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Modelling and Identification of a Digital Feed Drive
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作者 LI Sheng, RUAN Jian, YUAN Ju-long, ZHANG Li-bin, JI Shi-ming (College of Mechanical & Electrical Engineering, Zhejinag University of Technology, Hangzhou 310014, China) 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第S1期21-22,共2页
In many cases, the cutting method is usually adopted for the efficient machining of non-circular body of revolution and a feed drive is needed to actuate the cutting tool to and fro according to input signal wave. The... In many cases, the cutting method is usually adopted for the efficient machining of non-circular body of revolution and a feed drive is needed to actuate the cutting tool to and fro according to input signal wave. The feed drive for the purpose is required of fast response and accurate positioning. Both of these are highly dependent upon the actuating elements. Several schemes of actuation are specially interested. One is the introduction of piezoelectric actuation. However, the tiny working stroke of the piezoelectric material limits its application to a narrow range. Another is the application of electro-magnetic actuator. An innovative feed drive actuated by the stepper motor is introduced for the purpose. For a conventional step operating mode, a stepper motor can only be controlled to position at finite discrete points. Thus, when it is applied as an actuator of the feed drive, it is very difficult to maintain high accuracy and fast response. To eliminate quantitative error, the stepper motor is controlled under the continual mode. It is achieved with a micro-controller system and a built-in control algorithm program, called "tracking algorithm". Within each sampling cycle, the micro-controller will sample the input signal and the time interval will be divided into two parts according to the relative position between two adjacent stepping points. The phase coils correspondent to the two adjacent stepping points are energized respectively with calculated time duration. In the way, the motion of the tool frame smoothly tracks the input signal. This