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Cooperative effect of surface alloying and laser texturing on tribological performance of lubricated surfaces 被引量:5
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作者 万轶 熊党生 李建亮 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2010年第5期906-910,共5页
The cooperative effect of laser surface texturing(LST) and double glow plasma surface alloying on tribological performance of lubricated sliding contacts was investigated.A Nd:YAG laser was used to generate microdimpl... The cooperative effect of laser surface texturing(LST) and double glow plasma surface alloying on tribological performance of lubricated sliding contacts was investigated.A Nd:YAG laser was used to generate microdimples on steel surfaces. Dimples with the diameter of 150μm and the depth of 30-35μm distributed circumferentially on the disc surface.The alloying element Cr was sputtered to the laser texturing steel surface by double glow plasma technique.A deep diffusion layer with a thickness of 30μm and a high hardness of HV900 was formed in this alloy.Tribological experiments of three types of samples(smooth,texturing and texturing+alloying) were conducted with a ring-on-disc tribometer to simulate the face seal.It is found that,in comparison with smooth steel surfaces,the laser texturing samples significantly reduce the friction coefficient.Moreover,the lower wear rate of the sample treated with the two surface techniques is observed. 展开更多
关键词 laser surface texturing double glow plasma surface alloying technology carbon steel tribological performance lubricated surface
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Ti6Al4V合金表面渗钽层的制备及力学性能
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作者 付光远 林乃明 +4 位作者 李小凯 Meisam Nouri 曾群锋 LI Dongyang 吴玉程 《太原理工大学学报》 北大核心 2025年第4期706-715,共10页
