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Actions of negative bias temperature instability (NBTI) and hot carriers in ultra-deep submicron p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (PMOSFETs)
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作者 刘红侠 郝跃 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第7期2111-2115,共5页
Hot carrier injection (HCI) at high temperatures and different values of gate bias Vg has been performed in order to study the actions of negative bias temperature instability (NBTI) and hot carriers. Hot-carrier-... Hot carrier injection (HCI) at high temperatures and different values of gate bias Vg has been performed in order to study the actions of negative bias temperature instability (NBTI) and hot carriers. Hot-carrier-stress-induced damage at Vg = Vd, where Vd is the voltage of the transistor drain, increases as temperature rises, contrary to conventional hot carrier behaviour, which is identified as being related to the NBTI. A comparison between the actions of NBTI and hot carriers at low and high gate voltages shows that the damage behaviours are quite different: the low gate voltage stress results in an increase in transconductance, while the NBTI-dominated high gate voltage and high temperature stress causes a decrease in transconductance. It is concluded that this can be a major source of hot carrier damage at elevated temperatures and high gate voltage stressing of p-channel metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (PMOSFETs). We demonstrate a novel mode of NBTI-enhanced hot carrier degradation in PMOSFETs. A novel method to decouple the actions of NBTI from that of hot carriers is also presented. 展开更多
关键词 ultra-deep submicron PMOSFETs negative bias temperature instability (NBTI) hot carrier injection (HCI) positive fixed oxide charges
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集成侧墙技术的80nm栅GaN HEMT
2
作者 孔欣 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第9期1044-1050,共7页
