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钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学
被引量：
9
1
作者
胡传胜
袁泽喜
《武汉冶金科技大学学报》
1996年第4期418-423,共6页
应用物质自由焓函数法（函数法）及化学反应平衡常数Ｋｐ，对ＴｉＣｌ２，ＴｉＣｌ３和ＴｉＣｌ４的生成反应以及它们与Ｎ２和Ｈ２反应化学气相沉积ＴｉＮ的热力学进行了计算与分析。结果表明，用ＴｉＣｌ３与Ｎ２和Ｈ２的气相反应，...
应用物质自由焓函数法（函数法）及化学反应平衡常数Ｋｐ，对ＴｉＣｌ２，ＴｉＣｌ３和ＴｉＣｌ４的生成反应以及它们与Ｎ２和Ｈ２反应化学气相沉积ＴｉＮ的热力学进行了计算与分析。结果表明，用ＴｉＣｌ３与Ｎ２和Ｈ２的气相反应，能在较低温度下获得ＴｉＮ。
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关键词
热力学
金属
氮化钛
涂层
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职称材料
题名
钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学
被引量：
9
1
作者
胡传胜
袁泽喜
机构
材料工程与科学学院
出处
《武汉冶金科技大学学报》
1996年第4期418-423,共6页
基金
湖北省科学基金
文摘
应用物质自由焓函数法（函数法）及化学反应平衡常数Ｋｐ，对ＴｉＣｌ２，ＴｉＣｌ３和ＴｉＣｌ４的生成反应以及它们与Ｎ２和Ｈ２反应化学气相沉积ＴｉＮ的热力学进行了计算与分析。结果表明，用ＴｉＣｌ３与Ｎ２和Ｈ２的气相反应，能在较低温度下获得ＴｉＮ。
关键词
热力学
金属
氮化钛
涂层
Keywords
CVD
thermodynamics
φ function method
equilibrium constant k p
分类号
TG111.3 [金属学及工艺—物理冶金]
TG174.425 [金属学及工艺—金属表面处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
钛的氯化物化学气相沉积TiN热力学
胡传胜
袁泽喜
《武汉冶金科技大学学报》
1996
9
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