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Optimization Design of the Grinding Wheel Topography for High Efficiency Grinding
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作者 FU Yu-can, XU Hong-jun, XU Jiu-hua (College of Mechanical Engineering, Nanjing University of Aeronautics and Astronautics, Nanjing 210016, China) 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第S1期52-,共1页
On the basis of the measurement of grains distribution on the grinding wheel surface, many experiential models of the grinding wheel topography were set up. But it is pity that few of them yield practical and valuable... On the basis of the measurement of grains distribution on the grinding wheel surface, many experiential models of the grinding wheel topography were set up. But it is pity that few of them yield practical and valuable achievement as yet. The essential reason is that the common foundation of all these models was based on the actual measurement of specific wheel topography. So it didn’t have universal applicability. Considering that the absolute irregular distribution of grains is not the requirement of the grinding process, contrarily it will bring much negative influence to grinding process. By conversely reasoning, a new conception on the relatively regular and reasonable distribution of grains on the wheel surface in accordance with different machining demands is put forward in this paper, and furthermore a creative idea of optimization design of grinding wheel topography in accordance with machining demands and grinding parameters as well as the optimization of grinding parameters in accordance with machining demands and grinding wheel topography is proposed. In the light of this idea, not only the modeling and simulation of grinding process can be really carried out, but also the optimization of grinding process and the estimation of grinding results can be realized straightway. In conclusion, a superabrasive slotted grinding wheel is designed as a practical application of the optimization model and a creep feed deep grinding experiment is carried out to verify the optimization results. 展开更多
关键词 high efficiency grinding grinding wheel topography