目前业界主要采用电子束曝光技术制作高频氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)的深亚微米T型栅,存在效率低下、良率不足和成本较高的问题。本文采用集成侧墙技术,在6英寸工业化产线上首次成功制造了纯光学曝光的80 nm T型栅GaN HEMT,并... 目前业界主要采用电子束曝光技术制作高频氮化镓高电子迁移率晶体管(GaN HEMT)的深亚微米T型栅,存在效率低下、良率不足和成本较高的问题。本文采用集成侧墙技术,在6英寸工业化产线上首次成功制造了纯光学曝光的80 nm T型栅GaN HEMT,并对器件性能参数进行了全面表征和分析。器件单位栅宽(每毫米)下,最大输出电流Id,max为993 mA,峰值跨导Gm,peak为385 mS;阈值电压Uth为-3.25 V,关态击穿电压超过80 V;电流增益截止频率(fT)和功率增益截止频率(fmax)分别为64 GHz和175 GHz。在28 V工作时,器件在16 GHz下的饱和输出功率、功率增益和功率附加效率分别为26.95 dBm(每毫米4.9 W)、11.08 dB和49.78%;在30 GHz下器件的饱和输出功率、功率增益和功率附加效率分别为26.15 dBm(每毫米4.1 W)、8.8 dB和44%。结果表明,集成侧墙技术在深亚微米GaN HEMT制造中具备较好的应用前景。 展开更多
关键词 氮化镓高电子迁移率晶体管 光学栅 侧墙 短沟道效应 深亚微米
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脱硫吸收塔深度除尘机理研究
3
作者 姜雅洲 邓丽萍 +1 位作者 刘文榉 葛春亮 《能源工程》 2024年第4期56-64,共9页
本文研究了石灰石-石膏湿法脱硫塔内气液固三相介质流场中亚微米级和微米级颗粒物的深度除尘机理。采用欧拉-离散相模型模拟单液滴对颗粒物的捕集过程,分析不同粒径颗粒在脱硫塔内的分布和捕集情况。针对亚微米级颗粒,研究结果显示,脱... 本文研究了石灰石-石膏湿法脱硫塔内气液固三相介质流场中亚微米级和微米级颗粒物的深度除尘机理。采用欧拉-离散相模型模拟单液滴对颗粒物的捕集过程,分析不同粒径颗粒在脱硫塔内的分布和捕集情况。针对亚微米级颗粒,研究结果显示,脱硫塔内的主导捕集机制为热泳捕集,而惯性捕集、拦截捕集作用相对较弱;增加气液两相温差有助于提高脱硫塔对亚微米级颗粒的脱除效率。对于微米级颗粒,惯性捕集成为最主要的机制,其捕集效率受到气液相对速度和液滴体积分数的影响。增大气液相对速度和液滴体积分数可以提高脱硫塔对微米级颗粒物的脱除效率。 展开更多
关键词 气液固三相介质流场 亚微米级颗粒 微米级颗粒 深度除尘机理 欧拉-离散相模型
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深亚微米MOSFET热载流子退化机理及建模的研究进展 被引量:6
4
作者 张卫东 郝跃 汤玉生 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第2期76-80,43,共6页
本文给出了深亚微米MOS器件热载流子效应及可靠性研究与进展.对当前深亚微米MOS器件中的主要热载流子现象以及由其引起的器件性能退化的物理机制进行了详细论述.不仅对热电子,同时也对热空穴的影响进行了重点研究,为深亚微米... 本文给出了深亚微米MOS器件热载流子效应及可靠性研究与进展.对当前深亚微米MOS器件中的主要热载流子现象以及由其引起的器件性能退化的物理机制进行了详细论述.不仅对热电子,同时也对热空穴的影响进行了重点研究,为深亚微米CMOS电路热载流子可靠性研究奠定了基础.本文还讨论了深亚微米器件热载流子可靠性模型,尤其是MOS器件的热载流子退化模型. 展开更多
关键词 深亚微米 MOSFET 热载流子 可靠性 退化 模型
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超深亚微米SOI NMOSFET中子辐照效应数值模拟 被引量:5
5
作者 胡志良 贺朝会 +1 位作者 张国和 郭达禧 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期456-460,共5页
考虑3种特征尺寸的超深亚微米SOI NMOSFET的中子辐照效应。分析了中子位移辐照损伤机理,数值模拟了3种器件输出特性曲线随能量为1MeV的等效中子在不同辐照注量下的变化关系及中子辐照环境下器件工艺参数对超深亚微米SOI NMOSFET的影响... 考虑3种特征尺寸的超深亚微米SOI NMOSFET的中子辐照效应。分析了中子位移辐照损伤机理,数值模拟了3种器件输出特性曲线随能量为1MeV的等效中子在不同辐照注量下的变化关系及中子辐照环境下器件工艺参数对超深亚微米SOI NMOSFET的影响。数值模拟部分结果与反应堆中子辐照实验结果一致。 展开更多
关键词 中子辐照 超深亚微米 SOI NMOSFET 数值模拟
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深亚微米VLSI物理设计中天线效应的预防及修复 被引量:6
6
作者 王伟 冯哲 +1 位作者 候立刚 吴武臣 《微电子学与计算机》 CSCD 北大核心 2007年第8期42-45,48,共5页
