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直流法制备类富勒烯碳氢薄膜的摩擦学性能研究
被引量：
3
1
作者
欧玉静
郭俊猛
+4 位作者
王永富
高凯雄
梁爱民
张斌
张俊彦
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期82-89,共8页
采用直流等离子体化学气相沉积(dc-PECVD)技术,以甲烷为前驱体,在单晶硅表面制备了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜.简化了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜的脉冲偏压协助等离子体化学气相制备过程(mcPECVD),通过高分辨率透射电镜和拉曼光谱确定了...
采用直流等离子体化学气相沉积(dc-PECVD)技术,以甲烷为前驱体,在单晶硅表面制备了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜.简化了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜的脉冲偏压协助等离子体化学气相制备过程(mcPECVD),通过高分辨率透射电镜和拉曼光谱确定了FL-C∶H薄膜的微观结构和薄膜内的富勒烯含量;通过纳米压痕和往复摩擦试验对比了两种方法制备的FL-C∶H与传统的DLC薄膜的硬度及摩擦性能.结果表明:与用脉冲偏压协助方案制备的含氢类富勒烯薄膜相比,直流方案制备的FL-C∶H薄膜具有相似的微观结构,更优异的机械特性及摩擦学性能,同时该薄膜表现出对载荷、频率和相对湿度的低敏感性.
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关键词
直流
类富勒烯
脉冲偏压协助
低敏感性
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职称材料
题名
直流法制备类富勒烯碳氢薄膜的摩擦学性能研究
被引量：
3
1
作者
欧玉静
郭俊猛
王永富
高凯雄
梁爱民
张斌
张俊彦
机构
兰州理工大学
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第1期82-89,共8页
基金
国家973项目(2013CB632304)
国家自然科学基金(51275508
51205383)资助~~
文摘
采用直流等离子体化学气相沉积(dc-PECVD)技术,以甲烷为前驱体,在单晶硅表面制备了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜.简化了含氢类富勒烯(FL-C∶H)薄膜的脉冲偏压协助等离子体化学气相制备过程(mcPECVD),通过高分辨率透射电镜和拉曼光谱确定了FL-C∶H薄膜的微观结构和薄膜内的富勒烯含量;通过纳米压痕和往复摩擦试验对比了两种方法制备的FL-C∶H与传统的DLC薄膜的硬度及摩擦性能.结果表明:与用脉冲偏压协助方案制备的含氢类富勒烯薄膜相比,直流方案制备的FL-C∶H薄膜具有相似的微观结构,更优异的机械特性及摩擦学性能,同时该薄膜表现出对载荷、频率和相对湿度的低敏感性.
关键词
直流
类富勒烯
脉冲偏压协助
低敏感性
Keywords
direct current
,
fullerene-like
,
pulse bias-assisted
,
low sensitivity
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流法制备类富勒烯碳氢薄膜的摩擦学性能研究
欧玉静
郭俊猛
王永富
高凯雄
梁爱民
张斌
张俊彦
《摩擦学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
3
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