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A review on single-pass grinding processes 被引量:1
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作者 Krzysztof NADOLNY 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2013年第6期1502-1509,共8页
The most important grinding processes were realized in a single pass of the grinding wheel,such as continuous path controlled grinding (CPCG/Peelgrinding/HSP),CPCG with reduced contact of the grinding wheel (Quickpoin... The most important grinding processes were realized in a single pass of the grinding wheel,such as continuous path controlled grinding (CPCG/Peelgrinding/HSP),CPCG with reduced contact of the grinding wheel (Quickpoint),single-pass longitudinal internal grinding,creep feed grinding (CFG),longitudinal cylindrical grinding with grinding wheels made of conventional abrasive materials and longitudinal internal cylindrical grinding using grinding wheels with zone-diversified structure. 展开更多
关键词 single-pass grinding grinding efficiency grinding wheels surface roughness
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Development of twin wheel creep-feed grinding machine using continuous dressing for machining of aircraft rotary wing 被引量:1
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作者 KIM Jin-seob HWANG Jong-dae JUNG Yoon-gyo 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2011年第3期704-710,共7页
The purpose of this study is to develop a twin wheel creep-feed grinding machine using continuous dressing to machine precise axisymmetric turbine blades that have been difficult to machine using a conventional creep-... The purpose of this study is to develop a twin wheel creep-feed grinding machine using continuous dressing to machine precise axisymmetric turbine blades that have been difficult to machine using a conventional creep-feed machine.In order to develop such a machine,3D-modeling and machine simulations were performed and a twin wheel creep-feed grinding machine was manufactured.Furthermore,the axisymmetric precision of the machined workpieces through practical machining was evaluated and the quality of the continuous dressing effect of the developed machine was established.In addition,experimental considerations for a proper dresser-to-wheel speed ratio and proper feed