氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺试验研究 被引量：4

1

作者 尚振涛 黄含 +1 位作者 盛晓敏 宓海青 《湖南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期30-34,共5页

在采用封闭式阴极装置实现高速ELID磨削的基础上,对氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺机理进行了研究.通过与非ELID高速磨削工艺的对比,揭示了氮化硅陶瓷ELID高速磨削的工艺机理,并给出了其表面粗糙度、磨削力与工艺参数之间的变化规律.这... 在采用封闭式阴极装置实现高速ELID磨削的基础上,对氮化硅陶瓷的ELID高速磨削工艺机理进行了研究.通过与非ELID高速磨削工艺的对比,揭示了氮化硅陶瓷ELID高速磨削的工艺机理,并给出了其表面粗糙度、磨削力与工艺参数之间的变化规律.这些规律表明:ELID高速磨削工艺能大大地减小氮化硅陶瓷的表面粗糙度值及磨削力,获得较好的表面质量.此外,砂轮线速度和磨削深度对其表面粗糙度值没有显著影响,且变化没有明显规律;而工件速度对表面粗糙度值存在一定的影响,表面粗糙度值随着工件进给速度的提高而增加,即表面加工质量有下降的趋势;ELID高速磨削工艺中的各类磨削参数均对氮化硅陶瓷的磨削力产生重大影响:磨削深度增加或工件速度的加快,都使磨削力变大;砂轮线速度的增加则导致磨削力下降. 展开更多

关键词 高速磨削 氮化硅陶瓷 elid磨削 非elid磨削

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SiCp/Al复合材料的ELID精密加工工艺 被引量：4

2

作者 关佳亮 朱磊 +2 位作者 陈玲 马新强 张孝辉 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期823-829,共7页

针对高体积分数SiCp/Al复合材料的加工难题,采用在线电解修整精密磨削加工工艺对其进行精密磨削实验研究.首先,通过建立单颗粒磨削模型,得到磨粒的最大变形磨屑厚度,进而利用Matlab软件,得到SiCp/Al复合材料塑性域磨削的试验参数范围.然... 针对高体积分数SiCp/Al复合材料的加工难题,采用在线电解修整精密磨削加工工艺对其进行精密磨削实验研究.首先,通过建立单颗粒磨削模型,得到磨粒的最大变形磨屑厚度,进而利用Matlab软件,得到SiCp/Al复合材料塑性域磨削的试验参数范围.然后,通过单因素试验探究磨削深度、砂轮转速以及工件移动速度对加工表面粗糙度的影响,利用正交试验最优参数与理论分析得到的塑性域磨削的试验参数范围进行对比,确定了最优工艺参数.最后,以最优试验参数对体积分数40%的SiCp/Al复合材料进行精密磨削加工,获得表面粗糙度Ra 0.030μm的加工表面.研究表明:应用ELID精密磨削加工工艺,采用W5铸铁基金刚石砂轮,当砂轮转速为1 500 r/min,磨削深度在0.1μm,工件移动速度为2 m/min时,磨削效果最佳. 展开更多

关键词 铝基碳化硅复合材料 电解修整磨削 表面粗糙度 磨削参数

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在线电解修整(ELID)超精密磨削中的金刚石磨具特性研究 被引量：2

3

作者 金卫东 任成祖 王太勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期56-58,共3页

ELID(E lectrolytic In-process D ressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,主要用于硬脆材料超精密磨削过程中金属基结合剂超硬微细磨粒砂轮的在线修整。本文以金刚石微粉砂轮在线电解修整(ELID... ELID(E lectrolytic In-process D ressing)磨削技术是在电化学加工、电解磨削原理基础上发展起来的一项磨削新技术,主要用于硬脆材料超精密磨削过程中金属基结合剂超硬微细磨粒砂轮的在线修整。本文以金刚石微粉砂轮在线电解修整(ELID)磨削氮化硅陶瓷为例,着重研究了磨具特性对硬脆材料超精密磨削过程的影响。研究表明,磨具组织沿砂轮圆周的不均匀性将会导致砂轮表面钝化膜状态的不一致,这将直接影响砂轮局部参与切削的磨粒数量,影响单个磨料的实际磨削厚度。这首先将对工件表面的磨削质量,特别是对表面粗糙度产生直接影响,同时也非常不利于实现材料的高效去除。 展开更多

关键词 在线电解修整(elid) 超精密磨削 氮化硅 磨具特性

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电火花修形砂轮对ELID磨削效果影响的实验研究 被引量：1

4

作者 关佳亮 孙志杰 +2 位作者 杨亚兰 赵增强 舒行军 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2009年第4期44-47,共4页