【目的】为提高Ti6Al4V(TC4)合金的表面性能,借助双层辉光等离子表面合金化技术在其表面制备渗钽层,结合Taguchi实验设计研究了工艺参数对渗钽层表面硬度的影响。【方法】借助光学显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜及能量谱仪分析渗... 【目的】为提高Ti6Al4V(TC4)合金的表面性能,借助双层辉光等离子表面合金化技术在其表面制备渗钽层,结合Taguchi实验设计研究了工艺参数对渗钽层表面硬度的影响。【方法】借助光学显微镜、X射线衍射仪、扫描电子显微镜及能量谱仪分析渗钽层的特征。使用显微硬度计和纳米压入仪对比研究TC4基体和渗钽层的力学性能。【结果】结果表明:得到优化的工艺参数组合:温度750℃,源阴极压差350 V,保温时间2 h。优化工艺参数的渗钽层连续、均匀、致密,主要由α-Ta和金属间化合物相构成。渗钽层表面硬度比TC4基体提高了约3.2倍,其H/E和H^(3)/E^(2)值分别是TC4基体的2.1倍和15.0倍。双辉等离子表面合金化渗钽处理显著提高了TC4合金的抵抗局部塑性变形能力。 展开更多
关键词 钛合金 双辉等离子表面合金化 力学性能
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双辉等离子渗铬界面层对类石墨碳基涂层力学及磨蚀性能的影响 被引量:2
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作者 闫江山 郭鹏 +7 位作者 林乃明 张应鹏 马冠水 周小卉 汪汝佳 严凯 李小凯 汪爱英 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第1期169-181,共13页
目的 研究渗铬界面层对铬/类石墨碳(Cr/Graphite-Like Carbon,GLC)复合涂层力学性能、结合强度及磨蚀行为的影响,阐明Cr/GLC复合涂层的抗磨蚀机理。方法 以316L不锈钢(316L)为基体,先借助双辉等离子表面合金化(DGPSA)技术制备渗铬界面层... 目的 研究渗铬界面层对铬/类石墨碳(Cr/Graphite-Like Carbon,GLC)复合涂层力学性能、结合强度及磨蚀行为的影响,阐明Cr/GLC复合涂层的抗磨蚀机理。方法 以316L不锈钢(316L)为基体,先借助双辉等离子表面合金化(DGPSA)技术制备渗铬界面层,再采用直流磁控溅射(DCMS)技术制备顶层GLC涂层。利用扫描电子显微镜(SEM)、共聚焦显微拉曼光谱仪(Raman)和X射线衍射仪(XRD)表征涂层的微结构与成分,采用纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损仪和电化学工作站测试复合涂层的力学性能、断裂韧性、结合强度和抗磨蚀性能。结果 渗铬界面层能够促进GLC涂层的石墨化转变,实现硬度分布的梯度变化(基体为3.65 GPa,渗铬界面层为8.97 GPa,表面为13.15 GPa),有效阻碍了裂纹的扩展。与GLC涂层相比,Cr/GLC复合涂层具有较高的断裂韧性和结合强度(≥50 N),在3.5%NaCl溶液中具有更低的摩擦系数(0.055)和更低的磨损率(3.22×10^(-7)mm^(3)/Nm),其抗腐蚀性和化学稳定性也明显更优。结论 通过界面设计,实现了Cr/GLC复合涂层硬度分布的梯度过渡,提高了复合涂层的断裂韧性以及与316L的结合强度,赋予了复合涂层优异的抗磨蚀性能,为其在海洋苛刻环境下的磨蚀防护提供了有益借鉴。 展开更多
关键词 双辉等离子表面合金化 直流磁控溅射 类石墨碳 渗铬界面层 结合强度 磨蚀
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纯钨表面等离子Ta合金层耐腐蚀性能研究
4
作者 薛海龙 赵鹏飞 +1 位作者 剌玲敏 秦林 《热加工工艺》 北大核心 2024年第2期97-99,104,共4页
利用双层辉光等离子表面合金化技术在纯钨表面制备Ta合金化改性层以改善材料的耐腐蚀性。研究不同温度工艺参数对Ta合金层组织结构及耐腐蚀性能的影响。结果表明:在不同温度工艺参数下均制备出连续致密的Ta合金化改性层,且随温度升高,... 利用双层辉光等离子表面合金化技术在纯钨表面制备Ta合金化改性层以改善材料的耐腐蚀性。研究不同温度工艺参数对Ta合金层组织结构及耐腐蚀性能的影响。结果表明:在不同温度工艺参数下均制备出连续致密的Ta合金化改性层,且随温度升高,合金层的厚度增加。合金层主要由纯Ta相组成。Ta合金层的自腐蚀电位高于基材的,而自腐蚀电流密度较低,即Ta合金层更难以发生电化学腐蚀反应且腐蚀速率更低。900℃合金层的耐蚀性能最佳,腐蚀速率降至8.45×10^(-3)g·m^(-2)·h^(-1),表现出优良的耐腐蚀性。 展开更多
关键词 纯钨基材 Ta合金化改性层 双辉等离子表面合金化技术 耐蚀性
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Ti-6Al-4V表面双层辉光离子渗Cr研究 被引量:23
