分子激光角膜切削术(PRK) 角膜上皮下混浊(haze) 丝裂霉素C
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