针状铁素体/马氏体高强度低屈强比双相钢的EBSD研究 被引量：18

1

作者 张丕军 刘相华 王国栋 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期57-59,共3页

应用电子背散射衍射技术研究了具有针状铁素体/马氏体双相组织的高强度低合金钢的显微组织结构,且对其力学性能进行了检验.结果表明,这种钢种的平均晶粒尺寸达到了2μm级,属于细晶粒钢;双相组织中的马氏体相的体积分数为27.6%,铁素体相... 应用电子背散射衍射技术研究了具有针状铁素体/马氏体双相组织的高强度低合金钢的显微组织结构,且对其力学性能进行了检验.结果表明,这种钢种的平均晶粒尺寸达到了2μm级,属于细晶粒钢;双相组织中的马氏体相的体积分数为27.6%,铁素体相的体积分数为70.9%,且两相晶界取向差的半数为小角度晶界,有利于提高材料的塑性性能和形变能力,屈强比达到了0.674.讨论了晶粒尺寸、相体积分数和晶界取向差与材料力学性能的关系. 展开更多

关键词 双相组织 高强度 低屈强比 电子背散射衍射 晶粒尺寸 相体积分数

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金属基复合材料EBSD样品制备方法研究 被引量：6

2

作者 郜鲜辉 林守钢 +2 位作者 赵建全 吴金金 李明辉 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2019年第1期54-59,共6页

为讨论金属基复合材料电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法,本文选用ZrO_2/Ti-6Al-4V陶瓷增强金属基复合材料,比较了经过电解抛光、化学浸蚀、振动抛光后样品的显微形貌,并详细讨论了不同时长振动抛光后的显微形貌、衍射花样衬度、取向... 为讨论金属基复合材料电子背散射衍射(EBSD)样品的制备方法,本文选用ZrO_2/Ti-6Al-4V陶瓷增强金属基复合材料,比较了经过电解抛光、化学浸蚀、振动抛光后样品的显微形貌,并详细讨论了不同时长振动抛光后的显微形貌、衍射花样衬度、取向分布图和花样标定率等。结果表明:振动抛光方法比电解抛光、化学浸蚀更适合金属基复合材料EBSD样品的制备;随着振动时长的增加,花样质量逐渐提高,当振动时长为8h时,EBSD测试标定率可达到97.7%。 展开更多

关键词 金属基复合材料 电子背散射衍射(ebsd) 振动抛光 样品制备

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SPS制备亚微米多晶LaB_6块体的EBSD研究 被引量：2

3

作者 周身林 刘丹敏 张久兴 《电子显微学报》 CAS CSCD 2008年第6期483-486,共4页

用氢直流电弧法制备LaH2纳米粉末,再采用放电等离子烧结(SPS)技术,在压力50 MPa,烧结温度1 400℃~1 600℃条件下制备了LaB6亚微米多晶块体。采用EBSD技术,对LaB6样品表面的晶粒、晶界特征及晶粒取向等进行了测试分析。结果表明,SPS制备... 用氢直流电弧法制备LaH2纳米粉末,再采用放电等离子烧结(SPS)技术,在压力50 MPa,烧结温度1 400℃~1 600℃条件下制备了LaB6亚微米多晶块体。采用EBSD技术,对LaB6样品表面的晶粒、晶界特征及晶粒取向等进行了测试分析。结果表明,SPS制备的LaB6晶粒尺寸为0.14μm^1.10μm,晶粒大小随烧结温度升高而增大。随烧结温度的升高,小角度晶界(微取向差在10°以内)的含量逐渐增加。取向分析表明,SPS烧结LaB6多晶块体形成了几种择优取向。 展开更多

