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一种基于四象限光电探测器的对准新方法
被引量：
13
1
作者
王秀青
徐德
+1 位作者
谭民
刘云
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第7期11-14,共4页
在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探...
在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面。根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准。
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关键词
四象限光电探测器
对准
掩模板
误差
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职称材料
题名
一种基于四象限光电探测器的对准新方法
被引量：
13
1
作者
王秀青
徐德
谭民
刘云
机构
中国科学院自动化研究所复杂系统与智能科学实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第7期11-14,共4页
基金
国家"863"计划资助项目(2004AA420040-2)
文摘
在分析四象限光电探测器工作原理的基础上,提出了一种利用2个四象限光电探测器实现掩模板对准的新方法。激光器与四象限探测器位置固定,掩模板处于激光器与四象限探测器之间。透过掩模板上的2个透光米字形标记,激光光束照射到四象限探测器的光敏面。根据2个四象限探测器的输出,计算出掩模板的位置和姿态偏差,通过运动平台调整掩模板的位置和姿态,实现对准。
关键词
四象限光电探测器
对准
掩模板
误差
Keywords
four-quadrant photo electric detector （qpd）
alignment
mask-plate
error
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种基于四象限光电探测器的对准新方法
王秀青
徐德
谭民
刘云
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006
13
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