rate of the dresser were carried out.As a result,a twin wheel creep-feed grinding machine with continuous dressing is developed through machine simulation,manufacturing and performance evaluation.Optimum condition for the dresser feed rate is 0.3μm/rev.In cases of large dressor-to-wheel speed ratio,grinding efficiency can be enhanced,but the surface roughness shows a conflicting trend.Developed twin wheel creep-feed grinding machine has satisfactory appraisal with regard to surface roughness,flatness,and parallelism.Satisfactory surface roughness below 0.1μm can be obtained for the blade of aircraft.However,in order to perform precise machining,it is necessary to improve the structure of the twin wheel creep-feed grinding machine. 展开更多
关键词 creep-feed grinding twin wheel surface roughness grinding force continuous dressing flatness parallelism
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大平面砂轮磨削对角修形斜齿轮原理与分析
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作者 尹逊民 贾海涛 +1 位作者 苏进展 常乐浩 《机械科学与技术》 北大核心 2025年第2期271-278,共8页
为了减小作为振动激励的承载传动误差波动量,本文提出斜齿轮对角修形优化设计及大平面砂轮的磨削原理。由渐开线齿面方程和对角修形定义,分别计算齿根和齿顶的修形起始线;根据修形曲线的阶次和最大修形量,确定对角修形曲面,再与标准螺... 为了减小作为振动激励的承载传动误差波动量,本文提出斜齿轮对角修形优化设计及大平面砂轮的磨削原理。由渐开线齿面方程和对角修形定义,分别计算齿根和齿顶的修形起始线;根据修形曲线的阶次和最大修形量,确定对角修形曲面,再与标准螺旋面在法向方向上进行叠加,获得修形齿面。借助齿面接触分析(Tooth contact analysis, TCA)和齿面承载接触分析(Loaded tooth contact analysis, LTCA)方法,以承载传动误差波动量最小为目标函数,采用遗传算法优化获得相应的对角修形参数。计算大平面砂轮的最小直径,基于假想产形斜齿条概念,推导大平面砂轮磨削对角修形的齿面方程。算例分析结果表明:通过修形优化后,不同修形曲线的阶次均可降低承载传动误差波动量,阶次越高,效果越明显,最高达82.58%;大平面砂轮磨削时会产生齿面偏差,但偏差均控制在2μm以内,达到较高的齿面精度,且该方法易于数控编程实现。 展开更多
关键词 对角修形 大平面砂轮 磨削 承载传动误差 齿面偏差
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氮化硅陶瓷套圈窄深槽加工试验研究
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作者 李颂华 田凯 +3 位作者 赵梓辰 左闯 王洪亮 郭昊 《表面技术》 北大核心 2025年第8期156-166,共11页
目的 确定薄片砂轮磨削氮化硅陶瓷窄深槽时槽边缘破碎程度小和槽侧壁表面质量高的最优加工参数范围。方法 创新性地提出一种窄深槽加工质量的评价方法,以槽边缘平均崩口宽度Wd衡量边缘破碎程度,以表面粗糙度Ra评判窄深槽侧壁的表面质量... 目的 确定薄片砂轮磨削氮化硅陶瓷窄深槽时槽边缘破碎程度小和槽侧壁表面质量高的最优加工参数范围。方法 创新性地提出一种窄深槽加工质量的评价方法,以槽边缘平均崩口宽度Wd衡量边缘破碎程度,以表面粗糙度Ra评判窄深槽侧壁的表面质量。首先通过三因素四水平正交试验,确定砂轮线速度、砂轮进给速度和工件线速度对Wd值和表面粗糙度影响的主次顺序,随后通过单因素试验探究磨削参数对窄深槽磨削质量的影响机制与影响规律,选取氮化硅陶瓷窄深槽高侧壁表面质量、低边缘损伤的磨削工艺参数。结果磨削参数对Wd值和侧壁表面粗糙度的影响程度皆为:砂轮线速度>砂轮进给速度>工件线速度。Wd值和表面粗糙度随砂轮线速度的增加先减后增;随着砂轮进给速度的增加,两者均逐渐增大;而工件线速度的提升导致Wd值持续增大,表面粗糙度则呈现先减小后增大的趋势。结论 研究发现,为实现氮化硅陶瓷窄深槽高侧壁表面质量、低边缘损伤的磨削加工,可适当降低砂轮进给速度和工件线速度,提高砂轮线速度。推荐选取砂轮线速度为50 m/s、砂轮进给速度为3μm/min、工件线速度为0.15~0.45 m/s,可将Wd值控制在15μm以内,表面粗糙度控制在0.050μm以内,从而满足氮化硅陶瓷窄深槽高侧壁表面质量、低边缘损伤磨削加工要求。 展开更多