paper presents modeling and identification of frequency response of the proposed drive. The dynamic response of the feed drive is manly decided by the natural frequency of the stepper motor. For the conventional small-size stepper motors, the natural frequency is within the range 200~400 Hz. Experimental results show that the stepper motor actuated tool frame can smoothly keep in track of the input signal wave under "tracking control". The bandwidth of frequency of the feed drive exceeds 310 Hz. 展开更多
关键词 feed drive digital control frequency response IDENTIFICATION
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基于混沌改进多策略大猩猩算法优化深度神经网络的直驱进给轴热误差预测
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作者 迟玉伦 余建华 朱文博 《计算机集成制造系统》 北大核心 2025年第11期4105-4118,共14页
针对直驱进给轴热误差预测模型精度不足问题,提出一种基于混沌改进多策略大猩猩算法(CIMGTO)优化深度神经网络(DNN)的直驱进给轴热误差预测方法。为降低温度数据间的多重共线性,采用方差膨胀因子(VIF)逐步法筛选温度敏感点;为提高热误... 针对直驱进给轴热误差预测模型精度不足问题,提出一种基于混沌改进多策略大猩猩算法(CIMGTO)优化深度神经网络(DNN)的直驱进给轴热误差预测方法。为降低温度数据间的多重共线性,采用方差膨胀因子(VIF)逐步法筛选温度敏感点;为提高热误差预测模型精度,使用CIMGTO优化DNN,并建立热误差预测模型。CIMGTO在人工大猩猩部队优化算法(GTO)的基础上引入了混沌变异因子、柯西分布逆累积函数(CICD)和正切飞行算子(TFO),提升了初始种群多样性、算法局部搜索能力和平衡搜索能力。经直线电机龙门测试台架热误差实验数据验证,VIF逐步法筛选温度敏感点有效,且CIMGTO-DNN热误差预测模型拟合精度高,其R^(2)值为0.9961,较BP模型提升了20.96%,较SVR模型提升了10.65%,较DNN模型提升了2.15%,较GTO-DNN模型提升了1.26%,较PSO-DNN模型提升了0.82%。再经直线电机龙门机床热误差实验数据验证,CIMGTO-DNN模型R^(2)值为0.9905,实现了直驱进给轴热误差的高精度预测,为误差补偿提供了数据支撑。 展开更多
关键词 热误差 直驱进给轴 深度神经网络 大猩猩算法
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基于AGC闭环控制的谐振压力传感器自激系统设计与优化
3
作者 黄晶 向路 +1 位作者 陈孟 余华 《压电与声光》 北大核心 2025年第3期590-596,共7页
谐振式压力传感器具有精度高、抗冲击能力强等优点,但其稳定性及快速响应外部压力变化的能力仍面临挑战。针对静电激励/压阻检测式谐振压力传感器,基于自动增益控制(AGC)技术建立了非线性闭环自激系统模型,得到了环路的开环传递函数,系... 谐振式压力传感器具有精度高、抗冲击能力强等优点,但其稳定性及快速响应外部压力变化的能力仍面临挑战。针对静电激励/压阻检测式谐振压力传感器,基于自动增益控制(AGC)技术建立了非线性闭环自激系统模型,得到了环路的开环传递函数,系统主极点由谐振器参数决定,次极点由AGC环路低通滤波器参数决定。为了平衡AGC环路低通滤波器、环路稳定性和系统起振速度对次极点不同的要求,提出了多路径前馈补偿技术,使系统稳定时间缩短至150 ms,且系统起振时的激励波形和移相器的输出波形无过冲出现,显著增强了系统的稳定性,测试结果表明传感器的测量精度优于0.03%FS。 展开更多
关键词 谐振式压力传感器 自动增益控制 线性模型 多路径前馈补偿 闭环驱动电路
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滚珠丝杠进给系统混合建模及其振动时变性分析 被引量:19
4
作者 董亮 汤文成 刘立 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第20期196-202,共7页