本文对经电火花精修形、粗修形后形成硬质层和去除修形形成硬化层的金属结合剂超硬磨料砂轮进行对比实验,研究了三种砂轮的ELID电解曲线和电解后的砂轮表面形貌,分析了不同砂轮被电解后对加工工件的表面粗糙度的影响。实验结果表明:电... 本文对经电火花精修形、粗修形后形成硬质层和去除修形形成硬化层的金属结合剂超硬磨料砂轮进行对比实验,研究了三种砂轮的ELID电解曲线和电解后的砂轮表面形貌,分析了不同砂轮被电解后对加工工件的表面粗糙度的影响。实验结果表明:电火花修形后砂轮,表面硬质层阻值较大,不宜直接用于ELID精密镜面磨削加工;电火花修形能够提高砂轮表面的强度和硬度,能够提高砂轮的耐磨性;为保证砂轮基体受电火花淬火影响最小,形成硬质层最薄,电火花精修形时需选用较小的占空比。 展开更多

关键词 在线电解修整磨削 电火花修形 表面硬化层

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ELID精密磨削钢结硬质合金及其AFM表面形貌分析

5

作者 朱波 王扬 +1 位作者 袁哲俊 卢泽生 《高技术通讯》 CAS CSCD 2000年第11期95-97,共3页

对钢结硬质合金 (GT35)进行在线电解修整 (ELID)精密磨削。对钢结硬质合金难磨机理以及ELID磨削钢结硬质合金的磨削机理进行了分析。并通过原子力显微镜(AFM )对镜面钢结硬质合金表面不同区域进行了微观表面形貌的分析。研究结果表明 ,... 对钢结硬质合金 (GT35)进行在线电解修整 (ELID)精密磨削。对钢结硬质合金难磨机理以及ELID磨削钢结硬质合金的磨削机理进行了分析。并通过原子力显微镜(AFM )对镜面钢结硬质合金表面不同区域进行了微观表面形貌的分析。研究结果表明 ,采用ELID磨削技术实现了对钢结硬质合金零件的精密磨削加工 ,钢结硬质合金磨削表面粗糙度可达nm级 ,Ra≤ 2 0nm。 展开更多

关键词 在线电解修整 磨削 钢结硬质合金 原子力显微镜 表面形貌

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磨削参数对ELID内圆磨削轴承外圈的影响 被引量：6

6

作者 李秦峰 任成祖 张开飞 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第9期1177-1180,共4页

从磨削过程中振动功率的角度研究了在线电解修整(ELID)内圆磨削轴承外圈时,磨削深度和砂轮进给速度对磨削表面波纹度的影响,并通过不同的磨削参数组合,从磨削过程中氧化膜状态和材料去除机理等角度分析比较了磨削深度和砂轮进给速度对... 从磨削过程中振动功率的角度研究了在线电解修整(ELID)内圆磨削轴承外圈时,磨削深度和砂轮进给速度对磨削表面波纹度的影响,并通过不同的磨削参数组合,从磨削过程中氧化膜状态和材料去除机理等角度分析比较了磨削深度和砂轮进给速度对磨削过程影响的程度。试验结果表明,磨削深度的作用更重要,在实际ELID内圆磨削过程中可以先采用较大的磨削深度以实现高的材料去除率,再采用较小的磨削深度以提高表面质量,并且在ELID磨削过程中可以通过振动的大小来预测加工后工件表面的波纹度大小。 展开更多

关键词 在线电解修整(elid) 内圆磨削 磨削参数 振动功率

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基于砂轮径向振动主动控制的ELID内圆磨削 被引量：2

7

作者 李秦峰 任成祖 +2 位作者 张斌 李德成 陈晓峰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期1179-1183,共5页

在线电解修整(ELID)磨削过程中砂轮表面会生成一层具有一定厚度的氧化膜,其刚度远小于工件及砂轮结合剂的刚度,可以有效衰减磨削过程中的振动。将ELID技术应用到无心内圆磨削中,通过调节电解参数来改变氧化膜的状态,进而对砂轮径向振动... 在线电解修整(ELID)磨削过程中砂轮表面会生成一层具有一定厚度的氧化膜,其刚度远小于工件及砂轮结合剂的刚度,可以有效衰减磨削过程中的振动。将ELID技术应用到无心内圆磨削中,通过调节电解参数来改变氧化膜的状态,进而对砂轮径向振动进行控制。通过试验研究了电解参数的改变对砂轮径向振动的影响规律,并基于此规律设计了控制器,对磨削过程中的砂轮径向振动进行了主动控制磨削试验。试验结果表明,该控制器可以将磨削过程中的砂轮径向振动控制在设定值附近,维持ELID磨削的稳定。在实际的ELID内圆磨削中,可以先将砂轮径向振动控制在较高值,以实现较大的材料去除率;一段时间后再将砂轮径向振动控制在较低值,以提高工件表面质量。 展开更多