关键词 放电等离子烧结 多晶LaB6 亚微米 ebsd

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亚共晶Al-Si合金初生相的EBSD表征 被引量：1

4

作者 邓超 刘如学 +1 位作者 洪睿 郑江 《电子显微学报》 CAS CSCD 2017年第1期14-17,共4页

利用电子背散射衍射(EBSD)技术对亚共晶Al-Si合金进行了表征。根据晶界成像图与花样质量成像图提取了初生α-Al相的取向数据,通过合理设置晶界临界值与带衬度值均可获得可靠的结构参数统计结果,提取出的初生α-Al相信息可以方便地分析... 利用电子背散射衍射(EBSD)技术对亚共晶Al-Si合金进行了表征。根据晶界成像图与花样质量成像图提取了初生α-Al相的取向数据,通过合理设置晶界临界值与带衬度值均可获得可靠的结构参数统计结果,提取出的初生α-Al相信息可以方便地分析其含量、形态、尺寸、分布以及取向等信息。 展开更多

关键词 AL-SI合金 电子背散射衍射技术(ebsd) 初生相

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爆炸焊接钛合金-双相不锈钢的微观组织特征与力学性能研究

5

作者 刘金涛 朱桂春 +3 位作者 黄佳雯 陈令杰 韩刚 陈翔 《爆破》 北大核心 2025年第1期133-141,150,共10页

随着现代工业的快速发展,对高性能材料的需求日益增加,钛/双相不锈钢复合板凭借其卓越的耐腐蚀性能,展现了广泛的应用前景。本研究通过爆炸焊接制备了TP270C钛合金/SUS821L1高强度双相不锈钢的双金属复合板,并采用金相显微镜、扫描电子... 随着现代工业的快速发展,对高性能材料的需求日益增加,钛/双相不锈钢复合板凭借其卓越的耐腐蚀性能,展现了广泛的应用前景。本研究通过爆炸焊接制备了TP270C钛合金/SUS821L1高强度双相不锈钢的双金属复合板,并采用金相显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、能量色散X射线光谱(EDS)和电子背散射衍射(EBSD)等技术,对复合板的界面微观特征进行了深入分析。此外,还结合力学性能测试对焊接质量进行了评估。研究结果表明:界面沉积能量较低时,焊接界面介于平直界面和波状界面之间;而当界面沉积能量较高时,焊接界面呈波状。两者界面附近均出现了元素扩散和晶粒细化现象。在焊接界面、熔化区域以及绝热剪切带内以完全再结晶为主;靠近焊接界面的位置,钛以部分再结晶为主,双相不锈钢以部分再结晶和变形晶为主。局部热积累促进了熔化层内晶粒的长大,然而,被熔化层“包裹”的钛颗粒出现了晶粒细化。在力学性能测试中,界面沉积能量较高的样品抗剪强度和抗弯强度相对于界面沉积能量较低的样品分别提升了40.33%和4.52%。 展开更多

关键词 爆炸焊接 钛/钢复合板 界面形貌 力学性能 电子背散射衍射(ebsd)

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冷拔高碳钢丝织构演变分析 被引量：6

6

作者 王雷 涂益友 +1 位作者 李凡 黄海波 《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第1期131-135,共5页

利用电子背散射衍射分析(EBSD)方法对高碳钢丝拉拔及再结晶过程织构的演变过程及织构分布进行了研究.研究发现随钢丝应变量的增加,钢丝中除了典型的〈110〉丝织构外,还存在比较明显的〈112〉织构,并且随着应变量的增加〈110〉织构的强... 利用电子背散射衍射分析(EBSD)方法对高碳钢丝拉拔及再结晶过程织构的演变过程及织构分布进行了研究.研究发现随钢丝应变量的增加,钢丝中除了典型的〈110〉丝织构外,还存在比较明显的〈112〉织构,并且随着应变量的增加〈110〉织构的强度逐渐增加;同时,在ε=1.9时,钢丝表层〈110〉强度及所占比例大于中心部分,而〈112〉织构强度弱于中心部分;在经过600℃退火再结晶后钢丝中产生的再结晶织构与形变织构相同,仍然为〈110〉和〈112〉织构,并且随退火时间延长,织构强度不断变弱. 展开更多