深亚微米超大规模集成电路(VLSI)中金属互连线的天线效应(PAE)将会严重影响芯片物理设计的结果,甚至造成设计的失败。因此详细分析了天线效应的产生、危害和计算方法,重点讨论了深亚微米VLSI芯片物理设计中的PAE预防和修复方法,并且针... 深亚微米超大规模集成电路(VLSI)中金属互连线的天线效应(PAE)将会严重影响芯片物理设计的结果,甚至造成设计的失败。因此详细分析了天线效应的产生、危害和计算方法,重点讨论了深亚微米VLSI芯片物理设计中的PAE预防和修复方法,并且针对面积和时序要求苛刻的复杂芯片设计提出了优化的迭代流程。上述方法和流程成功应用于本研究室协作承担的"风芯Ⅱ号"H.264/AVC-AVS视频解码SoC芯片的后端物理设计过程中,极大地提高了天线效应的预防和修复效率,消除了版图中全部潜在高危PAE问题且节省了18.18%的迭代次数,节约了17.39%的芯片管芯面积,确保并实现了芯片流片的一次成功。 展开更多
关键词 天线效应(PAE) 深亚微米 VLSI 物理设计 预布线 迭代
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超深亚微米高速互连的信号串扰研究 被引量:2
7
作者 史江一 马晓华 +2 位作者 郝跃 方建平 朱志炜 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期540-544,559,共6页
探讨了超深亚微米设计中的高速互连线串扰产生机制,提出了一种描述高速互连串扰的电容、电感耦合模型,通过频域变换方法对模型的有效性进行了理论分析。针对0.18μm工艺条件提出了该模型的测试结构,进行了流片和测量。实测结果表明,该... 探讨了超深亚微米设计中的高速互连线串扰产生机制,提出了一种描述高速互连串扰的电容、电感耦合模型,通过频域变换方法对模型的有效性进行了理论分析。针对0.18μm工艺条件提出了该模型的测试结构,进行了流片和测量。实测结果表明,该模型能够较好地表征超深亚微米电路的高速互连串扰效应,能够定量计算片上互连线间的耦合串扰,给出不同工艺的互连线长度的优化值。 展开更多
关键词 串扰 互连 超深亚微米 信号完整性
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短沟道MOSFET解析物理模型 被引量:2
8
作者 杨谟华 于奇 +2 位作者 肖兵 谢晓峰 李竞春 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第11期84-86,92,共4页
本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和... 本文基于修正的二维泊松方程导出了适用于深亚微米MOSFET的阈值电压解析模型,并进而通过反型区电荷统一表达式并考虑到载流子速度饱和、DIBL、相关迁移率、反型层电容和沟道长度调制等主要小尺寸与高场效应,最后得到了较为准确、连续和可缩小的漏极电流模型.模型输出与华晶等样品测试MINIMOS模拟结果较为吻合。 展开更多
关键词 短沟道 MOSFET 解析物理模型 VLSI/ULSI
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深亚微米MOSFET模型研究进展 被引量:2
9
作者 周浩华 姚立真 郝跃 《电子科技》 1997年第2期11-14,共4页
文中在对深亚微米MOSFET的器件模型的研究基础上,提出了研究MOSFET模型值得注意的问题。
关键词 深亚微米 MOSFET 器件模型 集成电路 制造工艺
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面向实时图像处理应用的BAP1024芯片设计 被引量:1
10
作者 来金梅 张明 +1 位作者 姚庆栋 陈晓初 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第8期69-71,共3页
本文给出了研制中的 0 35 μmCMOS工艺的超大规模并行阵列处理芯片BAP10 2 4(Bit serialArrayProces sorwith 10 2 4processelements)的主要结构。
关键词 实时图像处理 CMOS BAP1024 VLSI
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深亚微米应变SiGe沟PMOSFET特性模拟 被引量:2
11
作者 杨荣 罗晋生 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第2期159-163,共5页
