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硅片的在线电解修整超精密磨削
被引量：
5
1
作者
于栋利
李东春
+3 位作者
何巨龙
田永君
刘世民
刁玉强
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期566-569,共4页
用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了...
用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了形貌分析，探讨其微观磨削机理。结果表明，砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎，微观磨痕为Z字型；硅片表面粗糙度可达纳米级，R_a=4．0nm、R_z=7．8nm；整个硅片（3＃）厚度变差为1．5μm；磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层；磨削效率达1．07×10~3mm^3／min。
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关键词
在线电解修整
超精密磨削
变质层
硅片
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职称材料
陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究
被引量：
8
2
作者
周曙光
关佳亮
徐中耀
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2000年第6期23-24,27,共3页
在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精...
在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。
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关键词
精密镜面磨削
超硬磨料砂轮
陶瓷喷涂层
elid
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职称材料
HR-1抗氢不锈钢精密镜面磨削的实验研究
被引量：
2
3
作者
关佳亮
刘本东
+1 位作者
黄旭东
王文超
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第S1期17-19,49,共4页
为了探索不锈钢材料精密加工的新途径,采用在线电解修整精密镜面磨削技术,对HR-1抗氢不锈钢 进行了精密磨削实验,并对不锈钢的磨削机理进行了分析．
关键词
HR-1不锈钢
在线电解修整(
elid
)
精密镜面磨削
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职称材料
题名
硅片的在线电解修整超精密磨削
被引量：
5
1
作者
于栋利
李东春
何巨龙
田永君
刘世民
刁玉强
机构
燕山大学
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第5期566-569,共4页
基金
国家自然科学基金!E050804
文摘
用铸铁短纤维结合剂金刚石砂轮与脉冲电解修整相配合，对硅片进行了在线电解修整（ELID）超精密磨削。研究了磨削工艺多数对硅片的加工质量及磨削效率的影响，采用原子力显微镜（AFM）与扫描电子隧道显微镜（STM）对硅片磨削表面进行了形貌分析，探讨其微观磨削机理。结果表明，砂轮中金刚石磨粒对硅片表面进行间歇式破碎，微观磨痕为Z字型；硅片表面粗糙度可达纳米级，R_a=4．0nm、R_z=7．8nm；整个硅片（3＃）厚度变差为1．5μm；磨削硅片的变质层主要为原子面扭曲展及过渡层；磨削效率达1．07×10~3mm^3／min。
关键词
在线电解修整
超精密磨削
变质层
硅片
Keywords
electrolytic
in-process
dressing
(
elid
)
ultraprecision
mirror
surface
grinding
分类号
TG662 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究
被引量：
8
2
作者
周曙光
关佳亮
徐中耀
机构
大连理工大学机械工程学院
出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2000年第6期23-24,27,共3页
基金
辽宁省科技计划项目"超硬材料精密复杂型面的ELID和FCECCM加工技术及其应用"的一部分!课题编号为 9810 4 0 0 10 2
文摘
在工件表面用喷涂方法形成陶瓷涂层 ,可以显著改善其性能。但是由于陶瓷喷涂层的硬脆特性 ,难以进行精密加工。本文引入金属基超硬磨料砂轮在线电解修整 (ELID)技术 ,对陶瓷喷涂层进行精密镜面磨削的实验研究。结果表明 ,该技术加工精度高、表面质量好 。
关键词
精密镜面磨削
超硬磨料砂轮
陶瓷喷涂层
elid
Keywords
ceramic coating\ precision
mirror
surface
grinding
\ metallic bond
grinding
wheel of superhard abrasive\
electrolytic
in process
dressing
(
elid
)
分类号
TG580.613 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TQ174.1 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
HR-1抗氢不锈钢精密镜面磨削的实验研究
被引量：
2
3
作者
关佳亮
刘本东
黄旭东
王文超
机构
北京工业大学机械工程及应用电子技术学院
出处
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第S1期17-19,49,共4页
文摘
为了探索不锈钢材料精密加工的新途径,采用在线电解修整精密镜面磨削技术,对HR-1抗氢不锈钢 进行了精密磨削实验,并对不锈钢的磨削机理进行了分析．
关键词
HR-1不锈钢
在线电解修整(
elid
)
精密镜面磨削
Keywords
HR-1 stainless steel
electrolytic
in-process
dressing
（
elid
）
precision
mirror
surface
grinding
分类号
TG580.613 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅片的在线电解修整超精密磨削
于栋利
李东春
何巨龙
田永君
刘世民
刁玉强
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
陶瓷喷涂层精密镜面磨削技术的实验研究
周曙光
关佳亮
徐中耀
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
2000
8
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
HR-1抗氢不锈钢精密镜面磨削的实验研究
关佳亮
刘本东
黄旭东
王文超
《北京工业大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
在线阅读
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职称材料
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