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涡旋真空泵型线设计 被引量:1
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作者 王旭迪 胡焕林 《合肥工业大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 2001年第1期103-105,共3页
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,... 涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,分解抽象出型线各部分的几何模型 ,并基于 Auto CAD编制出型线设计的 L ISP程序 ,从而建立型线参数化设计模型。该模型提高了设计效率 。 展开更多
关键词 涡旋真空泵 型线理论 参数化设计 模型
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涡旋真空泵中固体润滑技术的应用研究 被引量:1
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作者 王志 巴德纯 《沈阳航空工业学院学报》 2002年第2期20-21,29,共3页
本文介绍了固体润滑技术的润滑机理和影响因素 ,结合涡旋真空泵的结构特点 。
关键词 涡旋真空泵 固体润滑技术 摩擦 工作机理 影响因素
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