关键词 在线电解修整(elid) 内圆磨削 砂轮径向振动 主动控制

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硅片的在线电解修整超精密磨削 被引量：5

8

作者 于栋利 李东春 +3 位作者 何巨龙 田永君 刘世民 刁玉强 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第5期566-569,共4页

用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了... 用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了形貌分析，探讨其微观磨削机理。结果表明，砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎，微观磨痕为Z字型；硅片表面粗糙度可达纳米级，R_a=4．0nm、R_z=7．8nm；整个硅片（3＃）厚度变差为1．5μm；磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层；磨削效率达1．07×10~3mm^3／min。 展开更多

关键词 在线电解修整 超精密磨削 变质层 硅片

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在线电解修整磨削液研究现状及其展望 被引量：12

9

作者 伍俏平 王煜 +1 位作者 瞿为 邓朝晖 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期1118-1125,共8页

在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了... 在线电解修整(electrolytic in-process dressing,ELID)镜面磨削过程中,磨削液的成份及配比对砂轮表面氧化膜的生成速度、致密性、黏附性以及绝缘性等都有着很大的影响,磨削液的配比及优化成为ELID磨削过程中的关键技术之一。主要介绍了ELID磨削液的成分配比、磨削液对氧化膜的影响以及ELID磨削液改进这几个方面的研究进展,并对ELID磨削液下一步的研究重点进行了展望。 展开更多

关键词 elid镜面磨削技术 elid磨削液 氧化膜 成膜特性

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在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术 被引量：10

10

作者 徐志强 尹韶辉 +1 位作者 姜胜强 朱科军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1310-1315,共6页

通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂... 通过分析ELID磨削和CMP抛光两种加工技术的原理和特点,充分结合两种技术的优点,对蓝宝石基片进行超光滑纳米级精度的组合加工。从理论上分析和计算了蓝宝石的临界切削深度,以及在不同粒度砂轮下的脆性和延性磨削方式;采用不同粒度的砂轮对蓝宝石基片进行超精密ELID磨削实验,快速地获得高质量的加工表面,同时采用磁流变斑点法对加工面的亚表面损伤进行测量;利用CMP抛光技术对磨削加工后的表面进行光整,以减少磨削时产生的加工缺陷,使工件的表面质量得到进一步改善与提高,最终获得亚纳米级的表面粗糙度。 展开更多

关键词 蓝宝石基片 在线电解修整磨削 化学机械抛光 组合加工技术

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微波铁氧体基片高效磨削技术研究 被引量：5

11

作者 王贵林 张飞虎 +1 位作者 张晓宾 栾殿荣 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1479-1482,共4页

针对微波铁氧体基片的功能要求、材料特性和磨削工艺特点,通过大量实验分析了铁氧体基片ELID磨削与普通磨削的磨削力对比结果和形成原因,以及磨削力随工艺参数的变化规律,在此基础上,对ELID磨削效率、表面质量及磨削中出现的问题和解决... 针对微波铁氧体基片的功能要求、材料特性和磨削工艺特点,通过大量实验分析了铁氧体基片ELID磨削与普通磨削的磨削力对比结果和形成原因,以及磨削力随工艺参数的变化规律,在此基础上,对ELID磨削效率、表面质量及磨削中出现的问题和解决途径进行了深入研究。实验结果表明,ELID磨削方法适用于微波铁氧体基片的高效磨削,保证了表面加工质量,将ELID磨削技术与平行研抛工艺结合起来,能够形成微波铁氧体基片精密高效的批量生产能力。 展开更多

关键词 微波铁氧体基片 elid 磨削力 表面质量

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一种光学材料高效超精密加工方法 被引量：16

12

作者 尹韶辉 大森整 +3 位作者 林伟民 上原嘉宏 陈逢军 朱科军 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第21期2540-2544,共5页

提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶... 提出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整(ELID)磨削对各种光学材料进行超精密加工的方法,即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面,然后采用MRF进行精密抛光以进一步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行了超精密加工实验,可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为λ/20(λ为单位波长,λ=632.8nm)的形状精度。 展开更多