为了研究滚珠丝杠进给系统的振动特性,提出了一种混合建模方法,将丝杠作为分布参数模型,其余部件作为集中参数模型。应用功率平衡法和Ritz级数法,建立了滚珠丝杠进给系统的轴向、扭转和弯曲振动模型,并推导了系统的刚度、质量和阻尼矩... 为了研究滚珠丝杠进给系统的振动特性,提出了一种混合建模方法,将丝杠作为分布参数模型,其余部件作为集中参数模型。应用功率平衡法和Ritz级数法,建立了滚珠丝杠进给系统的轴向、扭转和弯曲振动模型,并推导了系统的刚度、质量和阻尼矩阵。数值仿真分析了进给系统振动随工作台位置和质量变化的时变特性,并获得了不同工作台位置下的振型。研究表明工作台位置和质量变化对轴向振动的影响较大,对扭转振动影响较小,且工作台位置对弯曲振动影响较大。实验结果表明该混合模型能够准确预测系统的振动特性。 展开更多
关键词 滚珠丝杠 驱动系统 振动 混合建模
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直线电机伺服进给系统及其关键技术问题 被引量:20
5
作者 张春良 陈子辰 梅德庆 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2001年第11期37-40,共4页
介绍了直线电机的发展历程以及在高速精密机床上应用直线电机伺服进给系统的进展情况 ,讨论了直线电机伺服进给系统的一些关键技术问题。
关键词 直线电机 机床 进给系统 伺服系统
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高速高精度数控进给驱动的机电联合系统仿真 被引量:19
6
作者 周勇 陈吉红 彭芳瑜 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2007年第2期135-139,共5页
结合C++语言、Matlab软件和ADAMS软件,从整体上设计了一种复杂机电系统仿真方案,建立了数控进给驱动系统的机电联合仿真平台。该仿真方案包括了复杂运动指令的生成、交流伺服控制和多体系统动力学。利用所建立的联合仿真平台对数控进给... 结合C++语言、Matlab软件和ADAMS软件,从整体上设计了一种复杂机电系统仿真方案,建立了数控进给驱动系统的机电联合仿真平台。该仿真方案包括了复杂运动指令的生成、交流伺服控制和多体系统动力学。利用所建立的联合仿真平台对数控进给驱动动态特性进行了仿真分析,并与实验结果进行了对比,最后对两种典型的加减速指令方法进行了仿真比较。表明该仿真平台能够分析和评价高速高精度数控进给驱动的整体动态特性,为数控进给驱动的整体设计提供参考。 展开更多
关键词 进给驱动 机电系统 联合仿真平台
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基于SIMULINK的伺服进给系统仿真模型与分析 被引量:8
7
作者 孙军 刘伟 +2 位作者 田龙 朱伟 汤海伦 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2013年第3期80-83,共4页
为了方便和准确的研究影响数控机床伺服进给系统性能的各种因素以及设计更加优良性能的系统,在分析一般数控机床伺服进给系统基础之上,依据经典机械动力学原理,建立了一种伺服进给系统的仿真模型。利用Matlab/Simulink仿真工具对影响该... 为了方便和准确的研究影响数控机床伺服进给系统性能的各种因素以及设计更加优良性能的系统,在分析一般数控机床伺服进给系统基础之上,依据经典机械动力学原理,建立了一种伺服进给系统的仿真模型。利用Matlab/Simulink仿真工具对影响该系统的系统刚度、工作台质量以及间隙、摩擦力、切削力等因素进行了综合的动态仿真,得到了工作台输出速度和输出位移的响应曲线。结果表明,采用所建模型,可以快速有效的对系统进行动态模拟仿真,并且能够很直观的观察和对比仿真结果,得到的相应结论对以后伺服进给系统的优化提升和设计改造具有一定的实用价值和参考价值。 展开更多
关键词 数控机床 伺服进给系统 仿真模型
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滚珠丝杠进给系统动态特性集中质量建模与仿真 被引量:23
8
作者 罗亮 张为民 +1 位作者 周敏剑 Jurgen Fleischer 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期370-377,共8页
为了研究高速滚珠丝杠进给系统的动态特性,提出一种改进的集中质量建模方法,该方法考虑了滚珠丝杠进给系统基座的质量、柔性及进给系统部件间反向间隙对系统动态特性的影响,并完善了滚珠丝杠进给系统集中质量模型等效参数的计算方法。以... 为了研究高速滚珠丝杠进给系统的动态特性,提出一种改进的集中质量建模方法,该方法考虑了滚珠丝杠进给系统基座的质量、柔性及进给系统部件间反向间隙对系统动态特性的影响,并完善了滚珠丝杠进给系统集中质量模型等效参数的计算方法。以MAG某加工中心X轴滚珠丝杠进给系统为实验对象,对该集中质量模型建模方法进行实验验证,仿真结果与实测结果具有相同数量的特征频率,且特征频率的误差在5%以内。滚珠丝杠进给系统的仿真分析表明,螺母位置改变引起的进给系统固有频率变化将影响伺服系统的稳定性,滚珠丝杠进给系统中的反向间隙会激励部件产生高频振动,给进给系统带来不利影响。 展开更多
