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Flip Chip技术在集成电路封装中的应用
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作者 黄家友 《集成电路应用》 2024年第3期56-57,共2页
阐述从集成电路封装发展现状、Flip Chip技术内涵、Flip Chip技术在集成电路封装中的应用剖析、市场发展展望等多个角度,探讨在集成电路封装中,应用Flip Chip技术的必要性和重要性。
关键词 集成电路 flip chip技术 电子器件封装
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Substrates for flip Chip Packaging
2
《电子工业专用设备》 2006年第8期I0017-I0022,共6页
关键词 chip Substrates for flip chip Packaging
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倒装晶片(Flip Chip)装配工艺及其对表面贴装设备的要求 被引量:1
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作者 李忆 《电子工业专用设备》 2007年第12期1-7,共7页
元件的小型化高密度封装形式越来越多,如多模块封装(MCM),系统封装(SiP),倒装晶片(FC)等应用得越来越多。这些技术的出现更加模糊了一级封装与二级装配之间的界线,勿庸置否,随着小型化高密度封装的出现,对高速与高精度装配的要求变得更... 元件的小型化高密度封装形式越来越多,如多模块封装(MCM),系统封装(SiP),倒装晶片(FC)等应用得越来越多。这些技术的出现更加模糊了一级封装与二级装配之间的界线,勿庸置否,随着小型化高密度封装的出现,对高速与高精度装配的要求变得更加关键。相关的组装设备和工艺也更具先进性与高灵活性。由于倒装晶片比BGA或CSP具有更小的外形尺寸,更小的球径和球间距,它对植球工艺,基板技术,材料的兼容性,制造工艺以及检查设备和方法提出了前所未有的挑战。 展开更多
关键词 小型化 高密度封装 倒装晶片 先进性与高灵活性
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面积阵列封装——BGA和FlipChip 被引量:3
4
作者 张涛 李莉 《电子工艺技术》 1999年第1期6-11,共6页
随着表面安装技术的迅速发展,新的封装技术不断出现,面积阵列封装技术成了现代封装的热门话题。BGA和FlipChip是面积阵列封装的两大类型,它们作为当今大规模集成电路的封装形式,引起了电子组装界的关注,而且逐渐在不同... 随着表面安装技术的迅速发展,新的封装技术不断出现,面积阵列封装技术成了现代封装的热门话题。BGA和FlipChip是面积阵列封装的两大类型,它们作为当今大规模集成电路的封装形式,引起了电子组装界的关注,而且逐渐在不同领域得到应用。BGA和FlipChip的出现,适应了表面安装技术的需要,解决了高密度、高性能、多功能及高I/O数应用的封装难题,预计随着进一步的发展,BGA和FlipChip技术将成为“最终的封装技术”。本文就BGA和FlipChip的结构、类型、应用及发展等诸多方面进行了阐述。 展开更多
关键词 表面安装技术 面积阵列封装 BGA 电子元件
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High power and high reliability GaN/InGaN flip-chip light-emitting diodes
5
作者 张剑铭 邹德恕 +4 位作者 徐晨 朱颜旭 梁庭 达小丽 沈光地 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第4期1135-1139,共5页
High-power and high-reliability GaN/InGaN flip-chip light-emitting diodes (FCLEDs) have been demonstrated by employing a flip-chip design, and its fabrication process is developed. FCLED is composed of a LED die and... High-power and high-reliability GaN/InGaN flip-chip light-emitting diodes (FCLEDs) have been demonstrated by employing a flip-chip design, and its