关键词 薄片砂轮 氮化硅陶瓷 窄深槽 边缘破碎 表面粗糙度
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TC4磨削表面晶粒取向演变及微观形貌试验研究
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作者 张志慧 赵嫚 +3 位作者 王荣 朱思远 茅健 张立强 《航空制造技术》 北大核心 2025年第13期56-64,共9页
为揭示工艺参数变化所引发的晶粒取向演变对Ti-6Al-4V(TC4)磨削表面微观形貌的影响,对TC4试样进行正交磨削试验,试验后通过SEM及光学轮廓仪观测磨削表面,得到试样的表面粗糙度和表面形貌。通过泰勒因子模型计算出各组试样晶粒取向对应... 为揭示工艺参数变化所引发的晶粒取向演变对Ti-6Al-4V(TC4)磨削表面微观形貌的影响,对TC4试样进行正交磨削试验,试验后通过SEM及光学轮廓仪观测磨削表面,得到试样的表面粗糙度和表面形貌。通过泰勒因子模型计算出各组试样晶粒取向对应的泰勒因子,进而分析工艺参数、晶粒取向演变、表面粗糙度、微观形貌间的映射关系。结果表明,表面粗糙度与泰勒因子、磨削深度和进给速度呈正相关,与砂轮线速度呈负相关。磨削深度对表面粗糙度影响最大,进给速度次之,砂轮线速度最小。降低泰勒因子、磨削深度、进给速度,提升砂轮线速度,能避免表面成形时发生现脆性变形,获得更好的磨削表面质量,同时兼顾磨削加工效率。本文的研究成果对控制磨削加工表面质量和优化加工工艺具有指导意义。 展开更多
关键词 TC4 磨削 晶粒取向 表面粗糙度 微观形貌
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CBN砂轮磨削铸铁HT250试件表面完整性测试实验研究
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作者 周靖刚 周哲平 +4 位作者 金正钢 蒋莉莉 刘良宝 张宁 李勋 《机床与液压》 北大核心 2025年第14期80-85,共6页
铸铁材料是制造机床导轨、工作台、立柱和床身等零件的主要材料之一,而磨削是加工铸铁零件精密配合表面的主要工艺方法。通过砂轮修整和试件磨削实验,得到80目超硬磨料CBN砂轮的修整参数对HT250试件磨削表面完整性的影响规律关系,优选... 铸铁材料是制造机床导轨、工作台、立柱和床身等零件的主要材料之一,而磨削是加工铸铁零件精密配合表面的主要工艺方法。通过砂轮修整和试件磨削实验,得到80目超硬磨料CBN砂轮的修整参数对HT250试件磨削表面完整性的影响规律关系,优选出适合磨削HT250铸铁试件的CBN砂轮修整参数为:v_(w)=40 mm/min,n_(s)=200 r/min,h=3μm,p=200μm。在此修整参数下,改变磨削工艺参数对试件表面进行磨削加工,测量试件磨削表面的完整性指标。基于磨削表面显微硬度和机床导轨表面生产实际粗糙度的设计要求,优选出HT250的磨削参数为:v_(s)=30 m/s,a_(p)=2μm,v_(f)=14 m/min。此时,在保证磨削表面粗糙度R_(a)低于0.4μm的前提下,获得了更高的磨削表面显微硬度,从而提升了铸铁HT250试件磨削表面的耐磨性。同时,CBN砂轮的稳定磨削阶段为6 min≤t≤40 min,可以有效保证试件磨削表面质量的稳定性。 展开更多
关键词 修整参数 表面完整性 磨削 HT250 CBN砂轮
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无机盐助磨剂对伊春鹿鸣辉钼矿石磨矿效果的影响
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作者 范佳志 白鹏飞 +3 位作者 陈荣健 詹启贤 丁亚蓉 马昆林 《金属矿山》 北大核心 2025年第4期109-114,共6页
为了探究3种无机助磨剂对伊春鹿鸣辉钼矿石磨矿效果的影响,在不添加助磨剂的情况下对合适磨矿浓度、介质充填率、球料比进行了研究,在此基础上以磨矿产品-0.074 mm含量、代表性粒径参数、粒度分布和颗粒微观形貌为评价依据,开展了三聚... 为了探究3种无机助磨剂对伊春鹿鸣辉钼矿石磨矿效果的影响,在不添加助磨剂的情况下对合适磨矿浓度、介质充填率、球料比进行了研究,在此基础上以磨矿产品-0.074 mm含量、代表性粒径参数、粒度分布和颗粒微观形貌为评价依据,开展了三聚磷酸钠、六偏磷酸钠、水玻璃助磨效果研究。结果表明,六偏磷酸钠、三聚磷酸钠、水玻璃等无机盐助磨剂能有效提高磨矿产品-0.074 mm含量;在试验确定磨矿工艺参数情况下,分别添加三聚磷酸钠500g/t、六偏磷酸钠250 g/t、水玻璃500 g/t,磨矿7 min时产品-0.074 mm含量比不添加助磨剂情况下分别提高1.31、3.51、2.16个百分点;磨矿时间相同,添加助磨剂对应的磨矿产品d_(50)、d90均小于不添加助磨剂情况下,比表面积则相反,说明助磨剂能够提高磨矿效果;不添加助磨剂时辉钼矿颗粒表面较平整光滑,裂缝数量较少,加入助磨剂后辉钼矿颗粒表面变得粗糙,且新产生了大量的裂缝,使得其表面硬度与强度下降,进而有助于提高磨矿效果。添加助磨剂对浮选的影响有待后续研究。 展开更多
