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一种分时差分的频率调制MEMS加速度计被引量：1: 1; 作者汪鹏黄丽斌丁徐锴《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期598-603,612,共7页; 为提升MEMS加速度计温度适应性,设计了频率调制和分时差分方法。基于静电刚度效应,将敏感质量块因加速度产生的位移变化调制成谐振频率的变化,兼顾了位移检测的温度系数较低与谐振频率检测不易受电路噪声干扰的优点,且采用单个谐振器在... 展开更多; 关键词 MEMS加速度计静电刚度频率调制分时差分; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电刚度式谐振微加速度计设计被引量：1: 2; 作者周吴何晓平 +2 位作者苏伟李柏林陈黎丽《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期92-94,97,共4页; 运用梁的横向振动特性分析了梁振动频率与平行板电容形成的静电刚度的关系,并以此设计了静电刚度式谐振微加速度计。在加速度作用下,检测质量产生的惯性力使电容器极板发生位移来改变电容结构的间隙大小,从而使谐振频率发生变化,通过检... 展开更多; 关键词静电刚度谐振微加速度计灵敏度固有频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式微加速度计及其频率测量电路设计与实验被引量：2: 3; 作者刘恒张玉 +1 位作者舒进华杨添熠《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第12期28-33,共6页; 微机械谐振式加速度计具有抗干扰性强、功耗小、可批量生产等优势,但微机械谐振式加速度计的谐振基频和灵敏度都较小,接口测频电路频率分辨率要求高。论文介绍了静电刚度谐振式加速度计的工作原理,并流片封装和开环测试获得了加速度计... 展开更多; 关键词加速度计静电刚度灵敏度频率测量频率漂移; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电负刚度调谐加速度计的力平衡闭环检测控制方法被引量：4: 4; 作者张晶刘雨东 +2 位作者王皓苏岩朱欣华《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期374-380,共7页; 静电负刚度调谐加速度计(EFMA)在设计原理上具有兼顾电容式加速度计和谐振式加速度计相关优点的潜力。然而由于静电刚度对应的极板位移具有明显的非线性效应,使得EFMA在大量程应用中标度因数非线性较差,成为了当前制约EFMA量程提升的重... 展开更多; 关键词静电负刚度调谐加速度计闭环检测力平衡控制标度因数非线性; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微谐振式加速度计的谐振器非线性振动调节与抑制方法被引量：1: 5; 作者张晶朱欣华苏岩《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期637-642,共6页; 在高精度微型惯性制导系统的应用中,基于MEMS工艺制造的硅微谐振式加速度计(SRA)由于其较大的线性量程和较低的控制环路噪声,更容易实现高精度,逐渐成为研究热点。研究发现,SRA高Q值设计的特点使得谐振器极易受到非线性振动的影响,进一... 展开更多; 关键词硅微谐振式加速度计非线性振动非线性刚度幅频响应; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种分时差分的频率调制MEMS加速度计被引量：1: 1; 作者汪鹏黄丽斌丁徐锴; 机构东南大学仪器科学与工程学院东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第6期598-603,612,共7页; 基金装备预研项目(50917020201)。; 文摘为提升MEMS加速度计温度适应性,设计了频率调制和分时差分方法。基于静电刚度效应,将敏感质量块因加速度产生的位移变化调制成谐振频率的变化,兼顾了位移检测的温度系数较低与谐振频率检测不易受电路噪声干扰的优点,且采用单个谐振器在时间上通过刚度切换进行分时差分,从而降低零偏随温度的漂移。通过实验测得,在10 V调谐电压下,加速度计室温下的零偏稳定性为76.79μg。-40℃~60℃全温范围内经过分时差分后得到的频差全温变化量为-0.072 Hz,相较于单个刚度状态下的谐振频率变化约7.7 Hz,减小了约99%,验证了静电刚度频率调制和分时差分的有效性。; 关键词 MEMS加速度计静电刚度频率调制分时差分; Keywords MEMS accelerometer electrostatic stiffness frequency modulation temporal difference; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电刚度式谐振微加速度计设计被引量：1: 2; 作者周吴何晓平苏伟李柏林陈黎丽; 机构西南交通大学机械工程学院中国工程物理研究院电子工程研究所; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2009年第6期92-94,97,共4页; 基金国防预研基金资助项目(51305040201); 文摘运用梁的横向振动特性分析了梁振动频率与平行板电容形成的静电刚度的关系,并以此设计了静电刚度式谐振微加速度计。在加速度作用下,检测质量产生的惯性力使电容器极板发生位移来改变电容结构的间隙大小,从而使谐振频率发生变化,通过检测频率变化量来测量输入加速度的大小。根据加速度计的工作原理说明检测过程中梁的机械刚度保持不变,只与产生静电刚度的电容间隙变化相关,减小了检测信号对机械误差与残余应力的依赖性。运用加工参数进行理论计算得出加速度计的灵敏度为21.17Hz/gn,在CoventorWare2005中进行仿真表明:加速度计的固有频率为23.94 kHz,灵敏度约为20Hz/gn,与理论设计值相近。