关键词 滚珠丝杠 进给系统 动态特性 反向间隙 集中质量
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进给驱动机构轴向振动与滚珠丝杠滚振研究 被引量:7
9
作者 周勇 许学三 +1 位作者 王国贤 曹小华 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期4069-4073,共5页
考虑扭转和轴向振动的滚珠丝杠副进给驱动机构建立动力学模型,对其固有动力学特性进行数值计算,提出进给驱动系统复杂振动中滚振的概念。利用MATLAB和ADAMS软件建立滚珠丝杠副进给驱动系统机电联合仿真平台,利用高分辨率旋转编码器和直... 考虑扭转和轴向振动的滚珠丝杠副进给驱动机构建立动力学模型,对其固有动力学特性进行数值计算,提出进给驱动系统复杂振动中滚振的概念。利用MATLAB和ADAMS软件建立滚珠丝杠副进给驱动系统机电联合仿真平台,利用高分辨率旋转编码器和直线光栅尺等建立其动力学特性实验平台,对系统轴向和扭转动力学特性进行仿真分析与实验测量。实验结果表明:进给驱动机构第一阶模态在移动部件轴向振动的同时还存在滚珠丝杠的滚振,此滚振虽不会引起丝杠的扭转变形,但因其包含在伺服控制环之内,且频率较低、能量较大,会严重限制伺服控制带宽并影响其稳定性,在高性能进给驱动系统的设计中必须对此加以重视。 展开更多
关键词 滚珠丝杠 进给驱动 轴向振动 滚振
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考虑摩擦和间隙的柔性滚珠丝杠进给系统建模与分析 被引量:6
10
作者 董亮 汤文成 刘立 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期300-307,共8页
为了研究高速滚珠丝杠进给伺服系统的动态特性,提出了一种建立进给系统机械子系统振动模型的混合建模方法,采用带有轴向和扭转自由度的欧拉-伯努利梁单元描述丝杠的轴向、扭转和弯曲振动,采用集中参数方法描述交流伺服驱动子系统和进给... 为了研究高速滚珠丝杠进给伺服系统的动态特性,提出了一种建立进给系统机械子系统振动模型的混合建模方法,采用带有轴向和扭转自由度的欧拉-伯努利梁单元描述丝杠的轴向、扭转和弯曲振动,采用集中参数方法描述交流伺服驱动子系统和进给系统的其余部件,建立了包含摩擦、间隙非线性因素及外切削力干扰的柔性进给系统模型。实验证明了混合模型能够较准确反映机械系统的振动特性。在此基础上,数值仿真分析表明,低速运动中摩擦和间隙非线性会导致进给系统产生较大的速度波动,在高速运动中机械系统的轴向和扭转振动会导致进给系统不稳定。 展开更多
关键词 高速滚珠丝杠 进给系统 振动 混合模型
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基于激光干涉仪的旋转轴误差快速检定方法 被引量:24
11
作者 皮世威 刘强 孙鹏鹏 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2484-2491,共8页
为了提升五轴数控机床各旋转轴精度,解决旋转轴几何误差难以测量的问题,提出了一种基于激光干涉仪的旋转轴几何精度快速测量方法。该方法针对AC双转台和BC摆头转台的结构特性,采用旋转轴与直线轴联动的测量技术,可以避免传统测量方法对... 为了提升五轴数控机床各旋转轴精度,解决旋转轴几何误差难以测量的问题,提出了一种基于激光干涉仪的旋转轴几何精度快速测量方法。该方法针对AC双转台和BC摆头转台的结构特性,采用旋转轴与直线轴联动的测量技术,可以避免传统测量方法对旋转轴中心的依赖性,推导了测量中直线轴转角误差与直线度对旋转轴几何误差约束关系,在保证精度的同时减少了测量过程中的设备安装调试时间,实现了五轴机床旋转轴转角误差、重复转角误差以及反向间隙的快速测量和补偿。对实际五轴机床AC双转台几何精度进行检定,提高了旋转轴的几何精度,实验证明该测量方法具有很强的工程应用价值。 展开更多
关键词 五轴机床 旋转轴 激光测量 精度补偿
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基于ADAMS和MATLAB的数控机床进给驱动系统的机电联合仿真 被引量:12
12
作者 赵大兴 杨勇 +2 位作者 许万 丁国龙 彭玲 《机床与液压》 北大核心 2014年第10期28-31,共4页
根据机械多刚体动力学理论建立数控机床进给驱动系统的数学模型,利用机械系统动力学分析软件ADAMS建立动力学模型、C++编写数控进给指令、MATLAB/Simulink建立数控机床进给驱动系统Simulink仿真模型,结合三者实现机床的机电联合仿真。... 根据机械多刚体动力学理论建立数控机床进给驱动系统的数学模型,利用机械系统动力学分析软件ADAMS建立动力学模型、C++编写数控进给指令、MATLAB/Simulink建立数控机床进给驱动系统Simulink仿真模型,结合三者实现机床的机电联合仿真。仿真分析结果表明:该仿真平台能用来分析进给驱动伺服系统的动态特性,为物理样机进给系统的设计与调试提供可靠的参考依据。 展开更多