关键词 助磨剂 辉钼矿 磨矿效果 表面形貌
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碳化硼陶瓷磨削表面粗糙度和磨削比的研究
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作者 冯明杰 李宗兴 +1 位作者 王昆梓 许黎明 《工具技术》 北大核心 2025年第7期26-29,共4页
针对碳化硼陶瓷硬脆等难加工特性,通过金刚石砂轮单行程切入式磨削碳化硼陶瓷实验,研究关键磨削参数对表面粗糙度的影响,并进行砂轮磨损实验,分析磨削比和比材料去除率的关系。结果表明,采用树脂金刚石砂轮磨削碳化硼陶瓷,通过调控磨削... 针对碳化硼陶瓷硬脆等难加工特性,通过金刚石砂轮单行程切入式磨削碳化硼陶瓷实验,研究关键磨削参数对表面粗糙度的影响,并进行砂轮磨损实验,分析磨削比和比材料去除率的关系。结果表明,采用树脂金刚石砂轮磨削碳化硼陶瓷,通过调控磨削参数,能够获得良好的加工表面和较高的加工效率,磨削过程中所选用的金刚石砂轮自锐性良好,表现出优良的磨削性能。 展开更多
关键词 碳化硼 金刚石砂轮 磨削比 表面粗糙度 砂轮磨损
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基于响应面法的磨床砂轮主轴多目标优化
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作者 盛守林 赵丽梅 汪龙华 《机械设计与制造》 北大核心 2025年第2期144-148,152,共6页
为了提高高速精密无心磨床砂轮主轴的稳定性以及磨削精度,考虑到砂轮主轴工况下的热力耦合效应的影响,提出了以砂轮主轴一阶固有频率最大以及工况下的变形量最小和谐响应振幅最小为目标的多目标优化方法。在有限元仿真软件ANSYS中建立... 为了提高高速精密无心磨床砂轮主轴的稳定性以及磨削精度,考虑到砂轮主轴工况下的热力耦合效应的影响,提出了以砂轮主轴一阶固有频率最大以及工况下的变形量最小和谐响应振幅最小为目标的多目标优化方法。在有限元仿真软件ANSYS中建立砂轮主轴热-力耦合效应的有限元仿真模型,然后结合中心复合试验设计理论分别建立了砂轮主轴基于标准二阶响应面法的响应面模型以及基于Kriging方法的响应面模型;最后提出了Kriging响应面方法和多目标遗传算法(NS⁃GA-II算法)相结合的多目标优化方法对砂轮主轴进行优化,获得砂轮主轴的Pareto优化解集。结果表明优化后的砂轮主轴一阶固有频率增加了1.86%,最大变形量减少了0.80%,工况下谐响应振幅减少了42%,提升了砂轮主轴的稳定性,同时为相关轴类零件的优化设计提供了参考。 展开更多
关键词 砂轮主轴 响应面法 多目标优化 遗传算法 热力耦合
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圆台磨粒随机分布的砂轮圆周表面形貌建模
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作者 陈小冬 王德祥 +2 位作者 郭峰 栗心明 江京亮 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第3期408-415,共8页
砂轮圆周表面形貌的准确建模是研究磨削加工机理的重要基础。将刚玉磨粒形状设定为有45°锥角的圆台形,推导在砂轮圆周表面随机分布的圆台磨粒的位置坐标,构建磨粒尺寸和磨粒凸起高度符合正态分布的圆台磨粒模型,并采用碰撞检测方... 砂轮圆周表面形貌的准确建模是研究磨削加工机理的重要基础。将刚玉磨粒形状设定为有45°锥角的圆台形,推导在砂轮圆周表面随机分布的圆台磨粒的位置坐标,构建磨粒尺寸和磨粒凸起高度符合正态分布的圆台磨粒模型,并采用碰撞检测方法检测是否存在磨粒干涉现象,最终生成符合真实工况的砂轮圆周表面形貌模型。结果表明:理论计算的磨粒数与砂轮圆周表面形貌模型的磨粒数比较,其相对误差仅为7.66%;磨粒尺寸分布和磨粒凸起高度分布与建模时设定的正态分布曲线有很好的一致性;磨粒位置呈无规则的随机分布,且砂轮圆周表面形成了无规则的块状和带状间隙区域,证明提出的建模方法可有效生成与真实砂轮具有较高相似度的圆周表面形貌。 展开更多
关键词 砂轮 表面形貌 圆台磨粒 随机分布
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砂轮种类及冷却方式对SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料磨削质量的影响