; 关键词静电刚度谐振微加速度计灵敏度固有频率; Keywords electrostatic stiffness resonant micro accelerometer sensitivity natural frequency; 分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式微加速度计及其频率测量电路设计与实验被引量：2: 3; 作者刘恒张玉舒进华杨添熠; 机构南京信息工程大学电子与信息工程学院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第12期28-33,共6页; 基金国家重点研发计划课题(2019YFC1804704) 住房城乡建设部科学技术项目(2019-K-141)。; 文摘微机械谐振式加速度计具有抗干扰性强、功耗小、可批量生产等优势,但微机械谐振式加速度计的谐振基频和灵敏度都较小,接口测频电路频率分辨率要求高。论文介绍了静电刚度谐振式加速度计的工作原理,并流片封装和开环测试获得了加速度计的谐振频率和品质因数。针对频率检测需求,设计了基于FPGA的高精度频率测量电路(绝对频率误差小于0.1 mHz),实验测试表明加速度计在1000 s内最大频率漂移达到10 mHz,设计的加速度计单振梁灵敏度为109.5 Hz/g,难以实现100μg的分辨率,后续需关注微机械谐振式加速度计的频率漂移抑制问题。; 关键词加速度计静电刚度灵敏度频率测量频率漂移; Keywords accelerometer electrostatic stiffness sensitivity frequency measurement frequency drift; 分类号 TN911 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电负刚度调谐加速度计的力平衡闭环检测控制方法被引量：4: 4; 作者张晶刘雨东王皓苏岩朱欣华; 机构南京理工大学机械工程学院; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第3期374-380,共7页; 基金江苏省自然科学基金(青年基金)(BK20190417) 南京理工大学自主科研专项(30920021110) 机械工程学院青年人才助推计划(309201B8805)。; 文摘静电负刚度调谐加速度计(EFMA)在设计原理上具有兼顾电容式加速度计和谐振式加速度计相关优点的潜力。然而由于静电刚度对应的极板位移具有明显的非线性效应,使得EFMA在大量程应用中标度因数非线性较差,成为了当前制约EFMA量程提升的重要因素。基于EFMA频率输出的特点,推导了力平衡控制量并开展了力平衡控制环路的设计与研究;结合EFMA敏感器件完成实验室样机的调试与性能测试,对比了有、无力平衡闭环检测电路的量程与标度因数非线性,在保证EFMA零偏稳定性、标度因数稳定性不受影响的情况下将其标度因数从5 Hz/g提升到了24.5 Hz/g,量程从±1 g提升到了±25 g,结果验证了基于频率检测的力平衡闭环检测控制方法的可行性和优越性。; 关键词静电负刚度调谐加速度计闭环检测力平衡控制标度因数非线性; Keywords electrostatic negative stiffness frequency modulation accelerometer closed loop detection force balance control scale factor nonlinearity; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微谐振式加速度计的谐振器非线性振动调节与抑制方法被引量：1: 5; 作者张晶朱欣华苏岩; 机构南京理工大学机械工程学院; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2021年第5期637-642,共6页; 基金江苏省自然科学基金(青年基金)(BK20190417) 南京理工大学自主科研专项(30920021110) 机械工程学院青年人才助推计划项目(309201B8805)。; 文摘在高精度微型惯性制导系统的应用中,基于MEMS工艺制造的硅微谐振式加速度计(SRA)由于其较大的线性量程和较低的控制环路噪声,更容易实现高精度,逐渐成为研究热点。研究发现,SRA高Q值设计的特点使得谐振器极易受到非线性振动的影响,进一步产生幅频耦合效应导致SRA的幅度噪声耦合到频率输出噪声,恶化SRA的零偏不稳定性,因此在设计时应尽量避免谐振器非线性振动的干扰。分别从驱动力控制和谐振器的结构设计两个方面对谐振器非线性振动进行了理论分析,在此基础上提出特定Q值与结构下改变谐振器边界条件的方法,将非线性刚度降低为原来的41%,线性振动的最大振幅提升为原来的2.6倍。最后设计实验验证了谐振器的非线性刚度和幅频响应,理论模型与实验值误差小于15%。; 关键词硅微谐振式加速度计非线性振动非线性刚度幅频响应; Keywords frequency modulated accelerometer(SRA) nonlinear vibration nonlinear stiffness amplitude-frequency response; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	一种分时差分的频率调制MEMS加速度计	汪鹏黄丽斌丁徐锴	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2024	1	在线阅读下载PDF 职称材料
2	静电刚度式谐振微加速度计设计	周吴何晓平苏伟李柏林陈黎丽	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	谐振式微加速度计及其频率测量电路设计与实验	刘恒张玉舒进华杨添熠	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	静电负刚度调谐加速度计的力平衡闭环检测控制方法	张晶刘雨东王皓苏岩朱欣华	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2021	4	在线阅读下载PDF 职称材料
5	硅微谐振式加速度计的谐振器非线性振动调节与抑制方法	张晶朱欣华苏岩	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料