关键词 多刚体动力学 进给驱动 机电联合仿真
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数控机床进给单元滚动结合部轴向动态特性参数识别 被引量:6
13
作者 朱坚民 张统超 +1 位作者 王健 李孝茹 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2015年第16期1-7,13,共8页
针对现有结合部参数识别方法不能精确识别装配状态下数控机床进给单元滚动结合部动态特性参数问题,提出进给单元装配状态下滚动结合部轴向动态特性参数识别方法。将丝杠简化为弹性杆件以建立简谐力作用下丝杠及工作台的轴向振动方程,基... 针对现有结合部参数识别方法不能精确识别装配状态下数控机床进给单元滚动结合部动态特性参数问题,提出进给单元装配状态下滚动结合部轴向动态特性参数识别方法。将丝杠简化为弹性杆件以建立简谐力作用下丝杠及工作台的轴向振动方程,基于该方程建立结合部轴向刚度与阻尼参数识别模型;通过实验测量丝杠支撑点间距离、简谐激振力频率及幅值、丝杠轴端截面轴向振动速度幅值等参数建立识别方程组;基于遗传算法优化求解该方程组,识别出滚动结合部轴向动态特性参数。以自行研制的滚珠丝杠进给实验台为研究对象,基于该方法对其左、右端轴承组及滚珠丝杠副结合部轴向刚度、阻尼参数进行识别,并对识别结果的正确性进行实验验证。结果表明所提方法正确、有效,丝杠轴端截面轴向振动速度幅值的理论计算值与实验测试值绝对误差在7.7μm/s以内,参数识别精度较高。 展开更多
关键词 滚珠丝杠进给单元 滚动结合部 动态特性参数识别 振动测试 遗传算法
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滚珠丝杠进给系统仿真建模 被引量:15
14
作者 王永强 张承瑞 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期46-49,55,共5页
为在设计阶段获得滚珠丝杠进给系统相对精确的二阶数学模型,提出基于Lyapunov稳定性理论建立模型参考自适应系统,以二阶系统为参考模型,以理论模型为控制对象的仿真建模方法。结合实例,建立考虑粘性摩擦和传动刚度的滚珠丝杠进给系统理... 为在设计阶段获得滚珠丝杠进给系统相对精确的二阶数学模型,提出基于Lyapunov稳定性理论建立模型参考自适应系统,以二阶系统为参考模型,以理论模型为控制对象的仿真建模方法。结合实例,建立考虑粘性摩擦和传动刚度的滚珠丝杠进给系统理论模型,运用MATLAB/Simulink建立模型参考自适应系统仿真模型,并用仿真结果推导出进给系统二阶数学模型。结果表明:二阶模型的输出能很好地跟踪理论模型输出;对两模型输入1ms单位脉冲信号时,相对误差在0.314%以内。 展开更多
关键词 滚珠丝杠 进给系统 仿真建模 LYAPUNOV稳定性理论 模型参考自适应系统
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参数自调整Fuzzy-PID对数控机床进给系统的研究 被引量:5
15
作者 刘学鹏 梅雪松 吴序堂 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2004年第1期40-42,54,共4页
描述了数控机床进给系统的模型 ,将PID参数自适应调整与模糊控制相结合 ,得到模糊PID调节器 ,它具有单输入、双参数可调的特点。同时模糊增益和PID增益相互影响。该控制器有效地控制数控机床进给系统 ,具有很强的鲁棒性 ,提高了系统的... 描述了数控机床进给系统的模型 ,将PID参数自适应调整与模糊控制相结合 ,得到模糊PID调节器 ,它具有单输入、双参数可调的特点。同时模糊增益和PID增益相互影响。该控制器有效地控制数控机床进给系统 ,具有很强的鲁棒性 ,提高了系统的各项指标。适用范围广。 展开更多
关键词 Fuzzy—PID 数控机床 进给系统
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基于重心驱动的设计方法研究及其在高性能机床开发中的应用 被引量:3
16
作者 关晓勇 刘春时 +1 位作者 徐志祥 李焱 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第18期2170-2174,共5页
论证了双驱动系统并不是解决重心驱动技术应用的唯一性优化方案,提出了通过驱动力的方向选择、零部件重量的合理分布等使Steiner距离得到有效抑制以实现重心驱动的方法。在此基础上,将单驱动系统引入设计,丰富了重心驱动的内涵。最后,... 论证了双驱动系统并不是解决重心驱动技术应用的唯一性优化方案,提出了通过驱动力的方向选择、零部件重量的合理分布等使Steiner距离得到有效抑制以实现重心驱动的方法。在此基础上,将单驱动系统引入设计,丰富了重心驱动的内涵。最后,将基于重心驱动的设计方法应用于一款模具加工中心的改进设计,通过对其精度的分析,证明了所提观点的合理性。 展开更多