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作者 王奔 唐家杰 +1 位作者 楚闳迪 张棋 《金刚石与磨料磨具工程》 北大核心 2025年第2期163-175,共13页
SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料由于其耐高温和高比强度的特性,已成为航空发动机用先进材料之一。然而,作为一种难加工的硬脆材料,提高其加工质量和效率是当前研究的关键问题。采用电镀和烧结金刚石砂轮,在有无冷却液的条件下进行正交磨削试... SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料由于其耐高温和高比强度的特性,已成为航空发动机用先进材料之一。然而,作为一种难加工的硬脆材料,提高其加工质量和效率是当前研究的关键问题。采用电镀和烧结金刚石砂轮,在有无冷却液的条件下进行正交磨削试验,以磨削力、工件表面粗糙度和砂轮磨损程度为评价指标,探究不同砂轮种类及冷却方式对SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料磨削加工质量的影响。结果表明:采用烧结金刚石砂轮磨削加工复合材料可得到更好的表面质量和较低的磨削力,同时采用冷却液辅助磨削会降低工件表面粗糙度;由于电镀金刚石砂轮在受到较大磨削力时其金刚石磨粒更易出现成片剥落现象,其使用结果与烧结金刚石砂轮的相反,且电镀金刚石砂轮的磨损形式除磨粒损耗外还包括磨粒的烧伤、脱落等。当粗加工SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料时,应在干式磨削条件下使用电镀金刚石砂轮,并选取高转速、低进给速度及较小磨削深度的磨削参数;当精加工SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料时,应采用烧结金刚石砂轮,并采用水冷辅助方式来显著提高工件加工表面质量。 展开更多
关键词 SiC_(f)/SiC陶瓷基复合材料 磨削加工 表面粗糙度 砂轮种类 冷却方式
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基于磨粒排布方式的SiC陶瓷超声辅助磨削表面形貌研究
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作者 庞亚鹏 丁凯 +2 位作者 李奇林 庄百亮 张振 《电加工与模具》 北大核心 2025年第3期66-73,80,共9页
为准确预测硬脆材料超声辅助磨削表面形貌,采用电镀、钎焊金刚石磨头分别建立了磨粒无序和有序排布的磨头工作面地貌模型,通过开展SiC陶瓷的普通磨削和超声辅助磨削对比试验验证仿真结果的准确性,并研究磨粒排布方式、磨削参数对表面形... 为准确预测硬脆材料超声辅助磨削表面形貌,采用电镀、钎焊金刚石磨头分别建立了磨粒无序和有序排布的磨头工作面地貌模型,通过开展SiC陶瓷的普通磨削和超声辅助磨削对比试验验证仿真结果的准确性,并研究磨粒排布方式、磨削参数对表面形貌和表面粗糙度的影响。结果表明,仿真和试验结果的三维表面形貌整体变化趋势较吻合,表面粗糙度误差在8%~18%之间;在相同的磨削参数条件下,相比于普通磨削,两种磨头的超声辅助磨削均可减少加工表面材料损伤,降低磨削表面粗糙度值;相比于电镀磨头,钎焊磨头在超声辅助磨削加工下的表面粗糙度值降低幅度更大,最大可达到29.48%。 展开更多
关键词 超声辅助磨削 磨粒排布方式 表面形貌仿真 表面粗糙度
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复合纳米自润滑金刚石砂轮磨削SiC陶瓷的试验研究
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作者 汤熊 张松辉 +2 位作者 张晓红 李伟 郭兵 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期56-66,共11页
提出一种复合纳米自润滑金刚石砂轮的制备方法,并对制备的砂轮进行SiC陶瓷的磨削试验,分析砂轮表面不同质量分数的复合纳米颗粒对磨削性能的影响。使用MoS2、TiO2纳米颗粒作为自润滑砂轮基底的填充材料,采用复合纳米自润滑金刚石砂轮和... 提出一种复合纳米自润滑金刚石砂轮的制备方法,并对制备的砂轮进行SiC陶瓷的磨削试验,分析砂轮表面不同质量分数的复合纳米颗粒对磨削性能的影响。使用MoS2、TiO2纳米颗粒作为自润滑砂轮基底的填充材料,采用复合纳米自润滑金刚石砂轮和传统金刚石砂轮进行磨削对比试验,研究复合纳米自润滑金刚石砂轮的润滑机制。研究结果表明,复合纳米自润滑金刚石砂轮自释放的纳米颗粒有效地参与了磨削区间的润滑,砂轮的法相力、切向力降低,提升了工件表面质量。在磨削深度为2~8μm内,复合纳米自润滑金刚石砂轮的具体表现为法向磨削力降低18.6%~38.7%、切向磨削力降低11.2%~28.6%,工件表面粗糙度降低13.9%~41.5%。根据本试验所得数据,当砂轮表面复合纳米颗粒质量分数为8%时,润滑性能和工件表面质量最佳。 展开更多
关键词 纳米颗粒 自润滑 磨削力 表面质量 砂轮磨损
