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DLTS测试条件对不同位置深能级表征的影响
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作者 黄瑾 郑清洪 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期869-874,共6页
材料纯度、生长工艺、退火条件均会影响半导体材料中的杂质或缺陷能级状态,如何精确测量半导体中的能级位置、俘获截面及浓度是进行材料物理研究、制备高性能电子器件的关键步骤。利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,采用不同测试条件测量n+p... 材料纯度、生长工艺、退火条件均会影响半导体材料中的杂质或缺陷能级状态,如何精确测量半导体中的能级位置、俘获截面及浓度是进行材料物理研究、制备高性能电子器件的关键步骤。利用深能级瞬态谱(DLTS)技术,采用不同测试条件测量n+p结构硅材料中出现的不同能级位置的深能级,观察到p型外延层中出现的7个深能级。对比不同锁相频率、降升温模式、脉冲宽度、注入脉冲电压对测试结果和精度的影响。结果表明,为了有效地测试同一材料中出现的不同能级位置的深能级,应该尽量采用较高的锁相频率和较大的脉冲宽度,并且在降温模式下进行测试,以便有效地分辨较浅能级的谱峰。该测试方法可以推广到其他多能级半导体材料的表征。 展开更多
关键词 深能级瞬态谱(dlts) 深能级 能级位置 俘获截面 锁相频率 脉冲宽度
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ZnO/p-Si异质结的深能级及其对发光的影响 被引量:13
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作者 刘磁辉 朱俊杰 +4 位作者 林碧霞 陈宇林 彭聪 杨震 傅竹西 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期218-222,共5页
利用深能级瞬态谱 (DLTS)和光致发光谱 (PL) ,研究了ZnO/p Si异质结的两种不同温度 (85 0℃ ,10 0 0℃ )退火下的深能级中心。发现 85 0℃退火的样品存在 3个明显的深中心 ,分别为E1=Ev+0 2 1eV ,E2=Ev+0 44eV ,E3=Ev+0 71eV ;而 10 ... 利用深能级瞬态谱 (DLTS)和光致发光谱 (PL) ,研究了ZnO/p Si异质结的两种不同温度 (85 0℃ ,10 0 0℃ )退火下的深能级中心。发现 85 0℃退火的样品存在 3个明显的深中心 ,分别为E1=Ev+0 2 1eV ,E2=Ev+0 44eV ,E3=Ev+0 71eV ;而 10 0 0℃退火样品仅存在一个E1=Ev+0 2 1eV的中心 ,且其隙态密度要比 85 0℃退火的大。同时 ,测量了两个样品的PL谱。发现 10 0 0℃退火可消除一些影响发光强度的深能级 ,对改善晶格结构 ,提高样品的发光强度有利。 展开更多
关键词 深能级瞬态谱 dlts PL谱 光致发光谱 发光强度 ZnO/p-Si异质结 半导体材料 深能级 氧化锌/磷-硅异质结
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基于深能级瞬态谱的深能级中心的仿真 被引量:1
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作者 陆绮荣 黄彬 +1 位作者 韦艳冰 高冬美 《计算机应用》 CSCD 北大核心 2011年第A01期159-162,共4页
介绍了深能级瞬态谱(DLTS)的基本原理,作了n型样品的深能级瞬态谱的计算。描述了DLTS信号的仿真方法,对n型6H-SiC中的一个深能级陷阱中心用Labview进行了仿真实验,探讨了率窗值等各参数对DLTS信号形状的影响。仿真结果表明,DLTS峰值温... 介绍了深能级瞬态谱(DLTS)的基本原理,作了n型样品的深能级瞬态谱的计算。描述了DLTS信号的仿真方法,对n型6H-SiC中的一个深能级陷阱中心用Labview进行了仿真实验,探讨了率窗值等各参数对DLTS信号形状的影响。仿真结果表明,DLTS峰值温度及半宽度随着所有的参数改变而变化,但峰值的高度只与率窗值的选择有关。 展开更多
关键词 深能级瞬态谱 率窗 深能级 陷阱中心 仿真
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气源分子束外延生长的InPBi薄膜材料中的深能级中心
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作者 王海龙 韦志禄 +7 位作者 李耀耀 王凯 潘文武 吴晓燕 岳丽 李士玲 龚谦 王庶民 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期1532-1537,共6页
利用深能级瞬态谱(DLTS)研究了气源分子束外延(GSMBE)生长的InP1-xBix材料中深能级中心的性质。在未有意掺杂的InP中测量到一个多数载流子深能级中心E1,E1的能级位置为Ec-0.38 e V,俘获截面为1.87×10^(-15)cm^2。在未有意掺杂的InP... 利用深能级瞬态谱(DLTS)研究了气源分子束外延(GSMBE)生长的InP1-xBix材料中深能级中心的性质。在未有意掺杂的InP中测量到一个多数载流子深能级中心E1,E1的能级位置为Ec-0.38 e V,俘获截面为1.87×10^(-15)cm^2。在未有意掺杂的InP0.9751Bi0.0249中测量到一个少数载流子深能级中心H1,H1的能级位置为Ev+0.31 eV,俘获截面为2.87×10^(-17)cm^2。深中心E1应该起源于本征反位缺陷PIn,深中心H1可能来源于形成的Bi原子对或者更复杂的与Bi相关的团簇。明确这些缺陷的起源对于InPBi材料在器件应用方面具有重要的意义。 展开更多
关键词 InPBi 深中心 深能级瞬态谱(dlts) 气源分子束外延(GSMBE)
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温场均匀性对CdTe薄膜及太阳电池性能的影响
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作者 李愿杰 郑家贵 +2 位作者 冯良桓 黎兵 曾广根 《四川大学学报(工程科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期119-123,共5页