fabrication process is developed. FCLED is composed of a LED die and a submount which is integrated with circuits to protect the LED from electrostatic discharge (ESD) damage. The LED die is flip-chip soldered to the submount, and light is extracted through the transparent sapphire substrate instead of an absorbing Ni/Au contact layer as in conventional GaN/InGaN LED epitaxial designs. The optical and electrical characteristics of the FCLED are presented. According to ESD IEC61000-4-2 standard (human body model), the FCLEDs tolerated at least 10 kV ESD shock have ten times more capacity than conventional GaN/InGaN LEDs. It is shown that the light output from the FCLEDs at forward current 350mA with a forward voltage of 3.3 V is 144.68 mW, and 236.59 mW at 1.0A of forward current. With employing an optimized contact scheme the FCLEDs can easily operate up to 1.0A without significant power degradation or failure. The li.fe test of FCLEDs is performed at forward current of 200 mA at room temperature. The degradation of the light output power is no more than 9% after 1010.75 h of life test, indicating the excellent reliability. FCLEDs can be used in practice where high power and high reliability are necessary, and allow designs with a reduced number of LEDs. 展开更多
关键词 GAN light emitting diode flip-chip high power
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IC载板覆晶封装金球键合失效分析与改善
6
作者 张海 张明明 +3 位作者 郁丁宇 张健 徐俊子 孙炳合 《印制电路信息》 2025年第3期47-51,共5页
主要介绍在倒装芯片键合过程中,芯片与封装载板键合失效的改善方法。经化学镍钯金表面处理的封装载板与芯片进行金-金键合(GGI)连接时发生失效。利用GGI基本原理和推球测试方法,对该问题展开分析并探究制定改善措施。研究发现,在不了解... 主要介绍在倒装芯片键合过程中,芯片与封装载板键合失效的改善方法。经化学镍钯金表面处理的封装载板与芯片进行金-金键合(GGI)连接时发生失效。利用GGI基本原理和推球测试方法,对该问题展开分析并探究制定改善措施。研究发现,在不了解客户封装过程条件的情况下,对封装载板产品的制程参数选择不当,将直接影响封装信赖性问题。封装载板表面的油墨固化不充分,即内部仍存在有机物挥发残留或聚合不充分等现象;在封装过程中,客户端预热温度高于油墨固化温度,芯片键合加热时,部分有机物继续挥发释放,导致焊盘表面污染,进而引发金球键合失效。 展开更多
关键词 覆晶封装 金-金键合 推球测试 有机挥发物
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260 GHz GaN高功率三倍频器设计
7
作者 盛百城 宋旭波 +8 位作者 顾国栋 张立森 刘帅 万悦 魏碧华 李鹏雨 郝晓林 梁士雄 冯志红 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第3期290-295,共6页