为研究深亚微米尺度下应变 Si Ge沟改进 PMOSFET器件性能的有效性 ,运用二维数值模拟程序MEDICI模拟和分析了 0 .1 8μm有效沟长 Si Ge PMOS及 Si PMOS器件特性。Si Ge PMOS垂直方向采用 Si/Si Ge/Si结构 ,横向结构同常规 PMOS,N+ -pol... 为研究深亚微米尺度下应变 Si Ge沟改进 PMOSFET器件性能的有效性 ,运用二维数值模拟程序MEDICI模拟和分析了 0 .1 8μm有效沟长 Si Ge PMOS及 Si PMOS器件特性。Si Ge PMOS垂直方向采用 Si/Si Ge/Si结构 ,横向结构同常规 PMOS,N+ -poly栅结合 P型δ掺杂层获得了合理阈值电压及空穴局域化。研究表明 ,经适当设计的 Si Ge PMOS比对应 Si PMOS的 IDmax、gm、f T均提高 1 0 0 %以上 ,表明深亚微米尺度 Si 展开更多
关键词 SIGE 深亚微米 锗—硅 P型金属—氧化物—半导体场效应晶体管 特性模拟 PMOSFET
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深亚微米工艺CMOS Gilbert混频器噪声分析 被引量:1
12
作者 唐守龙 吴建辉 罗岚 《应用科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期372-376,共5页
深入研究了深亚微米工艺下的CMOS Gilbert混频器噪声产生机理,提出了深亚微米工艺下的混频器噪声系数性能解析模型.基于0.25μm标准CMOS工艺的Gilbert混频器仿真结果表明,该预测的噪声系数理论值与仿真结果相差最大为1.5 dB,相对误差最... 深入研究了深亚微米工艺下的CMOS Gilbert混频器噪声产生机理,提出了深亚微米工艺下的混频器噪声系数性能解析模型.基于0.25μm标准CMOS工艺的Gilbert混频器仿真结果表明,该预测的噪声系数理论值与仿真结果相差最大为1.5 dB,相对误差最大为12.5%. 展开更多
关键词 CMOS射频集成电路 混频器 深亚微米工艺 噪声
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深亚微米下脉冲压缩芯片的物理设计实例 被引量:1
13
作者 徐睿 吴金 邹文英 《电子器件》 CAS 2008年第5期1631-1634,共4页
深亚微米下芯片的物理设计面临很多挑战,特别是对于超大规模电路,在后端设计流程上要有新的方法。本文以应用于数字滤波的脉冲压缩芯片的物理设计为例,采用"模拟IP"和改进的数模混合芯片设计流程,实现了模拟和数字部分的联合... 深亚微米下芯片的物理设计面临很多挑战,特别是对于超大规模电路,在后端设计流程上要有新的方法。本文以应用于数字滤波的脉冲压缩芯片的物理设计为例,采用"模拟IP"和改进的数模混合芯片设计流程,实现了模拟和数字部分的联合设计,保证了时序驱动下的持续收敛,并且详细介绍了布局规划、时钟树综合、时序优化及可靠性设计等关键步骤,可为其他类似的设计提供参考。 展开更多
关键词 深亚微米 物理设计 数模混合集成电路 布局布线 脉冲压缩
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一种单粒子翻转机制及其解决方法 被引量:2
14
作者 王亮 岳素格 孙永姝 《信息与电子工程》 2012年第3期355-358,共4页
针对某款超深亚微米专用集成电路(ASIC)出现的异常单粒子翻转现象,分析了导致异常翻转的机制,针对这种机制提出了2种解决方法,并给出了2种解决方法的适用范围。重离子试验结果表明,采用新方法实现的时序逻辑具备更高的翻转阈值和更低的... 针对某款超深亚微米专用集成电路(ASIC)出现的异常单粒子翻转现象,分析了导致异常翻转的机制,针对这种机制提出了2种解决方法,并给出了2种解决方法的适用范围。重离子试验结果表明,采用新方法实现的时序逻辑具备更高的翻转阈值和更低的翻转截面,基于新方法研制的ASIC产品的抗单粒子翻转能力得到显著提高。 展开更多
关键词 单粒子翻转 单粒子瞬态 时序单元电路 抗辐射加固 超深亚微米集成电路
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片上系统芯片设计与静态时序分析 被引量:2
15
作者 来金梅 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期52-55,共4页
提出了一种考虑了布线延迟的片上系统设计流程, 并运用一个新的、全芯片的、门级静态时序分析工具支持片上系统设计。实例设计表明, 该设计方法能使设计者得到更能反映实际版图的延迟值, 验证结果更完整、准确,
关键词 系统芯片 静态时序分析 集成电路 设计
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超大规模集成电路的可制造性设计 被引量:1
16
作者 郭琦 李惠军 《微纳电子技术》 CAS 2005年第9期435-439,共5页