采用近空间升华法(CSS)制备CdTe多晶薄膜,模拟制备过程中的温场变化,结合I-V、C-V特性及深能级瞬态谱研究温场均匀性对CdS/CdTe太阳电池性能的影响。结果表明,温场分布和薄膜厚度分布基本一致,温场均匀性对电池组件的开路电压影响不大,... 采用近空间升华法(CSS)制备CdTe多晶薄膜,模拟制备过程中的温场变化,结合I-V、C-V特性及深能级瞬态谱研究温场均匀性对CdS/CdTe太阳电池性能的影响。结果表明,温场分布和薄膜厚度分布基本一致,温场均匀性对电池组件的开路电压影响不大,对短路电流和填充因子有影响,CdTe薄膜的深中心对温度和频率的响应基本一致。580℃制备的样品暗饱和电流密度最小,载流子浓度较高,光电特性较好,而且空穴陷阱浓度较低,深中心复合作用较小。通过改进温场的均匀性能够制备出组件转换效率为8.2%的CdS/CdTe太阳电池。 展开更多
关键词 CDTE薄膜 CdS/CdTe太阳电池 深能级瞬态谱(dlts)
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In_(0.49)Ga_(0.51)P中缺陷的俘获行为
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作者 王海龙 封松林 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第1期17-21,共5页
利用深能级瞬态谱(DLTS)和瞬态光电阻率谱(TPRS)研究了利用金属有机物化学汽相沉淀(MOCVD)生长的未有意掺杂的In0.49Ga0.51P中缺陷对载流子的俘获过程和发射过程.利用DLTS测量观测到了一个激活能... 利用深能级瞬态谱(DLTS)和瞬态光电阻率谱(TPRS)研究了利用金属有机物化学汽相沉淀(MOCVD)生长的未有意掺杂的In0.49Ga0.51P中缺陷对载流子的俘获过程和发射过程.利用DLTS测量观测到了一个激活能为0.37eV的缺陷,该缺陷的俘获势垒值介于180meV到240meV之间.该缺陷的俘获势垒值的大的分布被解释为缺陷周围原子重组的微观波动.在研究中发现研究这些缺陷的俘获过程比发射过程更有效,俘获势垒为0.06eV和0.40eV的两个缺陷在俘获过程中被观测到。 展开更多
关键词 深能级瞬态谱 俘获势垒 铟镓磷 半导体 缺陷
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掺铂和电子辐照对快恢复二极管性能的影响 被引量:2
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作者 赵豹 贾云鹏 +4 位作者 吴郁 胡冬青 周璇 李哲 谭健 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期37-41,共5页
寿命控制技术是现在广泛使用的方法,该方法旨在减少快恢复二极管(FRD)基区载流子寿命从而实现更小的反向恢复时间,同时不可避免地引起其他性能的变化。通过高能电子辐照和扩铂对1 200 V FRD进行了寿命控制,并对铂扩散和电子辐照样品在... 寿命控制技术是现在广泛使用的方法,该方法旨在减少快恢复二极管(FRD)基区载流子寿命从而实现更小的反向恢复时间,同时不可避免地引起其他性能的变化。通过高能电子辐照和扩铂对1 200 V FRD进行了寿命控制,并对铂扩散和电子辐照样品在正向压降温度特性、静态和反向恢复特性等方面进行了对比分析,发现铂扩散样品随扩铂温度的增加,其击穿电压变大;高能电子辐照器件呈现电压正温度系数,其正向压降和反向恢复时间(VF-trr)折中曲线更靠近原点。实验结果表明,高能电子辐照样品具有更好的温度系数、更好的VF-trr折中特性,然而反向电流在125℃却高达约210μA。 展开更多
关键词 寿命控制 扩铂 电子辐照 快恢复二极管(FRD) 深能级瞬态谱(dlts)
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硅外延平面NPN双极晶体管的总剂量辐射损伤缺陷研究 被引量:2
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作者 彭超 雷志锋 +2 位作者 张鸿 张战刚 何玉娟 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第10期2187-2194,共8页
本文针对国产NPN双极晶体管开展了不同偏置下的总剂量辐照试验。试验结果表明,辐照主要导致双极晶体管的基极电流增加和电流增益降低。同时,NPN晶体管在反向偏置下表现出较零偏下更严重的退化。分析发现,双极晶体管性能退化主要来源于... 本文针对国产NPN双极晶体管开展了不同偏置下的总剂量辐照试验。试验结果表明,辐照主要导致双极晶体管的基极电流增加和电流增益降低。同时,NPN晶体管在反向偏置下表现出较零偏下更严重的退化。分析发现,双极晶体管性能退化主要来源于辐射诱生缺陷导致的复合电流增加。最后,基于深能级瞬态谱开展了NPN晶体管发射结的缺陷测试,发现辐射会导致缺陷密度的增加和缺陷能级的改变。 展开更多
关键词 双极晶体管 总剂量效应 深能级瞬态谱 辐射损伤缺陷
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GaAs_(1-x)P_x:TeLED中深能级及其对发光效率的影响
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作者 陈世帛 周必忠 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1995年第5期715-718,共4页
利用深能级瞬态谱(DLTS)方法研究了不同发光效率的掺Te的GaAs_(1-x)P_xLED中的深中心,探讨深能级对GaAs_(1-x)P_x:TeLED发光效率的影响,结果表明,发射率激活能为0.40eV的B能级是... 利用深能级瞬态谱(DLTS)方法研究了不同发光效率的掺Te的GaAs_(1-x)P_xLED中的深中心,探讨深能级对GaAs_(1-x)P_x:TeLED发光效率的影响,结果表明,发射率激活能为0.40eV的B能级是影响发光效率的主要无幅射中心. 展开更多
关键词 深能级 发光效率 混晶半导体 光电效应
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