关键词 ebsd 织构 再结晶 演变

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秦岭商丹断裂带的构造变形与形成环境分析 被引量：8

7

作者 涂文传 宋传中 +4 位作者 任升莲 李加好 张欢 张妍 王中 《合肥工业大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期820-827,共8页

秦岭商丹断裂带是华北板块与扬子板块的构造缝合带,具有复杂的构成和长期的演化历史。文章选取了商丹断裂带的2条横剖面,综合运用宏观构造分析、显微构造分析、岩石有限应变测量、断层岩的变形温度估测及EBSD石英光轴组构测量分析等方... 秦岭商丹断裂带是华北板块与扬子板块的构造缝合带,具有复杂的构成和长期的演化历史。文章选取了商丹断裂带的2条横剖面,综合运用宏观构造分析、显微构造分析、岩石有限应变测量、断层岩的变形温度估测及EBSD石英光轴组构测量分析等方法对商丹断裂带进行了精细的研究。研究结果表明:商丹断裂带两侧岩片相对倾斜,呈正花状;东段线理保留得比西段好,南北两盘线理差异明显,南盘以倾向线理为主,北盘以水平线理为主;商丹断裂带岩石均受到压扁作用,东段岩石比西段岩石所受的压扁作用更强;商丹带断层岩变形温度多集中于(500±30)℃范围内,东段温度比西段高,北盘温度比南盘高,由断裂带向两侧温度逐渐下降。EBSD组构分析结果表明,剪切带中石英主要以中低温菱面〈a〉组构和低温底面〈a〉组构为特征。 展开更多

关键词 商丹断裂带 花状构造 有限应变测量 温度估计 电子背散射衍射(ebsd)

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7050铝合金搅拌摩擦焊接头的微观织构演变与力学性能 被引量：7

8

作者 金玉花 张林 +1 位作者 张亮亮 王希靖 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第20期20107-20111,共5页

对5 mm厚的7050铝合金搅拌摩擦焊接头各区域的微观织构演变、硬度分布及拉伸性能进行了研究,并与完整焊缝接头的拉伸性能进行了对比。结果表明:母材主要为亚结构组织,存在(011)[100]高斯织构、(112)[111]铜织构和(001)[100]立方织构;焊... 对5 mm厚的7050铝合金搅拌摩擦焊接头各区域的微观织构演变、硬度分布及拉伸性能进行了研究,并与完整焊缝接头的拉伸性能进行了对比。结果表明:母材主要为亚结构组织,存在(011)[100]高斯织构、(112)[111]铜织构和(001)[100]立方织构;焊核区发生动态再结晶,主要为[100]∥WD、[110]∥WD、[111]∥WD丝织构;前进侧热力影响区存在(111)[110]剪切织构、(110)[112]黄铜织构、(100)[012]和(100)[012]再结晶织构;而后退侧热力影响区为(001)[110]旋转立方再结晶织构和(112)[111]铜织构,主要是由各微区热-力作用不同导致。焊缝区硬度呈“W”型分布,硬度最小值出现在后退侧热影响区。前进侧与后退侧抗拉强度分别为496.9 MPa和505.2 MPa,达到母材强度的88%和90%;焊核区抗拉强度为440.4 MPa;完整焊缝抗拉强度最低,为415.7 MPa。 展开更多

关键词 7050铝合金 搅拌摩擦焊 电子背散射衍射(ebsd) 拉伸性能

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高速车轮钢的组织韧化工艺及机理研究 被引量：3

9

作者 马跃 潘涛 +3 位作者 陈刚 崔银会 苏航 彭云 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期6-11,共6页