关键词 elid磨削 磁流变光整加工(MRF) 超精密组合加工 形状精度 表面粗糙度 光学材料

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轴承套圈内圆在线电解修整磨削试验 被引量：9

13

作者 杨黎健 任成祖 靳新民 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期212-214,共3页

提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行... 提出了一种新的在线电解修整磨削轴承内圈的方法。该方法直接将导电的金属工件做为电解阴极,将铸铁基CBN砂轮作为阳极,在磨削过程中利用工件电极对砂轮进行修锐,维持了与传统在线电解修整磨削相同的磨削过程,保证了磨削过程的稳定进行。使用W10的砂轮可获得表面粗糙度Ra为0.03μm的加工表面。 展开更多

关键词 在线电解修整 内圆磨削 电火花整形 轴承套圈

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陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究 被引量：8

14

作者 周曙光 关佳亮 徐中耀 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2000年第6期23-24,27,共3页

在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精... 在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。 展开更多

关键词 精密镜面磨削 超硬磨料砂轮 陶瓷喷涂层 elid

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碳化硅衬底超精密加工技术 被引量：5

15

作者 袁铁军 张红蕾 张广冬 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2012年第7期26-29,39,共5页

通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质... 通过对比不同的加工方法获得最佳工艺:切片采用多线切割或者多线切割与超声切割相结合;磨削采用双面研磨获得较低翘曲度的表面或ELID磨削实现高速、高效、高质量磨削;抛光工艺使用化学机械抛光方法,通过粗抛提高加工效率,精抛提高表面质量,从而获得超光滑表面。分析了碳化硅衬底加工存在的问题并指出超精密加工的发展趋势。 展开更多

关键词 多线切割 双面研磨 elid磨削 化学机械抛光 超光滑表面

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HR-1抗氢不锈钢精密镜面磨削的实验研究 被引量：2

16

作者 关佳亮 刘本东 +1 位作者 黄旭东 王文超 《北京工业大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第S1期17-19,49,共4页

为了探索不锈钢材料精密加工的新途径,采用在线电解修整精密镜面磨削技术,对HR-1抗氢不锈钢 进行了精密磨削实验,并对不锈钢的磨削机理进行了分析．

关键词 HR-1不锈钢 在线电解修整(elid) 精密镜面磨削

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单晶蓝宝石基片抛光工艺研究进展 被引量：3

17

作者 陈刚 肖强 《工具技术》 2018年第3期3-9,共7页

对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足... 对目前抛光单晶蓝宝石基片的工艺方法,如游离磨料磨削、金刚石砂轮磨削、在线电解修整磨削(ELID)、化学机械抛光(CMP)、固结软磨料抛光、磁流变抛光(MRF)、超声振动辅助磨削的加工原理、方法和特点进行综述。分析了各方法的优势和不足以及最新研究成果存在的关键问题。其中游离磨料磨削、在线电解修整磨削、金刚石砂轮磨削的材料去除速率较高,化学机械抛光是抛光大面积基片的唯一方法,磁流变抛光后的基片表面不存在亚表面损伤。根据单晶蓝宝石基片的应用需求和目前抛光方法的不足,对后续研究的方向进行了预测。 展开更多

关键词 单晶蓝宝石 游离磨料磨削 化学机械抛光 磁流变抛光 elid磨削 超声振动辅助磨削

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在线电解修整磨削氧化膜研究现状及展望 被引量：7

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作者 伍俏平 郑维佳 +1 位作者 邓朝晖 赵恒 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第17期2023-2030,共8页

在线电解修整(ELID)镜面磨削加工中,电解作用会使砂轮表面生成一层具有绝缘作用的氧化膜,该氧化膜可以减缓和阻止进一步电解,避免砂轮损耗过快;同时,氧化膜可容纳、承托大量因电解而脱落的磨粒,使得砂轮的磨削类同游离磨粒的研磨、抛光... 在线电解修整(ELID)镜面磨削加工中,电解作用会使砂轮表面生成一层具有绝缘作用的氧化膜,该氧化膜可以减缓和阻止进一步电解,避免砂轮损耗过快;同时,氧化膜可容纳、承托大量因电解而脱落的磨粒,使得砂轮的磨削类同游离磨粒的研磨、抛光作用,有利于提高磨削表面质量。氧化膜在整个磨削过程中发挥着至关重要的作用,直接影响着ELID磨削加工表面质量和磨削效率。详细阐述了ELID磨削过程中氧化膜的成膜过程及表征方法、氧化膜的物理/化学特性、氧化膜成膜影响因素等方面的研究进展,并对ELID磨削氧化膜下一步的研究重点进行了展望。 展开更多

关键词 在线电解修整磨削 氧化膜 成膜特性 电解参数

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