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MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计被引量：1: 1; 作者高青松郭朝帽 +3 位作者陶院杨雷马动涛张虎忠《真空与低温》 2024年第6期603-609,共7页; 为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,... 展开更多; 关键词 mems 电容薄膜真空计微弱电容电子测量; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究: 2; 作者王绥辉徐恒通 +4 位作者李刚韩晓东孙雯君成永军李得天《真空与低温》 2024年第2期105-111,共7页; 静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表... 展开更多; 关键词静电力平衡式mems电容薄膜真空计微小电容检测交流激励式抗驱动电压干扰; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS型电容薄膜真空计研究进展被引量：13: 3; 作者李得天孙雯君 +3 位作者成永军袁征难曹生珠高青松《真空与低温》 2017年第2期63-67,共5页; 目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重,不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计,能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化,突破了传统电容薄膜真空计外... 展开更多; 关键词真空测量 mems 电容薄膜真空计; 在线阅读下载PDF 职称材料

差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试被引量：6: 4; 作者李刚韩晓东 +5 位作者李得天成永军孙雯君柯鑫冯勇建许马会《真空与低温》 2020年第1期17-20,共4页; 提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度... 展开更多; 关键词 mems技术差压式电容薄膜真空规; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS电容薄膜真空计关键技术研究被引量：4: 5; 作者李刚韩晓东 +1 位作者周超李得天《真空与低温》 2022年第4期403-408,共6页; 为了实现真空测量仪器的小型化,开展了MEMS电容薄膜真空计的研制。首先研制了差压式结构,以验证感压薄膜的性能,之后研制了绝压式结构,通过不断优化迭代,最后完成绝压式MEMS电容薄膜真空计样机研制。性能测试结果表明,真空计的测量范围... 展开更多; 关键词 mems技术电容薄膜真空计关键技术; 在线阅读下载PDF 职称材料

采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计被引量：3: 6; 作者王呈祥韩晓东 +3 位作者李得天成永军孙雯君李刚《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第1期88-93,共6页; 感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力... 展开更多; 关键词 mems 电容薄膜真空规高灵敏度宽测量范围; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS电容薄膜真空计及其性能研究被引量：2: 7; 作者韩晓东李刚 +1 位作者冯勇建李得天《真空与低温》 2022年第4期397-402,共6页; 基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种新型电容薄膜真空计,结合测量电路,对真空计的整体性能进行了研究。结果表明,MEMS电容薄膜真空计具有良好的稳定性,测量范围为0.2~1050 Pa,分辨率为0.1 Pa,准确度达到0.1%FS。封装后的MEMS电容薄膜... 展开更多; 关键词 mems 电容薄膜真空计小型化; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空计的发展概况与趋势被引量：10: 8; 作者梁平李杰 +1 位作者戴佳鑫干蜀毅《真空与低温》 2011年第1期53-57,62,共6页; 真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异。真空计的微型化是其主要发展趋势。概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想。; 关键词真空计真空测量微机电系统电容薄膜真空计; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计被引量：1: 1; 作者高青松郭朝帽陶院杨雷马动涛张虎忠; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《真空与低温》 2024年第6期603-609,共7页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。; 文摘为了满足空间环境探测对真空测量仪器准确度高、体积小、质量轻、功耗低的应用需求,基于微机电系统(MEMS)的小型化电容薄膜真空计应运而生。针对MEMS电容薄膜真空计微小电容测量需求,设计了一种基于CDC电容数字转换器的微电容检测系统,获得了fF级微电容检测分辨率。采用温度漂移误差自校准技术,解决了测量压力受温度扰动影响的问题。地面样机测试与验证表明,该检测系统具有宽量程、高分辨率和低功耗检测的优点,为MEMS电容薄膜真空计实现空间应用奠定了技术基础。; 关键词 mems 电容薄膜真空计微弱电容电子测量; Keywords mems capacitance diaphragm vacuum gauges micro capacitance electronic measurement; 分类号 TB771 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究: 2; 作者王绥辉徐恒通李刚韩晓东孙雯君成永军李得天; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《真空与低温》 2024年第2期105-111,共7页; 基金国家重点研发计划(2023YFF0717200)。; 文摘静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计量程宽、稳定性高,具有广阔的应用前景。测量电路是保证静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计性能的关键因素。采用交流激励式检测方法,设计了一种微小电容检测电路,并利用软件仿真和实验测试进行验证。结果表明,该电路能够快速检测微小电容并将其转换为直流电压信号,分辨率为0.33 V/pF。此外,抗驱动电压干扰测试表明,该电路能够在1~100 V范围的直流驱动电压下正常工作,电容测量的输出电压最大标准差为0.010 249 V,并且具有优异的稳定性。; 关键词静电力平衡式mems电容薄膜真空计微小电容检测交流激励式抗驱动电压干扰; Keywords electrostatic servo mems capacitance diaphragm gauge micro-capacitance detection AC excitation type anti-drive voltage interference; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS型电容薄膜真空计研究进展被引量：13: 3; 作者李得天孙雯君成永军袁征难曹生珠高青松; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《真空与低温》 2017年第2期63-67,共5页; 基金国家自然科学基金国家重大科研仪器研制项目(61627805); 文摘目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重,不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计,能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化,突破了传统电容薄膜真空计外形及质量限制,具有体积小、重量轻、功耗低、便于集成化等优点,成为真空测量仪器研究的热点,能更好地满足特殊条件下的真空测量需求。