基于GaN太赫兹二极管芯片,采用非平衡式电路结构,设计了一款260 GHz三倍频器。采用GaN肖特基二极管芯片提高电路的耐受功率和输出功率;采用“减高+减宽”的输出波导结构抑制二次谐波;采用高低阻抗带线结构设计了倍频器的输入滤波器和输... 基于GaN太赫兹二极管芯片,采用非平衡式电路结构,设计了一款260 GHz三倍频器。采用GaN肖特基二极管芯片提高电路的耐受功率和输出功率;采用“减高+减宽”的输出波导结构抑制二次谐波;采用高低阻抗带线结构设计了倍频器的输入滤波器和输出滤波器。测试结果显示,该三倍频器在261 GHz峰值频率下,实现最大输出功率为69.1 mW,转换效率为3.3%,同时具有较好的谐波抑制特性。 展开更多
关键词 三倍频器 太赫兹 肖特基二极管 非平衡式 倒装
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倒装集成电路可靠性研究
8
作者 李锟 《中国标准化》 2024年第23期198-203,共6页
随着封装技术的发展,倒装焊技术在集成电路领域的应用日益广泛,其可靠性问题也受到了更多的关注。本文深入探讨了倒装集成电路的结构特点、失效模式,并对关键工艺过程进行了系统分析。通过工艺试验方法的研究和试验验证,提出了倒装集成... 随着封装技术的发展,倒装焊技术在集成电路领域的应用日益广泛,其可靠性问题也受到了更多的关注。本文深入探讨了倒装集成电路的结构特点、失效模式,并对关键工艺过程进行了系统分析。通过工艺试验方法的研究和试验验证,提出了倒装集成电路的工艺过程试验检验要求,并对X射线和超声检测的判据进行了试验确认。 展开更多
关键词 倒装 失效判据 试验
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高性能512×2元线列InGaAs短波红外探测器
9
作者 朱琴 范明国 +4 位作者 宋欣波 齐浩泽 方莉媛 管涛 龚晓霞 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第7期826-830,共5页
针对色选行业对高均匀性、低暗电流、低盲元率的线列InGaAs短波红外探测器的迫切需求,本文基于MOCVD生长的n-i-n型InP/InGaAs/InP外延材料,采用扩散、钝化膜制备、电极生长等工艺,制备了512×2元线列InGaAs短波红外探测器。通过优... 针对色选行业对高均匀性、低暗电流、低盲元率的线列InGaAs短波红外探测器的迫切需求,本文基于MOCVD生长的n-i-n型InP/InGaAs/InP外延材料,采用扩散、钝化膜制备、电极生长等工艺,制备了512×2元线列InGaAs短波红外探测器。通过优化器件结构及钝化膜制备工艺,器件暗电流得到了有效的抑制;通过对倒装互联工艺参数进行优化,实现了高可靠性、高连通率的512×2元线列探测器的制备。室温下(25℃)对探测器组件进行测试,其峰值探测率为1.13×10^(12) cm×Hz^(1/2)/W,暗电流密度为12.8 nA/cm^(2),有效像元率≥99.5%,响应非均匀性低至0.63%。 展开更多
关键词 INGAAS 钝化 暗电流 倒装互联
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热老化对不同封装形式SOI基压阻式芯片的影响
10
作者 李培仪 刘东 +3 位作者 雷程 梁庭 党伟刚 罗后明 《微纳电子技术》 CAS 2024年第10期170-176,共7页
采用热老化的手段提高封装后芯片的输出稳定性及使用寿命,并对热老化温度与老化时间的匹配问题进行了研究。首先介绍了压阻传感器的老化机理,然后在不同温度下对同批次不同封装形式绝缘体上硅(SOI)基压阻芯片进行老化,并对芯片老化前后... 采用热老化的手段提高封装后芯片的输出稳定性及使用寿命,并对热老化温度与老化时间的匹配问题进行了研究。首先介绍了压阻传感器的老化机理,然后在不同温度下对同批次不同封装形式绝缘体上硅(SOI)基压阻芯片进行老化,并对芯片老化前后数据进行对比。结果表明,300℃加电老化情况下,芯片稳定输出的时间为12h,且老化后芯片的各项指标均有改善。在温度允许范围内,适当的老化温度可以使芯片达到稳定输出状态,提升工作效率的同时为优化SOI基压阻芯片的老化时间提供了参考。 展开更多
关键词 传感器 绝缘体上硅(SOI)基压阻芯片 正装芯片 倒装芯片 老化
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一种基于倒装芯片的超宽带BGA封装差分传输结构
11
作者 杨振涛 余希猛 +4 位作者 张俊 段强 杨德明 白宇鹏 刘林杰 《半导体技术》 北大核心 2024年第1期91-96,共6页
