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光纤点衍射干涉仪的技术研究被引量：13: 1; 作者刘国淦张学军 +4 位作者王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期142-145,共4页; 提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标... 展开更多; 关键词干涉仪点衍射相移光学纤维; 在线阅读下载PDF 职称材料

极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：7: 2; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页; 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度... 展开更多; 关键词光学检测双光纤相移点衍射干涉仪精度分析波面重复精度; 在线阅读下载PDF 职称材料

光纤相移点衍射干涉仪关键技术被引量：5: 3; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页; 为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允... 展开更多; 关键词高精度检测光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差激光光源光纤; 在线阅读下载PDF 职称材料

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术被引量：3: 4; 作者张宇金春水 +1 位作者马冬梅王丽萍《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页; 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦... 展开更多; 关键词装调技术双光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差光学检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于三维测量的双路点衍射干涉系统被引量：3: 5; 作者王道档王志超 +2 位作者赵军王朝孔明《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期2146-2153,共8页; 针对在仅有一个光纤对的单路点衍射三维测量系统中,存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题,提出了用于三维测量的双路点衍射干涉系统。分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及三维迭代重构算法对于三维测量精度的影响,在此... 展开更多; 关键词三维测量双路点衍射干涉系统亚微米孔径光纤精度点衍射波前; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤点衍射干涉仪的技术研究被引量：13: 1; 作者刘国淦张学军王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲; 机构中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2001年第2期142-145,共4页; 基金中科院重点基金! (ZG99Q 0 2 B); 文摘提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法 ,由两根光纤分别传输参考光和测试光 ,利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比 ,该方法结构相对简单 ,误差来源少 ,且不需要传统干涉仪中的高质量标准面。; 关键词干涉仪点衍射相移光学纤维; Keywords interferometers point diffraction phase shift optical fibers; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究被引量：7: 2; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2012年第12期3384-3389,共6页; 基金中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室资助项目(09Q03FQ090); 文摘为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,对其检测方案进行了优化设计,在相移系统和光程差调节系统中引入了特伦结构,并且对光纤端面进行了抛光镀膜处理。将影响干涉仪检测精度及波面重复精度的误差源引入到干涉图中进行整体分析,得到干涉仪的检测精度及波面重复精度,为了验证双光纤相移点衍射干涉仪的切实可行性及理论分析结果的正确性,搭建了原理实验装置,对同一被检光学系统进行了512次测量,将其分成8组,最终8组测量的波面重复精度能够达到0.13 nm,优于λ/4000。; 关键词光学检测双光纤相移点衍射干涉仪精度分析波面重复精度; Keywords optical testing double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer accuracy analysis wavefront repeatability; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光纤相移点衍射干涉仪关键技术被引量：5: 3; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第1期254-259,共6页; 基金东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218); 文摘为了实现光学系统波像差的高精度检测,引入了改进的光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的关键部件包括激光光源及光纤的参数进行了选择和分析。经测试,激光光源功率稳定性约为1%(10 min),光斑尺寸在实现最佳耦合效率允许范围内,光束位置稳定度约为6μm,相干长度为1 cm左右,都在测试精度允许范围内;选择了纤芯直径为3.5μm的单模不保偏光纤,对光纤端面镀半反半透金属膜,实现了较高的条纹对比度和光能利用率,并设计了波前参考源,方便了光纤端面的抛光、镀膜及装卡。最后,利用选择的部件搭建了光纤相移点衍射干涉仪实验装置,为最终能够实现光学系统波像差的高精度检测提供了前期的准备。; 关键词高精度检测光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差激光光源光纤; Keywords high accuracy test fiber phase-shifting point diffraction interferometer wavefront aberration of optical system laser source fiber; 分类号 O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双光纤相移点衍射干涉仪装调技术被引量：3: 4; 作者张宇金春水马冬梅王丽萍; 机构东北电力大学理学院中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第1期145-150,共6页; 基金东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218); 文摘为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直,实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度,为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV值为37.82 nm,RMS值为7.83 nm。; 关键词装调技术双光纤相移点衍射干涉仪光学系统波像差光学检测; Keywords alignment technology double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer optical system wavefront aberration optical test; 分类号 TH744.3 [机械工程—光学工程] O436.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于三维测量的双路点衍射干涉系统被引量：3: 5; 作者王道档王志超赵军王朝孔明; 机构中国计量大学计量测试工程学院浙江大学电气工程学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期2146-2153,共8页; 基金国家自然科学基金(51375467 11404312 +4 种基金 51775528 51476154 51404223) 浙江省"仪器科学与技术"重中之重学科开放基金(JL150508)项目资助; 文摘针对在仅有一个光纤对的单路点衍射三维测量系统中,存在平行于条纹的横向方向上测量精度低的问题,提出了用于三维测量的双路点衍射干涉系统。分析了点衍射波前误差、测量探头结构布局以及三维迭代重构算法对于三维测量精度的影响,在此基础上确定点衍射源结构以及探头结构布局等最优系统参数。实验结果显示,单路点衍射干涉三维测量系统在xy方向的精度分别为亚微米量级和微米量级,而双路点衍射干涉仪系统可在三维方向上同时达到亚微米量级,验证了所提出的双路点衍射干涉系统方案的可行性和准确性。所提出的双路点衍射干涉系统有效的实现高精度三维测量,为无导轨三维位移和尺寸等测量提供了一种可行方法。; 关键词三维测量双路点衍射干涉系统亚微米孔径光纤精度点衍射波前; Keywords three-dimensional measurement dual-path point-diffraction interferometer submicron aperture fiber precision point-diffraction wavefront; 分类号 TH741 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	光纤点衍射干涉仪的技术研究	刘国淦张学军王权陡张忠玉郭培基张峰齐涤菲	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	2001	13	在线阅读下载PDF 职称材料
2	极紫外光刻物镜系统波像差检测技术研究	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2012	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	光纤相移点衍射干涉仪关键技术	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2015	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	双光纤相移点衍射干涉仪装调技术	张宇金春水马冬梅王丽萍	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	用于三维测量的双路点衍射干涉系统	王道档王志超赵军王朝孔明	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2017	3	在线阅读下载PDF 职称材料