以Synopsys推出的TCAD软件TSUPREM-Ⅳ和Medici为蓝本,结合100nm栅长PMOSFET的可制造性联机仿真与优化实例,阐述了超大规模集成电路DFM阶段所进行的工艺级、器件物理特性级优化及工艺参数的提取。
关键词 超大规模集成电路 深亚微米 可制造性设计
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深亚微米电路N MOS器件HCI退化建模与仿真
17
作者 李康 马晓华 +2 位作者 郝跃 陈海峰 王俊平 《西安电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期721-724,753,共5页
提出一种深亚微米NMOSFET的热载流子注入下漏电流退化模型及其电路退化仿真方法.该模型将亚阈区、线性区和饱和区的漏电流退化行为统一到一个连续表达式中,避免了分别描述时由于模型不连续而导致的仿真不收敛问题.并且在模型中对亚阈区... 提出一种深亚微米NMOSFET的热载流子注入下漏电流退化模型及其电路退化仿真方法.该模型将亚阈区、线性区和饱和区的漏电流退化行为统一到一个连续表达式中,避免了分别描述时由于模型不连续而导致的仿真不收敛问题.并且在模型中对亚阈区的栅偏依赖现象进行建模,提高了模型描述器件退化的准确度.用基于0.25μm工艺的NMOS器件对模型进行了验证,测试数据与仿真结果吻合得很好. 展开更多
关键词 深亚微米NMOSFET 热载流子注入退化 ΔId模型 电路可靠性
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GMRES方法在3-D寄生电容计算中的应用
18
作者 王国章 刘战 +2 位作者 高校良 须自明 于宗光 《电子器件》 CAS 2007年第4期1223-1225,共3页
随着VLSI向深亚微米发展、集成电路密度不断提高,互连延迟成了加快器件速度的一个限制因素,由于互连延迟是由金属连线间的电阻及电容所产生的,因此萃取寄生参数的工作更显重要.文章使用GMRES方法求解了3-D寄生电容分析的复系数线性方程... 随着VLSI向深亚微米发展、集成电路密度不断提高,互连延迟成了加快器件速度的一个限制因素,由于互连延迟是由金属连线间的电阻及电容所产生的,因此萃取寄生参数的工作更显重要.文章使用GMRES方法求解了3-D寄生电容分析的复系数线性方程组,并将其与SOR迭代法相比较.这种方法可以降低方程的迭代次数约20%,并明显减少了方程的求解时间. 展开更多
关键词 深亚微米 GMRES SOR 寄生电容
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深亚微米薄膜SOI MOSFET的二维数值模拟
19
作者 张兴 石涌泉 黄敞 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第11期93-95,共3页
本文介绍了适合于薄膜亚微米、深亚微米SOIMOSFET的二维数值模拟软件。该模拟软件同时考虑了两种载流子的产生-复合作用,采用了独特的动态二步法求解泊松方程和电子、空穴的电流连续性方程,提高了计算效率和收敛性。利用此... 本文介绍了适合于薄膜亚微米、深亚微米SOIMOSFET的二维数值模拟软件。该模拟软件同时考虑了两种载流子的产生-复合作用,采用了独特的动态二步法求解泊松方程和电子、空穴的电流连续性方程,提高了计算效率和收敛性。利用此模拟软件较为详细地分析了薄膜SOIMOSFET不同于厚膜SOIMOSFET的工作机理及特性,发现薄膜SOIMOSFET的所有特性几乎都得到了改善。将模拟结果与实验结果进行了对比,两者吻合得较好。 展开更多
关键词 数值模拟 深亚微米薄膜 SOI器件 集成电路
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深亚微米全耗尽SOI MOSFET参数提取方法的研究
20
作者 高勇 冯松 杨媛 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期133-137,共5页
基于BSIMSOI对深亚微米全耗尽SOI MOSFET参数提取方法进行了研究,提出一种借助ISE器件模拟软件进行参数提取的方法。该方法计算量小,参数提取效率高,不需要进行繁琐的器件数学建模,易于推广。将该方法提出的模型参数代入HSPICE进行仿真... 基于BSIMSOI对深亚微米全耗尽SOI MOSFET参数提取方法进行了研究,提出一种借助ISE器件模拟软件进行参数提取的方法。该方法计算量小,参数提取效率高,不需要进行繁琐的器件数学建模,易于推广。将该方法提出的模型参数代入HSPICE进行仿真,模拟结果与实验数据相吻合,证明了这种方法的有效性和实用性。 展开更多
关键词 深亚微米 绝缘体上硅 金属氧化物半导体场效应晶体管 参数提取
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