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弹性磨抛轮加工硅片面形预测模型及试验验证
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作者 高尚 任佳伟 +2 位作者 康仁科 张瑜 李天润 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期22-27,46,共7页
目的为分析弹性磨抛轮磨削硅片面形精度变化的影响因素,优化加工参数以获得良好的磨削面形。方法通过建立考虑弹性磨抛轮转速、硅片转速、偏心距等参数的弹性磨抛轮磨粒运动轨迹模型,结合单颗磨粒切削深度,提出了弹性磨抛轮加工硅片的... 目的为分析弹性磨抛轮磨削硅片面形精度变化的影响因素,优化加工参数以获得良好的磨削面形。方法通过建立考虑弹性磨抛轮转速、硅片转速、偏心距等参数的弹性磨抛轮磨粒运动轨迹模型,结合单颗磨粒切削深度,提出了弹性磨抛轮加工硅片的材料去除非均匀性预测方法,建立了基于弹性磨抛轮磨削硅片的面形预测模型,并通过不同转速比下的磨削试验验证了预测模型的准确性。结果面形预测模型仿真出的面形与弹性磨抛轮加工试验后的硅片面形一致,均呈“凸”形,且PV值随转速比的增大而增大。转速比为1时,磨削后硅片面形PV值为0.54μm,仿真模型计算出的PV值为0.49μm,转速比为5时,磨削后硅片面形PV值为2.12μm,仿真模型计算出的PV值为2.38μm。结论磨削试验面形PV值与模型计算面形PV值的预测误差小于13%,建立的面形预测模型能够成功预测硅片的面形规律,可以分析加工参数对硅片面形的影响规律。由面形预测模型分析可知,转速比对硅片面形精度有影响,且随着转速比的增加,硅片面形不断恶化,因此在实际加工中,应选择较小的转速比进行加工,以获得更优的硅片面形精度。 展开更多
关键词 磨抛轮 硅片 面形仿真 磨粒切削深度 去除均匀性 磨削
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光学玻璃磨削亚表面损伤预测模型及DOE实验设计
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作者 杨晓辉 周凌宇 +1 位作者 刘宁 孟宪宇 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2024年第3期520-525,共6页
为了掌握光学玻璃材料杯型砂轮研磨与表面粗糙度(SR)和亚表面损伤(SSD)机理,本文建立BK7光学玻璃杯型砂轮研磨表面粗糙度的预测模型,通过改变磨削参数来研究对表面粗糙度的影响。设计DOE试验,研究影响SR与SSD的显著性特征因子,并分析了... 为了掌握光学玻璃材料杯型砂轮研磨与表面粗糙度(SR)和亚表面损伤(SSD)机理,本文建立BK7光学玻璃杯型砂轮研磨表面粗糙度的预测模型,通过改变磨削参数来研究对表面粗糙度的影响。设计DOE试验,研究影响SR与SSD的显著性特征因子,并分析了各因子的交互作用。实验结果表明预测模型的可靠性,得到表面粗糙度的预测模型数据与实验数据的平均误差为5.47%。采用角抛光法,通过电子显微镜观测表面裂纹,并测量裂纹的深度。最后,基于Li的模型,建立基于磨削工艺参数的亚表面损伤的新预测模型。实验结果表明:实验和预测模型结果具有很好的一致性,模型数据与实验数据的平均误差为6.19%,并且新预测模型结果要优于Li的模型。 展开更多
关键词 表面粗糙度 亚表面损伤 BK7光学玻璃 预测模型 杯形砂轮磨削 DOE实验设计
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超精密晶圆减薄砂轮及减薄磨削装备研究进展 被引量:3
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作者 周仁宸 王哲 +4 位作者 杨远航 吉佛涛 刘坚 李蓉 尹韶辉 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第3期1-21,共21页
在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆... 在芯片制程的后道阶段,通过超精密晶圆减薄工艺可以有效减小芯片封装体积,导通电阻,改善芯片的热扩散效率,提高其电气性能、力学性能。目前的主流工艺通过超细粒度金刚石砂轮和高稳定性超精密减薄设备对晶圆进行减薄,可实现大尺寸晶圆的高精度、高效率、高稳定性无损伤表面加工。重点综述了目前超精密晶圆减薄砂轮的研究进展,在磨料方面综述了机械磨削用硬磨料和化学机械磨削用软磨料的研究现状,包括泡沫化金刚石、金刚石团聚磨料、表面微刃金刚石的制备方法及磨削性能,同时归纳总结了软磨料砂轮的化学机械磨削机理及材料去除模型。在结合剂研究方面,综述了金属、树脂和陶瓷3种结合剂的优缺点,以及在晶圆减薄砂轮上的应用,重点综述了目前在改善陶瓷结合剂的本征力学强度及与金刚石之间的界面润湿性方面的研究进展。在晶圆减薄超细粒度金刚石砂轮制备方面,由于微纳金刚石的表面能较大,采用传统工艺制备砂轮会导致磨料发生团聚,影响加工质量。在此基础上,总结论述了溶胶–凝胶法、高分子网络凝胶法、电泳沉积法、凝胶注模法、结构化砂轮等新型工艺方法在超细粒度砂轮制备方面的应用研究,同时还综述了目前不同的晶圆减薄工艺及超精密减薄设备的研究进展,并指出未来半导体加工工具及装备的发展方向。 展开更多