5
作者 张平则 李忠厚 +2 位作者 贺志勇 徐重 张高会 《兵器材料科学与工程》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期17-20,共4页
利用双层辉光离子渗金属技术,在Ti-6Al-4V的表面渗入Cr元素,形成Ti-Cr阻燃合金层。系统地研究了温度、保温时间、源极电压、工件电压、极间距等工艺参数对渗层显微组织、成分及厚度的影响,得出了合理的工艺参数。870℃渗Cr 2 h,渗层厚... 利用双层辉光离子渗金属技术,在Ti-6Al-4V的表面渗入Cr元素,形成Ti-Cr阻燃合金层。系统地研究了温度、保温时间、源极电压、工件电压、极间距等工艺参数对渗层显微组织、成分及厚度的影响,得出了合理的工艺参数。870℃渗Cr 2 h,渗层厚度可达到60μm以上。阻燃合金层的成分呈梯度分布,显微组织为基体组织加少量弥散分布的Cr2Ti金属间化合物。初步阻燃试验证明,渗Cr合金层起到了预期的阻燃效果。 展开更多
关键词 双层辉光离子渗金属技术 合金层 显微组织 渗层厚度 TI-6AL-4V 表面 基体组织 阻燃 成分 研究
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纯Ti及Ti-6Al-4V双层辉光离子渗Mo 被引量:11
6
作者 张平则 徐重 +3 位作者 张高会 张艳梅 吴红艳 姚正军 《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期582-586,共5页
针对钛(T i)合金存在的耐磨性较差的问题,采用双层辉光离子渗金属技术,在工业纯T i和T i合金T i-6A l-4V合金表面渗钼(M o),制备出T i-M o合金层。渗层组织为-βT i(M o)固溶体,成分及硬度均呈梯度分布。利用划痕法研究了渗层与基体间... 针对钛(T i)合金存在的耐磨性较差的问题,采用双层辉光离子渗金属技术,在工业纯T i和T i合金T i-6A l-4V合金表面渗钼(M o),制备出T i-M o合金层。渗层组织为-βT i(M o)固溶体,成分及硬度均呈梯度分布。利用划痕法研究了渗层与基体间的结合强度,结果表明:渗M o后,持续加载100 N未发生渗层剥落现象;球盘磨损实验表明,T i-6A l-4V渗M o后,比磨损率降低为基体材料的1/500。磨损性能的提高得益于表面合金层中M o元素固溶强化而产生的高硬度。 展开更多
关键词 钛合金 双层辉光离子渗金属 等离子渗钼 磨损性能
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Ti2AlNb基合金表面渗铬层结构及其摩擦学性能 被引量:12
7
作者 吴红艳 张平则 +2 位作者 李建亮 马士剑 徐重 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1656-1660,共5页
采用双层辉光等离子表面合金化技术对Ti2AlNb基合金进行表面渗Cr处理,结果表明:经过离子渗铬处理后可获得约25μm的表面合金层;渗层中Cr含量随渗层深度呈梯度变化,且由于原子扩散能力的差异,在渗层的不同区域形成不同相,结合XRD和XPS分... 采用双层辉光等离子表面合金化技术对Ti2AlNb基合金进行表面渗Cr处理,结果表明:经过离子渗铬处理后可获得约25μm的表面合金层;渗层中Cr含量随渗层深度呈梯度变化,且由于原子扩散能力的差异,在渗层的不同区域形成不同相,结合XRD和XPS分析技术,证实表层以含Cr2Nb的Laves相和Al8Cr5相为主;渗层硬度值由外层的HV0.11 125逐渐过渡到基体的HV0.1400左右;渗Cr处理后合金室温摩擦因数由原来的0.24降低到0.15,由于硬质Cr2Nb和Al8Cr5相起到支撑载荷的作用,降低粘着磨损,室温磨损率降低60%以上;高温条件下由于氧化和摩擦磨损的共同作用,摩擦因数变化不大,磨损率降低20%。 展开更多
关键词 TI2ALNB基合金 双辉等离子表面合金化 摩擦 磨损
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双辉等离子表面冶金Ti-Cu阻燃合金的制备工艺 被引量:11
8
作者 张平则 徐重 +1 位作者 张高会 贺志勇 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期110-115,共6页