随着高速数字电路和射频微波电路对时钟频率和带宽的要求越来越高,差分传输结构因其优良的噪声抑制和抗干扰性能而受到越来越多的重视。提出了一种基于倒装芯片的超宽带球栅阵列(BGA)封装差分传输结构。整体传输结构包括采用陶瓷材料制... 随着高速数字电路和射频微波电路对时钟频率和带宽的要求越来越高,差分传输结构因其优良的噪声抑制和抗干扰性能而受到越来越多的重视。提出了一种基于倒装芯片的超宽带球栅阵列(BGA)封装差分传输结构。整体传输结构包括采用陶瓷材料制作的倒装芯片用基板、BGA封装焊球和印制电路板(PCB)。主要分析了差分垂直传输结构的尺寸参数对阻抗和截止频率的影响,并利用阶梯过孔减小阻抗不连续性。整体结构的传输性能通过矢量网络分析仪测试的散射参数来表征。测试与仿真结果具有较好的一致性,在DC~60 GHz频段,差分传输结构的回波损耗≤-15 dB,插入损耗优于-1 dB,为超宽带倒装芯片的封装设计提供参考。 展开更多
关键词 陶瓷基板 倒装芯片 球栅阵列(BGA)封装差分传输结构 垂直互连 高次模 信号完整性
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基于晶圆级技术的PBGA电路设计与验证
12
作者 文永森 罗曦 +2 位作者 杜映洪 刘勇 刘绍辉 《电子技术应用》 2024年第7期55-58,共4页
晶圆级封装技术可实现多芯片互连,但在封装尺寸、叠层数和封装良率等方面的问题限制了其在电路小型化进程中的发展。以一款扇出型晶圆级封装电路为例,基于先进封装技术,采用软件设计和仿真优化方式,结合封装经验和实际应用场景,通过重... 晶圆级封装技术可实现多芯片互连,但在封装尺寸、叠层数和封装良率等方面的问题限制了其在电路小型化进程中的发展。以一款扇出型晶圆级封装电路为例,基于先进封装技术,采用软件设计和仿真优化方式,结合封装经验和实际应用场景,通过重布线和芯片倒装的方式互连,完成了有机基板封装设计与制造,实现了该电路低成本和批量化生产的目标。本产品的设计思路和制造流程可为其他硬件电路微型化开发提供参考。 展开更多
关键词 晶圆级封装 电路小型化 芯片倒装 有机基板封装
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高精度倒装焊机的光学对位系统
13
作者 王雁 吕琴红 郝耀武 《电子工艺技术》 2024年第2期22-24,共3页
红外焦平面探测器芯片的像元阵列规模不断扩大,像元尺寸不断减小,与读出电路基板的精确互连变得愈加困难,对用于互连工艺核心设备倒装焊机提出了更高的要求。为实现探测器芯片与读出电路基板的精确互连,通过分析倒装焊接工艺的流程,得... 红外焦平面探测器芯片的像元阵列规模不断扩大,像元尺寸不断减小,与读出电路基板的精确互连变得愈加困难,对用于互连工艺核心设备倒装焊机提出了更高的要求。为实现探测器芯片与读出电路基板的精确互连,通过分析倒装焊接工艺的流程,得出芯片与基板的调平和对准是关键环节。介绍了倒装焊机光学对位系统的组成,并对其准直光路系统、显微成像系统、激光测距系统进行了研究。 展开更多
关键词 倒装焊机 光学对位系统 倒装互连
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倒装芯片的底部填充工艺研究
14
作者 李圣贤 丁增千 《电子与封装》 2024年第7期50-56,共7页
倒装芯片技术被广泛应用于先进封装技术领域,可以有效解决芯片与基板之间因应力不匹配产生的可靠性问题。底部填充工艺通过在芯片和基板的间隙填充有机胶,使得应力可以被重新分配,进而起到保护焊点的作用,提升封装可靠性。随着芯片不断... 倒装芯片技术被广泛应用于先进封装技术领域,可以有效解决芯片与基板之间因应力不匹配产生的可靠性问题。底部填充工艺通过在芯片和基板的间隙填充有机胶,使得应力可以被重新分配,进而起到保护焊点的作用,提升封装可靠性。随着芯片不断向轻薄化方向发展,芯片尺寸的缩减和结构的精细化导致对填充材料的性能及封装可靠性的要求不断提高,底部填充工艺面临着更大的挑战。材料设计、工艺优化等措施是应对潜在挑战的有效方式。 展开更多
关键词 封装技术 倒装芯片 底部填充工艺
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倒装芯片焊点缺陷无损检测技术
15
作者 李可 朱逸 +3 位作者 顾杰斐 赵新维 宿磊 Michael Pecht 《电子与封装》 2024年第9期22-31,共10页
倒装芯片技术因其高封装密度和高可靠性等优势,已成为微电子封装的主要发展方向。然而,随着倒装芯片焊点尺寸和间距迅速减小,焊点往往容易出现裂纹、空洞、缺球等微缺陷,严重影响芯片性能并导致芯片失效。因此,对倒装芯片进行缺陷检测... 倒装芯片技术因其高封装密度和高可靠性等优势,已成为微电子封装的主要发展方向。然而,随着倒装芯片焊点尺寸和间距迅速减小,焊点往往容易出现裂纹、空洞、缺球等微缺陷,严重影响芯片性能并导致芯片失效。因此,对倒装芯片进行缺陷检测以提高电子封装的可靠性至关重要。无损检测技术作为工业领域一种重要的缺陷检测手段,已被成功应用于检测焊点缺陷,常用方法包括光学检测、热红外检测、X射线检测、超声检测、振动检测等。分别阐述了以上无损检测方法的原理及其在焊点缺陷检测领域应用的主要成果,并总结了无损检测方法的优缺点。 展开更多
