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不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究
被引量：
3
1
作者
黄树涛
于骏一
+1 位作者
姚英学
袁哲俊
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期279-282,共4页
研究了金刚石薄膜在 Ｗ Ｃ６ ％ Ｃｏ 硬质合金、金属 Ｗ 和单晶 Ｓｉ 片上的成核特点。实验结果表明，金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同。用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶 Ｓｉ 片上的成核密...
研究了金刚石薄膜在 Ｗ Ｃ６ ％ Ｃｏ 硬质合金、金属 Ｗ 和单晶 Ｓｉ 片上的成核特点。实验结果表明，金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同。用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶 Ｓｉ 片上的成核密度有较大影响，而对在 Ｗ Ｃ６ ％ Ｃｏ 硬质合金和金属 Ｗ 上的成核密度没有太大影响。
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关键词
金刚石薄膜
成核密度
衬底材料
化学气相沉积
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职称材料
题名
不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究
被引量：
3
1
作者
黄树涛
于骏一
姚英学
袁哲俊
机构
吉林工业大学机械工程系
哈尔滨工业大学机械工程系
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第3期279-282,共4页
文摘
研究了金刚石薄膜在 Ｗ Ｃ６ ％ Ｃｏ 硬质合金、金属 Ｗ 和单晶 Ｓｉ 片上的成核特点。实验结果表明，金刚石薄膜在上述衬底材料上的成核特点和成核机制不同。用于衬底研磨预处理的金刚石微粉粒度对金刚石在单晶 Ｓｉ 片上的成核密度有较大影响，而对在 Ｗ Ｃ６ ％ Ｃｏ 硬质合金和金属 Ｗ 上的成核密度没有太大影响。
关键词
金刚石薄膜
成核密度
衬底材料
化学气相沉积
Keywords
diamond film
,
nucleation density
,
substrate material
,
chemical vapor deposition
分类号
O613.71 [理学—无机化学]
O484.1 [理学—固体物理]
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作者
出处
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被引量
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1
不同衬底材料上金刚石薄膜成核特点的研究
黄树涛
于骏一
姚英学
袁哲俊
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999
3
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