文章对MEMS型电容薄膜真空计的发展现状、技术特点等进行了探讨研究,并对其发展前景提出展望。; 关键词真空测量 mems 电容薄膜真空计; Keywords vacuum measurement mems capacitance diaphragm vacuum gauge; 分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试被引量：6: 4; 作者李刚韩晓东李得天成永军孙雯君柯鑫冯勇建许马会; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室厦门大学航空航天学院; 出处《真空与低温》 2020年第1期17-20,共4页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805); 文摘提出了一种基于MEMS技术的差压式电容薄膜真空规设计方案。通过有限元分析软件建立了仿真模型,对感压薄膜尺寸和电极间距离进行了优化。根据优化结果,完成了真空规的研制和性能测试。测试结果表明,测量范围下限5 Pa,上限1000 Pa,灵敏度优于10 fF/Pa,测试曲线可以实现分段线性。; 关键词 mems技术差压式电容薄膜真空规; Keywords mems differential pressure design capacitance diaphragm gauge; 分类号 T8771 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS电容薄膜真空计关键技术研究被引量：4: 5; 作者李刚韩晓东周超李得天; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室厦门大学航空航天学院; 出处《真空与低温》 2022年第4期403-408,共6页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。; 文摘为了实现真空测量仪器的小型化,开展了MEMS电容薄膜真空计的研制。首先研制了差压式结构,以验证感压薄膜的性能,之后研制了绝压式结构,通过不断优化迭代,最后完成绝压式MEMS电容薄膜真空计样机研制。性能测试结果表明,真空计的测量范围为0.2~103 Pa,分辨率0.1 Pa,全量程准确度0.1%FS。对研制过程中解决的关键技术,如“平整大宽厚比感压薄膜制备”“非蒸散型吸气剂薄膜制备”“传感器封装”等进行了介绍,并对未来工作进行了展望。; 关键词 mems技术电容薄膜真空计关键技术; Keywords mems capacitance diaphragm gauge key technology; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计被引量：3: 6; 作者王呈祥韩晓东李得天成永军孙雯君李刚; 机构兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第1期88-93,共6页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805) 五院CAST基金项目; 文摘感压薄膜的结构改良能有效改善MEMS电容薄膜真空规的压力-电容输出特性。为解决MEMS电容薄膜真空规宽量程与高灵敏度相矛盾的问题,设计一种环形结构的感压薄膜,利用有限元的方法分析对比5种环形结构的感压薄膜在不同压力下的变形与应力分布情况。分析认为,同心圆结构的感压薄膜具有最优异的性能,同等感测面积情况下真空规的压力-电容线性输出测量上限能从圆片结构的1.1×103 Pa延伸到同心圆结构的1.2×104 Pa,圆片结构感压薄膜的真空规在1～800 Pa区间内的压力-电容输出非线性度为3.9%,灵敏度为10.1 fF·Pa–1;同心圆结构感压薄膜的真空规结构在1～8 000 Pa区间内的非线性度为3.6%,灵敏度为1.3 fF·Pa–1。; 关键词 mems 电容薄膜真空规高灵敏度宽测量范围; Keywords mems capacitive diaphragm vacuum gauge high sensitivity wide measurement range; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术] TM934.2 [电气工程—电力电子与电力传动]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS电容薄膜真空计及其性能研究被引量：2: 7; 作者韩晓东李刚冯勇建李得天; 机构厦门大学航空航天学院兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室; 出处《真空与低温》 2022年第4期397-402,共6页; 基金国家自然科学基金重大科研仪器研制项目(61627805)。; 文摘基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种新型电容薄膜真空计,结合测量电路,对真空计的整体性能进行了研究。结果表明,MEMS电容薄膜真空计具有良好的稳定性,测量范围为0.2~1050 Pa,分辨率为0.1 Pa,准确度达到0.1%FS。封装后的MEMS电容薄膜真空计质量为5.0 g,体积为4.1 cm^(3),整机功耗为2 W左右,具有质量轻、体积小、功耗低、成本低的特点,在空间应用以及工业生产应用中比传统的机械式电容薄膜真空计更具优势。; 关键词 mems 电容薄膜真空计小型化; Keywords mems capacitance diaphragm gauge miniaturization; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空计的发展概况与趋势被引量：10: 8; 作者梁平李杰戴佳鑫干蜀毅; 机构合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与装备系; 出处《真空与低温》 2011年第1期53-57,62,共6页; 文摘真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异。真空计的微型化是其主要发展趋势。概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想。; 关键词真空计真空测量微机电系统电容薄膜真空计; Keywords vacuum gauge vacuum measurement mems capacitance diaphragm gauge（CDG）; 分类号 TB772 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	MEMS电容薄膜真空计微电容检测系统的设计	高青松郭朝帽陶院杨雷马动涛张虎忠	《真空与低温》	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	静电力平衡式MEMS电容薄膜真空计检测电路研究	王绥辉徐恒通李刚韩晓东孙雯君成永军李得天	《真空与低温》	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	MEMS型电容薄膜真空计研究进展	李得天孙雯君成永军袁征难曹生珠高青松	《真空与低温》	2017	13	在线阅读下载PDF 职称材料
4	差压式MEMS电容薄膜真空规的设计与测试	李刚韩晓东李得天成永军孙雯君柯鑫冯勇建许马会	《真空与低温》	2020	6	在线阅读下载PDF 职称材料
5	MEMS电容薄膜真空计关键技术研究	李刚韩晓东周超李得天	《真空与低温》	2022	4	在线阅读下载PDF 职称材料
6	采用环形感压薄膜的MEMS电容薄膜真空规设计	王呈祥韩晓东李得天成永军孙雯君李刚	《中国测试》 CAS 北大核心	2019	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	MEMS电容薄膜真空计及其性能研究	韩晓东李刚冯勇建李得天	《真空与低温》	2022	2	在线阅读下载PDF 职称材料
8	真空计的发展概况与趋势	梁平李杰戴佳鑫干蜀毅	《真空与低温》	2011	10	在线阅读下载PDF 职称材料