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涡旋真空泵型线设计
被引量:
1
1
作者
王旭迪
胡焕林
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2001年第1期103-105,共3页
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,...
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,分解抽象出型线各部分的几何模型 ,并基于 Auto CAD编制出型线设计的 L ISP程序 ,从而建立型线参数化设计模型。该模型提高了设计效率 。
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关键词
涡旋真空泵
型线理论
参数化设计
模型
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职称材料
涡旋真空泵中固体润滑技术的应用研究
被引量:
1
2
作者
王志
巴德纯
《沈阳航空工业学院学报》
2002年第2期20-21,29,共3页
本文介绍了固体润滑技术的润滑机理和影响因素 ,结合涡旋真空泵的结构特点 。
关键词
涡旋真空泵
固体润滑技术
摩擦
工作机理
影响因素
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职称材料
题名
涡旋真空泵型线设计
被引量:
1
1
作者
王旭迪
胡焕林
机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院
出处
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2001年第1期103-105,共3页
文摘
涡旋真空泵具有结构简单、密封性能好、极限真空高 (≤ 5× 10 - 1 Pa)和不易仿制等优点 ,在国外已广泛应用于半导体和薄膜行业。型线部分是涡旋真空泵设计的关键 ,该文结合工程实际需要对其理论和实际型线进行研究 ,在此基础上 ,分解抽象出型线各部分的几何模型 ,并基于 Auto CAD编制出型线设计的 L ISP程序 ,从而建立型线参数化设计模型。该模型提高了设计效率 。
关键词
涡旋真空泵
型线理论
参数化设计
模型
Keywords
dry scroll vacuum pump
(DSVP)
theory of the curve
parameter design
分类号
TB752.2 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
涡旋真空泵中固体润滑技术的应用研究
被引量:
1
2
作者
王志
巴德纯
机构
东北大学机械工程与自动化学院
沈阳航空工业学院
出处
《沈阳航空工业学院学报》
2002年第2期20-21,29,共3页
文摘
本文介绍了固体润滑技术的润滑机理和影响因素 ,结合涡旋真空泵的结构特点 。
关键词
涡旋真空泵
固体润滑技术
摩擦
工作机理
影响因素
Keywords
dry scroll vacuum pump
solid lubrication
friction
分类号
TB752 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
涡旋真空泵型线设计
王旭迪
胡焕林
《合肥工业大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2001
1
在线阅读
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职称材料
2
涡旋真空泵中固体润滑技术的应用研究
王志
巴德纯
《沈阳航空工业学院学报》
2002
1
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职称材料
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