关键词 机床设计 驱动系统 误差抑制 重心驱动技术
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滚珠丝杠进给系统轴向一阶固有频率量变规律 被引量:4
17
作者 王永强 张承瑞 翟鹏 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 北大核心 2013年第1期58-62,共5页
为了定量分析高速机床进给系统部件参数对一阶固有频率的影响,将滚珠丝杠看作弹性杆件,运用拉格朗日方程建立了进给系统轴向运动的动力学模型;利用MATLAB软件对其固有频率进行了求解,给出了进给系统参数变化与轴向一阶固有频率的关系曲... 为了定量分析高速机床进给系统部件参数对一阶固有频率的影响,将滚珠丝杠看作弹性杆件,运用拉格朗日方程建立了进给系统轴向运动的动力学模型;利用MATLAB软件对其固有频率进行了求解,给出了进给系统参数变化与轴向一阶固有频率的关系曲线.结合实例分析了工作台质量、各部件刚度变化对轴向一阶固有频率的影响,发现工作台质量和丝杠螺母刚度是轴向一阶固有频率的主要影响因素.计算结果表明,工作台质量减小10%,轴向一阶固有频率提高4.94%;丝杠螺母刚度提高10%,轴向一阶固有频率提高2.5%. 展开更多
关键词 滚珠丝杠 进给系统 固有频率 丝杠螺母刚度 工作台质量 拉格朗日方程 动力学模型
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数控进给驱动动态性能的快速测试与评价方法 被引量:3
18
作者 周勇 陈吉红 +1 位作者 彭芳瑜 胡俊 《工具技术》 北大核心 2007年第6期41-43,共3页
提出一种数控进给驱动动态性能的测试和评价方法。该方法以标准位置斜坡信号作为数控进给驱动系统输入,利用Heidenhain平面光栅测试工作台响应,利用提出的动态性能指标对测试结果进行评价。测试与评价实例的结果表明,该方法能快速而有... 提出一种数控进给驱动动态性能的测试和评价方法。该方法以标准位置斜坡信号作为数控进给驱动系统输入,利用Heidenhain平面光栅测试工作台响应,利用提出的动态性能指标对测试结果进行评价。测试与评价实例的结果表明,该方法能快速而有效地测试和评价数控机床动态性能,为伺服参数的优化调整和机床的优化设计提供依据,并能比较不同数控机床的动态性能。 展开更多
关键词 数控进给驱动 Heidenhain平面光栅 动态性能 测试 评价
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双驱伺服进给系统热误差的试验测量与预测模型构建 被引量:17
19
作者 杨军 施虎 +3 位作者 梅雪松 冯斌 赵亮 张小红 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期53-59,共7页
为了研究双驱伺服进给系统热特性对数控机床精度的影响,建立了二元非线性综合热误差模型。以精密坐标镗床为对象,在不同进给速度下,利用激光干涉仪、红外热像仪及温度位移采集系统进行同步测量,对整机温度场分布、热变形的变化进行测试... 为了研究双驱伺服进给系统热特性对数控机床精度的影响,建立了二元非线性综合热误差模型。以精密坐标镗床为对象,在不同进给速度下,利用激光干涉仪、红外热像仪及温度位移采集系统进行同步测量,对整机温度场分布、热变形的变化进行测试,分析进给系统热误差与丝杠特征温度、位置坐标及热平衡时间的非线性映射关系。结果表明:双驱结构易造成温度场梯度分布不均匀而产生热变形,热误差与丝杠特征温度成指数关系,且与坐标位置成线性关系;进给轴位置距离电机越远,定位精度越低,热误差越大,且热误差及热平衡时间随进给速度的提高而递增;热误差模型预测精度可达85%,对不同工况具有较好的通用性。 展开更多
关键词 双驱进给系统 热变形 温度场 热误差模型
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微小型电极蠕动进给在电火花加工中的应用 被引量:4
20
作者 冯晓光 詹涵菁 +3 位作者 赵万生 栗岩 管淑娟 董新伟 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第8期15-17,共3页
根据电火花微小孔加工的特点,利用WTDS型电致伸缩微位移器件驱动,根据仿生学的蠕动原理,研制一个尺寸为80mm×60mm×40mm的整体式电极直接驱动机构,由计算机控制可实现电极纳米尺度上的精确进给,并成功地应用到电火花加工中。
关键词 电极蠕动进给 驱动机构 压电陶瓷 电火花加工
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