关键词 减薄砂轮 减薄机 表面处理 结合剂 超细粒度金刚石 制备技术
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38CrMoAl渗氮钢微晶刚玉砂轮摆线磨削工艺试验研究 被引量:1
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作者 周辉 蔡云辉 +4 位作者 王熔 李希扬 黄向明 王伏林 汤涛 《工具技术》 北大核心 2024年第4期49-53,共5页
在实际磨削38CrMoAl渗氮钢过程中,存在磨削烧伤情况。本文分别采用白刚玉砂轮和微晶刚玉砂轮磨削38CrMoAl渗氮钢,对比研究了不同磨料类型刚玉砂轮对磨削力和表面粗糙度的影响规律。试验结果表明:相较于白刚玉砂轮,微晶刚玉砂轮磨削时磨... 在实际磨削38CrMoAl渗氮钢过程中,存在磨削烧伤情况。本文分别采用白刚玉砂轮和微晶刚玉砂轮磨削38CrMoAl渗氮钢,对比研究了不同磨料类型刚玉砂轮对磨削力和表面粗糙度的影响规律。试验结果表明:相较于白刚玉砂轮,微晶刚玉砂轮磨削时磨削力降低了14.2%。基于正交试验方法,通过微晶刚玉砂轮平面磨削试验,探究了磨削工艺参数对磨削力和工件表面粗糙度的影响。结果分析表明:磨削深度对磨削力影响最大,其次是工件进给速度和砂轮转速;对于工件表面粗糙度而言,工件进给速度的影响最大,其次是砂轮速度和磨削深度。最终采用微晶刚玉砂轮对38CrMoAl渗氮钢齿轮样件进行批次加工,结果显示无磨削烧伤发生,且磨削表面质量得到了显著提高。 展开更多
关键词 渗氮钢 齿轮 微晶刚玉砂轮 磨削力 表面粗糙度
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钨合金精密磨削砂轮磨损及对表面质量的影响机制 被引量:1
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作者 李干 康仁科 +3 位作者 董志刚 王浩 王中旺 鲍岩 《湖南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期82-89,共8页
为了满足钨合金零件的高精度和高完整性表面加工需求,实现钨合金磨削质量的控制和加工工艺的优化,通过分析砂轮磨粒种类和结合剂类型对砂轮磨损形式的关系,明确了超硬磨料砂轮在钨合金磨削加工中的优势.研究了磨粒粒度和磨削参数对钨合... 为了满足钨合金零件的高精度和高完整性表面加工需求,实现钨合金磨削质量的控制和加工工艺的优化,通过分析砂轮磨粒种类和结合剂类型对砂轮磨损形式的关系,明确了超硬磨料砂轮在钨合金磨削加工中的优势.研究了磨粒粒度和磨削参数对钨合金磨削加工质量的影响规律,为制定合理的磨削工艺提供依据.通过磨削试验获得钨合金高精度和高完整性表面磨削加工工艺.研究结果表明,钨合金磨削过程中砂轮易磨损,超硬磨料砂轮更适合钨合金的磨削加工.金属结合剂金刚石砂轮在钨合金磨削加工的表面质量和加工精度方面表现出优越性.通过改进磨削参数,钨合金精密磨削后表面粗糙度可达18.9nm,实现了镜面磨削效果. 展开更多
关键词 磨削加工 表面粗糙度 钨合金 砂轮磨损 磨削参数
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2.5D C_(f)/SiC复合材料微尺度磨削试验研究
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作者 李远峰 温泉 +1 位作者 巩亚东 唐本甲 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期1143-1149,共7页
为提高2.5D C_(f)/SiC复合材料在微磨削加工中的表面质量,使用500#金刚石磨粒、直径为0.9 mm的电镀微磨具对其进行3个因素5个水平的微磨削正交试验.通过极差与方差分析微磨削速度v_(s)、磨削深度a_(p)和进给速度v_(w)对磨削性能评价参数... 为提高2.5D C_(f)/SiC复合材料在微磨削加工中的表面质量,使用500#金刚石磨粒、直径为0.9 mm的电镀微磨具对其进行3个因素5个水平的微磨削正交试验.通过极差与方差分析微磨削速度v_(s)、磨削深度a_(p)和进给速度v_(w)对磨削性能评价参数(磨削力、表面粗糙度、表面形貌)影响的主次顺序;通过不同水平下的试验结果分析磨削性能评价参数随工艺参数的变化规律.结果表明,磨削深度对磨削性能影响最大,进给速度影响最小;当增大磨削深度与进给速度时,表面粗糙度及磨削力逐渐增大,表面缺陷较多;当增大微磨削速度时,表面粗糙度及磨削力逐渐减小,表面形貌平整均匀,缺陷较少. 展开更多
关键词 2.5D C_(f)/SiC复合材料 微磨削 磨削力 表面粗糙度 表面形貌
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