为改善高速车轮钢韧性,从而提高高速车轮运行安全性,通过改变辗轧变形温度(tD)及踏面淬火温度(tQ),系统研究了热处理工艺对车轮钢力学性能的影响.采用光学、扫描电子显微(SEM)技术、电子背散射技术(EBSD)、定量金相技术等研究了车轮钢... 为改善高速车轮钢韧性,从而提高高速车轮运行安全性,通过改变辗轧变形温度(tD)及踏面淬火温度(tQ),系统研究了热处理工艺对车轮钢力学性能的影响.采用光学、扫描电子显微(SEM)技术、电子背散射技术(EBSD)、定量金相技术等研究了车轮钢珠光体组织.试验结果表明:车轮钢韧性随着tD与tQ的降低而升高,强度变化不大;tD与tQ的降低导致奥氏体晶粒尺寸减小,同时得到细化的珠光体球团组织,是韧性优化的直接原因.进一步断口分析与EBSD分析表明,单个珠光体球团可形成一个解理面,且解理面滑移带终止于珠光体球团界,与珠光体球团内部小角度晶界相对应,可认为珠光体球团是车轮钢韧性的控制单元. 展开更多

关键词 车轮钢 热处理 珠光体球团 韧性 电子背散射技术ebsd

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DZ40M合金再结晶形核的唯象行为 被引量：2

10

作者 赵阳 王磊 +1 位作者 于腾 刘杨 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期208-212,共5页

以DZ40M合金为研究对象,采用金相组织观察和EBSD晶粒取向分析技术,分析了DZ40M合金的再结晶形核位置与形核后的晶粒取向之间的关系.研究表明:DZ40M合金经压痕变形后,在退火过程中发生的再结晶晶粒主要在初生碳化物周围和枝晶间形核;初... 以DZ40M合金为研究对象,采用金相组织观察和EBSD晶粒取向分析技术,分析了DZ40M合金的再结晶形核位置与形核后的晶粒取向之间的关系.研究表明:DZ40M合金经压痕变形后,在退火过程中发生的再结晶晶粒主要在初生碳化物周围和枝晶间形核;初生碳化物处形核的再结晶晶粒主要位于〈112〉取向上,而枝晶间形核的再结晶晶粒为〈110〉取向.合金中的二次碳化物M23C6在晶界、亚晶界和位错上析出,能够阻碍再结晶核心的形成.当退火温度低于1423 K时,M23C6的析出数量较多,尺寸小且间距小,可以有效地抑制合金的再结晶形核,降低再结晶形核率. 展开更多

关键词 再结晶形核 DZ40M合金 ebsd(电子背散射衍射) 初生碳化物 枝晶间

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强磁场退火对冷轧IF钢板再结晶织构的影响 被引量：2

11

作者 吴艳 赵骧 +1 位作者 何长树 左良 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第9期1287-1290,共4页

通过SEM-EBSD分析研究了在再结晶初期强磁场退火对冷轧IF钢板再结晶织构的影响.将样品加热到650℃分别保温0,10,30 min以获得部分再结晶的样品.磁场退火时磁场方向平行于样品的横轧向,所施加的磁场强度为12 T.结果表明,在再结晶初期,与... 通过SEM-EBSD分析研究了在再结晶初期强磁场退火对冷轧IF钢板再结晶织构的影响.将样品加热到650℃分别保温0,10,30 min以获得部分再结晶的样品.磁场退火时磁场方向平行于样品的横轧向,所施加的磁场强度为12 T.结果表明,在再结晶初期,与其他{111}取向的再结晶晶粒相比,磁场退火有利于{111}〈112〉取向的再结晶晶粒首先形核和长大. 展开更多