为解决整体阻燃钛合金存在的比强度低、加工性差及价格昂贵等问题, 利用双层辉光离子渗金属技术,在Ti 6Al 4V的表面渗入Cu元素, 在其表面形成Ti Cu阻燃合金层。研究了温度、保温时间、源极电压、工件电压、极间距等工艺参数对渗层显微... 为解决整体阻燃钛合金存在的比强度低、加工性差及价格昂贵等问题, 利用双层辉光离子渗金属技术,在Ti 6Al 4V的表面渗入Cu元素, 在其表面形成Ti Cu阻燃合金层。研究了温度、保温时间、源极电压、工件电压、极间距等工艺参数对渗层显微组织、成分及厚度的影响, 得出了适合的工艺参数。870 ℃渗铜 3.5 h, 渗层厚度可达到200μm以上。阻燃合金层的成分呈梯度分布, 显微组织为基体组织加弥散分布的Ti2Cu金属间化合物。初步阻燃实验证明, 渗Cu合金层起到了预期的阻燃效果。 展开更多
关键词 阻燃钛合金 双层辉光离子渗金属技术 表面合金化 渗铜
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防氚渗透涂层制备技术的研究进展 被引量:13
9
作者 刘红兵 陶杰 +1 位作者 张平则 徐江 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期47-50,54,共5页
在聚变堆研究中,聚变环境中涂层材料的防氚渗透问题是聚变堆材料研究的重要课题之一。主要介绍目前常用的几种防氚渗透涂层制备技术的研究进展,并提出利用双辉技术制备梯度氧化铝涂层在316L不锈钢表面形成Al2O3和SiC复合抗氚渗透层的新... 在聚变堆研究中,聚变环境中涂层材料的防氚渗透问题是聚变堆材料研究的重要课题之一。主要介绍目前常用的几种防氚渗透涂层制备技术的研究进展,并提出利用双辉技术制备梯度氧化铝涂层在316L不锈钢表面形成Al2O3和SiC复合抗氚渗透层的新技术。 展开更多
关键词 氚渗透 氚阻挡层 第一壁材料 双层辉光离子渗金属
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双层辉光离子渗金属技术特点分析 被引量:25
10
作者 高原 徐晋勇 +2 位作者 高清 成均 徐重 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2006年第6期56-59,共4页
详细介绍了双层辉光离子渗金属技术的基本原理、放电模式及渗金属过程。并就该技术的优势和特点进行了理论分析。结果表明,该技术在表面合金化技术领域中,是适合于高熔点金属表面合金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属... 详细介绍了双层辉光离子渗金属技术的基本原理、放电模式及渗金属过程。并就该技术的优势和特点进行了理论分析。结果表明,该技术在表面合金化技术领域中,是适合于高熔点金属表面合金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属表面进行合金化的实用工艺。 展开更多
关键词 双层辉光离子渗金属技术 高熔点金属 空心阴极效应 阴极溅射 扩散
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双辉等离子表面冶金技术的新进展 被引量:38
11
作者 徐重 张高会 +3 位作者 张平则 张艳梅 池成忠 袁庆龙 《中国工程科学》 2005年第6期73-78,共6页
总结了近年来双层辉光离子渗金属技术的发展,介绍了以双辉工艺在钛及钛合金表面形成阻燃合金,采用无氢渗碳在钛及钛合金表面形成高硬抗磨层,在纯铁、碳钢等基材表面形成时效硬化高速钢,在纯铜表面形成Ti-Cu耐磨合金等表面冶金新技术。
关键词 表面冶金 双层辉光离子渗金属 阻燃钛合金 无氢渗碳 时效硬化高速钢
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钨钼钇等离子共渗工艺及渗层组织的研究 被引量:19
12
作者 蔡航伟 高原 +4 位作者 马志康 王成磊 袁琳 张维 李冰 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期16-19,共4页
利用辉光等离子渗金属技术,在低碳钢Q235表面进行钨钼钇共渗,研究了极间距、保温温度、气压、保温时间对渗层厚度的影响,进而确定最优工艺参数,并对渗层的金相组织、合金元素分布及物相组成进行分析。结果表明:极间距25mm、保温温度1 00... 利用辉光等离子渗金属技术,在低碳钢Q235表面进行钨钼钇共渗,研究了极间距、保温温度、气压、保温时间对渗层厚度的影响,进而确定最优工艺参数,并对渗层的金相组织、合金元素分布及物相组成进行分析。结果表明:极间距25mm、保温温度1 000℃、工作气压30Pa、保温时间3h为最优参数,所得渗层的厚度可达37μm;渗层组织为柱状晶,渗层与基体有一明显分界线;钨、钼在渗层中呈梯度分布,钇在渗层中呈不均匀分布并在晶界处发生偏聚。 展开更多
