-
题名椭偏法测光栅参数的可行性理论研究
被引量：9
- 1
-
-
作者
卢向东
傅克祥
王植恒
麻建勇
-
机构
四川大学物理科学与技术学院
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第1期29-31,共3页
-
文摘
提出一种新的光栅测试方法———利用椭偏仪测量光栅的基本参数 ,同时将求解优化问题的正单纯形法用来反演光栅的椭偏方程。首先假设一种光栅模型 ,计算出不同入射角的椭偏参数 (Δ ,Ψ) ,然后加入偏差量不同的高斯噪声 ,把加入噪声后的值 (Δm,Ψm)作为模拟测量值 ,采用正单纯形法进行求解。验证得知由这种方法求得的光栅参数接近假设的光栅参数值。反演结果表明 ,在扩大搜索范围时 ,仍可以在一定精度范围内得到准确解 。
-
关键词
光栅
椭偏测量术
正弦形光栅
正单纯形法
参数测量
-
Keywords
ellipsometry,sinusoidal gratings,normal simplex algorithm
-
分类号
TN25
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名用透射光谱法测光栅参数的数值模拟
被引量：1
- 2
-
-
作者
张丽娟
傅克祥
李建龙
麻健勇
谢金
-
机构
四川大学物理科学与技术学院
-
出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期42-44,共3页
-
文摘
本文基于光栅的严格理论,提出结合透射光谱和优化算法来测量光栅参数的新方法,首先,利用傅立叶模式理论和反射透射系数递推算法(RTCM) ,计算出在2 0 0 -90 0nm波段内的理论透射光谱图,通过在上面叠加不同偏差的高斯噪声来模拟光栅的实际测量曲线,接着在模拟曲线上任取若干个点作为实验测量值,最后利用优化算法进行反演搜索,找到待测光栅的结构参数。文中我们选择了三种类型的光栅对该法进行数值上的模拟,其结果是成功的。该法可能会给光栅参数的测量指明一条新的途径。
-
关键词
傅立叶模式理论
反射透射系数递推算法
透射光谱法
正单纯形法
高斯噪声
光栅参数
-
Keywords
the Fourier model method
reflection and transmission coefficient matrix method(RTCM)
transmission spectrum method
normal simplex algorithm
Gaussian noise
gratings parameters
-
分类号
O434.19
[机械工程—光学工程]
-