关键词 强磁场 退火 再结晶 织构 IF钢板 SEM-ebsd

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确定ZnO颗粒生长方向的电子背散射衍射方法 被引量：3

12

作者 谢季佳 何发泉 洪友士 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第1期14-18,共5页

发展了利用扫描电子显微镜(SEM)与电子背散射衍射系统(EBSD)对微晶颗粒空间取向进行表征的新方法,对以气相氧化方法制备的纳米晶ZnO颗粒的生长方向进行了测量。在样品台两个不同的倾转角度下采集两幅ZnO颗粒图像,对这两幅图做图像分析,... 发展了利用扫描电子显微镜(SEM)与电子背散射衍射系统(EBSD)对微晶颗粒空间取向进行表征的新方法,对以气相氧化方法制备的纳米晶ZnO颗粒的生长方向进行了测量。在样品台两个不同的倾转角度下采集两幅ZnO颗粒图像,对这两幅图做图像分析,测量各枝晶臂在样品台不同倾转角时的投影角度,可以确定ZnO颗粒枝晶臂的生长方向在样品台坐标系中的空间取向,并获得各枝晶臂的长度和夹角。由EBSD确定ZnO颗粒对应的枝晶臂晶格坐标与样品台坐标之间的空间几何关系。并根据坐标变换关系可确定枝晶臂空间生长方向的晶体学取向是沿[0001]方向。 展开更多

关键词 电子背散射衍射 空间取向 生长方向 ZNO

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6082-T6铝合金搅拌摩擦过程中动态再结晶方式对焊核区织构类型的影响 被引量：3

13

作者 张亮亮 王希靖 刘骁 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期665-669,共5页

采用电子背散射衍射技术,借助取向成像分析软件,分别研究了6082-T6铝合金搅拌摩擦焊焊核区后退侧、焊核区正中心、焊核区前进侧上表面晶粒形貌、晶界特征、织构组分的演化。结果表明,焊接过程中,焊核区后退侧金属产生热塑性变形、晶粒... 采用电子背散射衍射技术,借助取向成像分析软件,分别研究了6082-T6铝合金搅拌摩擦焊焊核区后退侧、焊核区正中心、焊核区前进侧上表面晶粒形貌、晶界特征、织构组分的演化。结果表明,焊接过程中,焊核区后退侧金属产生热塑性变形、晶粒内位错塞积与重组,形成小角度晶界的亚晶粒,部分小角度晶界通过旋转转变为大角度晶界,发生"连续动态再结晶",母材粗大晶粒被细化。同时形成(111)[110]剪切织构,而在(111)[110]取向晶粒周围产生许多变形亚结构。(001)[100]立方取向亚结构在位错密度及位错组态上的优势,使其在焊接热循环作用下成为"非连续动态再结晶"的晶核,随后长大为(001)[100]立方取向晶粒。轴肩的旋转挤压作用,使焊核区晶粒沿ND方向旋转,故在焊核区正中心位置出现(001)[110]旋转立方织构,而在前进侧出现(111)[110]剪切织构和(001)[100]立方织构。 展开更多

关键词 6082-T6铝合金 搅拌摩擦焊 动态再结晶 电子背散射衍射(ebsd)

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确定断裂表面晶体学取向的电子背散射衍射方法 被引量：2

14

作者 谢季佳 上官丰收 +1 位作者 武晓雷 洪友士 《电子显微学报》 CAS CSCD 2005年第6期547-550,共4页

利用扫描电镜中带多自由度的样品台和电子背散射衍射系统(EBSD)研究了断口的晶体学定向方法。对于镍拉伸变形后的沿晶断裂表面,利用EBSD确定了晶粒与样品坐标之间的晶体学取向关系,通过样品台倾转获得断裂面与样品之间的几何对应关系,... 利用扫描电镜中带多自由度的样品台和电子背散射衍射系统(EBSD)研究了断口的晶体学定向方法。对于镍拉伸变形后的沿晶断裂表面,利用EBSD确定了晶粒与样品坐标之间的晶体学取向关系,通过样品台倾转获得断裂面与样品之间的几何对应关系,从而定出样品沿晶断裂面主要的晶体学位向是{100}。 展开更多