关键词 辉光等离子 钨钼钇共渗 渗层厚度
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Ti_2AlNb双层辉光等离子渗Cr的摩擦磨损性能研究 被引量:10
13
作者 梁文萍 徐重 +2 位作者 缪强 刘小萍 贺志勇 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期121-125,共5页
采用双层辉光等离子表面冶金技术对Ti2AlNbO相合金进行渗Cr处理,采用扫描电子显微镜、辉光放电光谱分析仪及X射线衍射仪分析了渗Cr层的微观组织、化学成分及相组成,由表及里测试了渗层显微硬度分布,通过无润滑条件下的球-盘式摩擦磨损... 采用双层辉光等离子表面冶金技术对Ti2AlNbO相合金进行渗Cr处理,采用扫描电子显微镜、辉光放电光谱分析仪及X射线衍射仪分析了渗Cr层的微观组织、化学成分及相组成,由表及里测试了渗层显微硬度分布,通过无润滑条件下的球-盘式摩擦磨损试验研究了渗Cr处理对其摩擦磨损性能的影响.结果表明:渗Cr层厚度约30μm,表面Cr含量达38%且由表及里呈梯度分布;渗Cr层主要由Al8Cr5、AlNb2及Cr2Nb、Cr2Ti等相组成,硬度达950HV,渗Cr试样的平均摩擦系数为0.10;磨损率仅为Ti2AlNb基材的1/20. 展开更多
关键词 Ti2AlNbO相合金 双层辉光等离子表面渗Cr 显微硬度 摩擦磨损性能
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双层辉光法制备含银抗菌不锈钢层工艺 被引量:11
14
作者 王蕾 覃志伟 +3 位作者 倪红卫 熊平源 许伯藩 王君 《表面技术》 EI CAS CSCD 2006年第3期39-41,56,共4页
为了研究双层辉光法制备含银抗菌不锈钢层,通过抗菌试验、盐干湿循环腐蚀试验、SEM、XPS等手段,研究了扩散工艺参数与抗菌性能、耐蚀性能之间的关系。结果表明,双层辉光法制备含银抗菌不锈钢层的可行工艺参数为:电压1.2kV,气流量... 为了研究双层辉光法制备含银抗菌不锈钢层,通过抗菌试验、盐干湿循环腐蚀试验、SEM、XPS等手段,研究了扩散工艺参数与抗菌性能、耐蚀性能之间的关系。结果表明,双层辉光法制备含银抗菌不锈钢层的可行工艺参数为:电压1.2kV,气流量为20~40ml/min,时间为3h;含银抗菌不锈钢的杀菌率可达到100%,耐蚀性能没有降低;银在基体中呈弥散状态分布,其价态为一价。 展开更多
关键词 双层辉光法 抗菌不锈钢 抗菌性 耐蚀性 渗银
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双层辉光离子渗金属技术特点 被引量:40
15
作者 高原 徐晋勇 +2 位作者 高清 安晋平 徐重 《中国工程科学》 2008年第2期26-30,共5页
分析了双层辉光技术的特点,指出该技术在材料表面合金化方面,是一项适合于高熔点金属表面合金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属材料进行表面合金化的工艺技术。
关键词 双层辉光离子渗金属技术 高熔点金属 空心阴极效应 阴极溅射 扩散
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T8钢的低温双辉等离子渗铬研究 被引量:19
16
作者 池成忠 高原 +1 位作者 赵晋香 徐重 《太原理工大学学报》 CAS 2003年第3期285-287,共3页
研究了 T8钢低温双辉等离子渗铬工艺 ,分析了改性层的显微组织和相结构 ,测量了改性层的厚度、硬度及铬浓度分布 ,并对改性层进行了划痕检验。结果表明 ,T8钢在 90 0℃以下温度进行双辉等离子渗铬也可得到良好的改性层。改性层由沉积层。
关键词 T8钢 低温双辉等离子渗铬 显微组织 相结构 改性层 表面合金化
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钛合金表面双层辉光离子渗铝的研究 被引量:8
17
作者 段良辉 刘亚萍 +3 位作者 潘俊德 崔彩娥 缪强 徐重 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2005年第6期40-41,共2页
