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硅基完全集成DC/DC转换器中多层平面电感设计与建模 被引量:1
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作者 李清华 邵志标 耿莉 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期463-466,共4页
为提高完全集成低压低功率DC/DC转换器转换效率与输出电流能力,提出了一种多层混联螺旋电感结构.该结构基于标准0.5μm 2P3M CMOS工艺,将下面较薄的两层金属线圈多点并联,再与最上层金属线圈串联.多点并联结构有效地增加了等效... 为提高完全集成低压低功率DC/DC转换器转换效率与输出电流能力,提出了一种多层混联螺旋电感结构.该结构基于标准0.5μm 2P3M CMOS工艺,将下面较薄的两层金属线圈多点并联,再与最上层金属线圈串联.多点并联结构有效地增加了等效金属层的厚度,串联结构增加了线圈之间的互感值,从而可以在不增加额外工艺成本的条件下显著提高平面电感的品质因数、单位面积电感值和电感线圈的电流承受能力.所提出的模型为完全集成DC/DC转换器的整体电路模拟分析提供了便利基础.基于0.5μm2P3MCMOS硅衬底工艺的模拟计算结果表明,在DC/DC转换器工作频段50~400MHz,取得了预期电感的设计效果,最大品质因数值达4.2,单位面积电感值达到83mH/m^2,可以承受的电流达90mA.电感芯片测试结果与模型模拟结果基本吻合. 展开更多
关键词 完全集成 dc/dc转换器 多层平面电感 建模 品质因数
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