关键词 晶体定向 电子背散射衍射 断裂面

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类单晶硅锭中的亚晶粒结构分析 被引量：2

15

作者 汪已琳 张东华 +1 位作者 汤斌兵 周浪 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2013年第2期135-139,共5页

当前类单晶硅锭生长技术已能容易地获得尺寸数倍于太阳电池硅片的<001>取向的超大"晶粒",但在其硅片中存在亚晶粒。采用位错刻蚀与显微观察、X射线双晶衍射和背散射电子衍射(EBSD),研究了该类硅片的亚晶粒及亚晶界结构... 当前类单晶硅锭生长技术已能容易地获得尺寸数倍于太阳电池硅片的<001>取向的超大"晶粒",但在其硅片中存在亚晶粒。采用位错刻蚀与显微观察、X射线双晶衍射和背散射电子衍射(EBSD),研究了该类硅片的亚晶粒及亚晶界结构。结果表明:硅片中亚晶粒尺寸为3～6 mm,其中的亚晶界对位错刻蚀十分敏感,为密排位错列组成,亚晶粒内部同时也存在与普通多晶硅锭中平均密度相当的位错;亚晶粒之间相互取向差别小于10°,而且基本是以<001>为轴的旋转位向差,故能够保证(001)面特有的金字塔型碱腐蚀制绒效果;类单晶硅锭的结晶质量有待于进一步提高,应尽量避免亚晶粒的产生。 展开更多

关键词 类单晶硅 亚晶粒 亚晶界 位错 背散射电子衍射 位向差

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正火温度对Nb-V-Ti微合金化大截面锻材Q345E钢组织与韧性的影响 被引量：1

16

作者 文新理 梅珍 +3 位作者 张利冲 刘雅政 肖磊磊 刘广磊 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第20期94-99,共6页

采用热膨胀法测定了Nb-V-Ti微合金化Q345E钢的相变临界温度Ac1和Ac3,使用45kW箱式电阻炉对实验钢进行了正火处理,利用光学显微镜（OM）、扫描电镜（SEM）、电子背散射衍射（EBSD）和透射电镜（TEM）观察了正火后试样的组织演变规律,分... 采用热膨胀法测定了Nb-V-Ti微合金化Q345E钢的相变临界温度Ac1和Ac3,使用45kW箱式电阻炉对实验钢进行了正火处理,利用光学显微镜（OM）、扫描电镜（SEM）、电子背散射衍射（EBSD）和透射电镜（TEM）观察了正火后试样的组织演变规律,分析了正火温度对组织与低温韧性的影响。结果表明,Q345E钢的Ac1约732℃、Ac3约871℃;当正火温度为820℃和850℃时,组织由针状珠光体和未发生重结晶的粗大原始铁素体构成,针状珠光体由针状奥氏体转变而来,相邻针状珠光体中的铁素体相具有相同的晶体取向特征;当正火温度不低于880℃时,组织由重结晶后的铁素体和珠光体构成,随正火温度的提高组织尺寸逐渐增大;当正火温度为820～940℃时,随正火温度的提高冲击功呈现先增加后降低的变化规律,组织类型、尺寸、形态和均匀性是影响大截面锻材Q345E低温韧性的主要因素。 展开更多

关键词 Nb-V-Ti微合金化 大截面锻材 Q345E 电子背散射衍射 韧性

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银试样的电解液制备及工艺参数优化 被引量：1

17

作者 夏峰 严文 +2 位作者 陈建 杨洋 周学阳 《西安工业大学学报》 CAS 2013年第4期313-318,共6页

为了有效地分析银试样的微观组织及形变织构,结合透射电镜和电子背散射衍射,制备了银试样的电解液,优化了电解抛光工艺参数.研究结果表明:利用配比为硫酸50mL+冰乙酸115mL+高氯酸6mL+甲醇350mL+草酸12g+硫脲77g的电解液,分别在温度为0... 为了有效地分析银试样的微观组织及形变织构,结合透射电镜和电子背散射衍射,制备了银试样的电解液,优化了电解抛光工艺参数.研究结果表明:利用配比为硫酸50mL+冰乙酸115mL+高氯酸6mL+甲醇350mL+草酸12g+硫脲77g的电解液,分别在温度为0～25℃,电压为5～25V,时间为3～5min和温度为0～25℃,电压为15～20V的条件下,对试样Φ3mm×0.1mm和10mm×3mm×2mm进行电解抛光,获得了大薄区的透射电镜试样和标定率高达85%的电子背散射衍射试样. 展开更多