利用双层辉光渗金属技术,以铝为源极、TC4(Ti-6Al-4V)为阴极、氩气为工作气体,依靠辉光放电和不等电位空心阴极效应在TC4表面形成合金层。采用X射线衍射和辉光放电光谱分析了合金层的相组成及渗层内Al元素的分布,并对其进行硬度测试。... 利用双层辉光渗金属技术,以铝为源极、TC4(Ti-6Al-4V)为阴极、氩气为工作气体,依靠辉光放电和不等电位空心阴极效应在TC4表面形成合金层。采用X射线衍射和辉光放电光谱分析了合金层的相组成及渗层内Al元素的分布,并对其进行硬度测试。结果表明:渗层由Ti3Al和α-Ti组成;铝的含量可达18%;渗层厚度可达13滋m;其硬度比经渗铝处理后的有了较大程度的提高。 展开更多
关键词 双层辉光离子渗金属 TC4(Ti-6Al-4V) 辉光放电 TI3AL 硬度值
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加弧辉光离子渗NiCr与喷丸强化复合处理对钛合金微动疲劳性能的影响研究 被引量:13
18
作者 刘道新 唐宾 +1 位作者 潘俊德 何家文 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期81-85,共5页
研究了钛合金表面加弧辉光离子渗 Ni Cr层的相组成和分布 ,对 Ni Cr渗层进行喷丸形变强化后处理 ,以协同提高钛合金耐微动疲劳性能 .研究结果表明 :利用加弧辉光离子渗技术可以获得由 Ni3Ti金属间化合物等组成的渗镀复合层 ,从而提高钛... 研究了钛合金表面加弧辉光离子渗 Ni Cr层的相组成和分布 ,对 Ni Cr渗层进行喷丸形变强化后处理 ,以协同提高钛合金耐微动疲劳性能 .研究结果表明 :利用加弧辉光离子渗技术可以获得由 Ni3Ti金属间化合物等组成的渗镀复合层 ,从而提高钛合金的表面硬度和耐磨性能 ;Ni Cr渗层的耐磨性能与喷丸强化引入的表面残余压应力协同作用 ,使钛合金经加弧辉光离子渗 Ni Cr和喷丸形变强化复合处理后的耐微动疲劳性能较单一喷丸强化处理更好 . 展开更多
关键词 等离子表面合金化 辉光放电 弧光放电 喷丸强化 钛合金 微动疲劳
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Fe-Co-W-Mo型表面时效硬化合金的表面时效硬化特性(Ⅱ) 被引量:6
19
作者 李忠厚 刘小萍 +1 位作者 高原 徐重 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期51-54,共4页
利用双层辉光离子渗金属技术在工业纯铁表面形成高钴的Fe Co W Mo型表面时效硬化合金。研究表明 ,这种表面合金具有时效硬化迅速、硬化能力强和抗回火软化能力强的特点。合金经 1 2 4 0℃固溶处理后于 540℃时效 5min ,硬度就从固溶态的... 利用双层辉光离子渗金属技术在工业纯铁表面形成高钴的Fe Co W Mo型表面时效硬化合金。研究表明 ,这种表面合金具有时效硬化迅速、硬化能力强和抗回火软化能力强的特点。合金经 1 2 4 0℃固溶处理后于 540℃时效 5min ,硬度就从固溶态的 50 0HV0 .2 左右上升到 750HV0 .2 ;时效 40min ,硬度上升到 1 2 0 0HV0 .2 左右 ;于70 0℃回火 2h ,表层硬度仍保持 72 0HV0 .2 以上。 展开更多
关键词 双辉技术 表面合金 时效硬化 离子渗金属
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纯铜双层辉光离子渗镍研究 被引量:7
20
作者 袁庆龙 苏永安 徐重 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期40-42,共3页
介绍了采用双层辉光离子渗金属技术在纯铜表面制备Cu Ni合金层的新方法 ,讨论了Cu Ni合金层的组织、成分和性能特点 ,分析了辉光放电条件、源极溅射率及表面金属势对Cu Ni合金层形成过程的影响。试验结果表明渗层厚度及渗层质量与辉光... 介绍了采用双层辉光离子渗金属技术在纯铜表面制备Cu Ni合金层的新方法 ,讨论了Cu Ni合金层的组织、成分和性能特点 ,分析了辉光放电条件、源极溅射率及表面金属势对Cu Ni合金层形成过程的影响。试验结果表明渗层厚度及渗层质量与辉光放电条件有关 ,在保证渗金属温度的前提下 ,应尽可能提高源极电压 ,降低试件电压。此外 ,该工艺还具有渗速快、效率高。 展开更多
关键词 纯铜双层辉光离子渗镍 耐蚀性 传导性 源极溅射率 表面金属势 表面合金化
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