关键词 倒装芯片 焊点 缺陷检测 无损检测方法
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先进的MEMS封装技术 被引量:10
16
作者 王海宁 王水弟 +1 位作者 蔡坚 贾松良 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期7-10,共4页
从特殊的信号界面、立体结构、外壳、钝化和可靠性五个方面总结了MEMS封装的特殊性。介绍了几种当前先进的MEMS封装技术:倒装焊MEMS、多芯片 (MCP)和模块式封装(MOMEMS)。最后强调,必须加强MEMS封装的研究。
关键词 MEMS 封装技术 倒装焊 模块式封装 多芯片 微机电系统 集成电路制造工艺
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倒装芯片凸焊点的UBM 被引量:8
17
作者 郭江华 王水弟 +2 位作者 张忠会 胡涛 贾松良 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期60-64,共5页
介绍了倒装芯片凸焊点的焊点下金属(UBM)系统,讨论了电镀Au凸焊点用UBM的溅射工艺和相应靶材、溅射气氛的选择,给出了凸焊点UBM质量的考核试验方法和相关指标。
关键词 倒装芯片 凸焊点 UBM 微电子封装
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红外探测器倒装互连技术进展 被引量:10
18
作者 耿红艳 周州 +1 位作者 宋国峰 徐云 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第3期722-726,共5页
随着红外焦平面技术的发展,红外探测器探测波段已由单波段变为双色及四色波段,半导体元件的封装数量由最初的数十个发展到数百万个,I/O输出密度不断增大,传统微互联技术如引线键合技术、载带自动焊技术等已根本无法满足器件要求。倒装... 随着红外焦平面技术的发展,红外探测器探测波段已由单波段变为双色及四色波段,半导体元件的封装数量由最初的数十个发展到数百万个,I/O输出密度不断增大,传统微互联技术如引线键合技术、载带自动焊技术等已根本无法满足器件要求。倒装焊技术以其封装尺寸小、互联密度高、生产成本低的特点越来越受到人们的亲睐。倒装互连工艺主要包括:UBM制备、铟膜沉积、回流成球、倒压焊、填充背底胶。介绍了各工艺步骤的发展状况,并对铟膜沉积、铟柱增高工艺进行详细阐述。 展开更多
关键词 打底金属 铟柱 回流 倒压焊 底部填充胶
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织构对铟凸点剪切强度的影响 被引量:6
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作者 刘豫东 张钢 +1 位作者 崔建国 马莒生 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期225-228,共4页
制作了 2种形式的铟凸点 :即直接蒸发沉积的铟柱和将铟柱回流得到的铟球 .同时对比了铟柱和铟球 2种凸点的剪切强度 ,测试结果表明铟球剪切强度为 5 .6MPa ,铟柱的剪切强度为 1.9MPa ,前者约为后者的 2 .9倍 .对铟凸点微观结构的X光衍... 制作了 2种形式的铟凸点 :即直接蒸发沉积的铟柱和将铟柱回流得到的铟球 .同时对比了铟柱和铟球 2种凸点的剪切强度 ,测试结果表明铟球剪切强度为 5 .6MPa ,铟柱的剪切强度为 1.9MPa ,前者约为后者的 2 .9倍 .对铟凸点微观结构的X光衍射分析发现 :铟柱剪切强度低是织构弱化所致 ;铟球剪切强度高是由于回流破坏了铟柱的理想 (10 1)丝织构模式 。 展开更多
关键词 织构 铟凸点 剪切强度 金属结构分析 倒装焊
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百万像素级红外焦平面器件倒装互连工艺研究 被引量:9
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作者 谢珩 王宪谋 王骏 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2017年第3期319-321,共3页
介绍了倒装互连技术的工艺原理,阐述了红外焦平面器件倒装互连的工艺特点。通过系列实验和分析,最终优化并确定了百万像素级红外焦平面器件倒装互连的工艺参数,获得了良好的互连效果。
关键词 倒装互连 百万像素 碲镉汞 红外焦平面
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