关键词 银试样 微观组织 形变织构 透射电镜 电子背散射衍射 电解抛光

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AA6111合金在热轧过程中保持时间对晶体织构的影响 被引量：2

18

作者 宋颖刚 CROSS M.D.J. +1 位作者 RAINFORTH W.M. WYNNE B.P. 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期23-26,共4页

使用EBSD研究了AA6111合金在两次热轧过程中不同保持时间对晶体织构演变的影响。结果显示:变形织构主要由α和β纤维组成。从主要织构组分的取向强度看出,随着保持时间的增加,Brass和Copper理想织构组分显著增加,S织构没有明显变化。

关键词 铝合金 变形 晶体织构 背散射衍射(ebsd)

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纳米异质外延层与衬底的晶体取向匹配的电子背散射衍射分析

19

作者 吉元 王丽 +4 位作者 张隐奇 卫斌 索红莉 王建宏 程艳玲 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期322-327,共6页

本文采用电子背散射衍射(EBSD),测量纳米异质外延层的织构,及外延层与衬底的晶体取向匹配。测试的材料包括作为YBCO超导膜的过渡层、生长在强立方织构Ni-5at.%W(Ni-W)衬底上的La2Zr2O7(LZO)外延层,及LED器件中生长在蓝宝石衬底上的GaN... 本文采用电子背散射衍射(EBSD),测量纳米异质外延层的织构,及外延层与衬底的晶体取向匹配。测试的材料包括作为YBCO超导膜的过渡层、生长在强立方织构Ni-5at.%W(Ni-W)衬底上的La2Zr2O7(LZO)外延层,及LED器件中生长在蓝宝石衬底上的GaN过渡层和外延层。EBSD测量出LZO外延层具有旋转立方织构,显示出LZO与Ni-W衬底的面内取向(转动45°)及面外取向(沿[001]方向)的匹配关系。EBSD测量出GaN过渡层与蓝宝石衬底的面内取向(转动30°)的匹配关系,显示出由GaN过渡层的晶格畸变而引入的平行于外延生长方向的弹性应变梯度(约500 nm)。 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 晶体取向错配 外延层 LA2ZR2O7 GAN

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GaN外延结构中微区应变场的测量和评价

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作者 王俊忠 吉元 +5 位作者 田彦宝 牛南辉 徐晨 韩军 郭霞 沈光地 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2139-2143,共5页

采用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量GaN/蓝宝石结构中的弹性应变场.将EBSD菊池衍射花样的图像质量IQ值及小角度错配作为应力敏感参数,表征GaN-Buffer层-蓝宝石结构中的晶格畸变和转动,显示微区弹性应变场.在GaN/蓝宝石系统中,弹性应变... 采用电子背散射衍射(EBSD)技术,测量GaN/蓝宝石结构中的弹性应变场.将EBSD菊池衍射花样的图像质量IQ值及小角度错配作为应力敏感参数,表征GaN-Buffer层-蓝宝石结构中的晶格畸变和转动,显示微区弹性应变场.在GaN/蓝宝石系统中,弹性应变的影响范围大约200×700nm.采用快速傅立叶变换(FFT)提取菊池花样的衍射强度,识别GaN外延结构中的应变/无应变区域. 展开更多

关键词 电子背散射衍射(ebsd) 微区应力 GAN外延层

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