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Integrated physics package of a chip-scale atomic clock 被引量:4
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作者 李绍良 徐静 +3 位作者 张志强 赵璐冰 龙亮 吴亚明 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第7期470-474,I0003,共6页
The physics package of a chip-scale atomic clock (CSAC) has been successfully realized by integrating vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), neutral density (ND) filter, λ/4 wave plate, 87Rb vapor cell... The physics package of a chip-scale atomic clock (CSAC) has been successfully realized by integrating vertical cavity surface emitting laser (VCSEL), neutral density (ND) filter, λ/4 wave plate, 87Rb vapor cell, photodiode (PD), and magnetic coil into a cuboid metal package with a volume of about 2.8 cm3. In this physics package, the critical component, 87Rb vapor cell, is batch-fabricated based on MEMS technology and in-situ chemical reaction method. Pt heater and thermistors are integrated in the physics package. A PTFE pillar is used to support the optical elements in the physics package, in order to reduce the power dissipation. The optical absorption spectrum of 87Rb D1 line and the microwave frequency correction signal are successfully observed while connecting the package with the servo circuit system. Using the above mentioned packaging solution, a CSAC with short-term frequency stability of about 7 × 10^-10τ-1/2 has been successfully achieved, which demonstrates that this physics package would become one promising solution for the CSAC. 展开更多
关键词 chip-scale atomic clock csac physics package 87Rb vapor cell coherent population trapping(CPT)
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Review of chip-scale atomic clocks based on coherent population trapping 被引量:10
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作者 汪中 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第3期47-58,共12页
Research on chip-scale atomic clocks (CSACs) based on coherent population trapping (CPT) is reviewed. The back- ground and the inspiration for the research are described, including the important schemes proposed t... Research on chip-scale atomic clocks (CSACs) based on coherent population trapping (CPT) is reviewed. The back- ground and the inspiration for the research are described, including the important schemes proposed to improve the CPT signal quality, the selection of atoms and buffer gases, and the development of micro-cell fabrication. With regard to the re- liability, stability, and service life of the CSACs, the research regarding the sensitivity of the CPT resonance to temperature and laser power changes is also reviewed, as well as the CPT resonance's collision and light of frequency shifts. The first generation CSACs have already been developed but its characters are still far from our expectations. Our conclusion is that miniaturization and power reduction are the most important aspects calling for further research. 展开更多
关键词 chip-scale atomic clock coherent population trapping
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Stable ^(85)Rb micro vapour cells:fabrication based on anodic bonding and application in chip-scale atomic clocks 被引量:3
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作者 苏娟 邓科 +4 位作者 郭等柱 汪中 陈兢 张耿民 陈徐宗 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第11期243-250,共8页
We describe the microfabrication of ^85Rb vapour cells using a glass-silicon anodic bonding technique and in situ chemical reaction between rubidium chloride and barium azide to produce Rb. Under controlled conditions... We describe the microfabrication of ^85Rb vapour cells using a glass-silicon anodic bonding technique and in situ chemical reaction between rubidium chloride and barium azide to produce Rb. Under controlled conditions, the pure metallic Rb drops and buffer gases were obtained in the cells with a few mm^3 internal volumes during the cell sealing process. At an ambient temperature of 90 ℃ the optical absorption resonance of ^85Rb D1 transition with proper broadening and the corresponding coherent population trapping (CPT) resonance, with a signal contrast of 1.5% and linewidth of about 1.7 kHz, have been detected. The sealing quality and the stability of the cells have also been demonstrated experimentally by using the helium leaking detection and the after-9-month optoelectronics measurement which shows a similar CPT signal as its original status. In addition, the physics package of chip-scale atomic clock (CSAC) based on the cell was realized. The measured frequency stability of the physics package can reach to 2.1 × 10^-10 at one second when the cell was heated to 100 ℃ which proved that the cell has the quality to be used in portable and battery-operated devices. 展开更多
关键词 ^85Rb Micro vapour cell anodic bonding coherent population trapping chip-scale atomic clock frequency stability
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国外CPT CSAC技术发展现状 被引量:5
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作者 王淑华 《微纳电子技术》 北大核心 2016年第3期137-145,共9页
概述了芯片级原子钟(CSAC)的特点和应用优势。介绍了美国和欧洲等发达国家启动的相干布局囚禁(CPT)CSAC系列研究项目。阐述了国外主要研究机构所取得的重大研究进展,如美国NIST机构和Symmetricom公司研制的CSAC样机和产品所达到的性能指... 概述了芯片级原子钟(CSAC)的特点和应用优势。介绍了美国和欧洲等发达国家启动的相干布局囚禁(CPT)CSAC系列研究项目。阐述了国外主要研究机构所取得的重大研究进展,如美国NIST机构和Symmetricom公司研制的CSAC样机和产品所达到的性能指标,并从物理系统、振荡器及频率合成器几个方面重点阐述国外的研究现状,其中重点阐述了物理系统部分的蒸气腔和垂直腔面发射激光器(VCSEL)的制作工艺、可实现的尺寸及密封性能等。列举了CSAC在卫星导航领域、用于时间保持和导航的水下系统以及个人手表系统中的应用现状。总结了CSAC在研制和应用中存在的问题,并提出了解决思路和发展方向。 展开更多
关键词 相干布局囚禁芯片级原子钟(CPT csac) 物理系统 垂直腔面发射激光器(VC-SEL) 振荡器 频率稳定性
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增厚DBR型894 nm窄线宽VCSEL
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作者 范屹梁 孙玉润 +3 位作者 付秋雪 于淑珍 仇伯仓 董建荣 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第5期449-454,共6页
垂直腔面发射激光器(VCSEL)是芯片级原子钟(CSAC)的主流光源,其光束质量会影响CSAC的各项性能。扩展VCSEL内部有效腔长能够以压缩冷腔线宽的方式压窄器件最终辐射激光的线宽,从而可以减小CSAC短时间内的计时频率噪声。根据所计算的VCSE... 垂直腔面发射激光器(VCSEL)是芯片级原子钟(CSAC)的主流光源,其光束质量会影响CSAC的各项性能。扩展VCSEL内部有效腔长能够以压缩冷腔线宽的方式压窄器件最终辐射激光的线宽,从而可以减小CSAC短时间内的计时频率噪声。根据所计算的VCSEL表面反射谱,将VCSEL中4层下分布式布拉格反射镜(DBR)的厚度由常规的四分之一波长增加至404 nm,压缩了VCSEL冷腔线宽,并生长了对应的外延结构,制备了通过增厚DBR扩展有效腔长的894 nm窄线宽VCSEL。测试结果表明,研制的VCSEL在90℃下波长为893.1 nm,功率为0.335 mW,线宽约为32 MHz,且具有稳定的偏振特性。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 芯片级原子钟(csac) 有效腔长 分布式布拉格反射镜(DBR) 线宽
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表面菱形孔795 nm VCSEL的偏振特性
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作者 付秋雪 孙玉润 +3 位作者 于淑珍 范屹梁 仇伯仓 董建荣 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第7期609-617,共9页
795 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)作为铷基芯片级原子钟(Rb-CSAC)的光源,其输出光的偏振不稳定会降低Rb-CSAC的稳定度和精确度。为了满足Rb-CSAC对795 nm VCSEL偏振稳定的需求,设计了一种具有表面菱形孔的偏振稳定的795 nm VCSEL。通过... 795 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)作为铷基芯片级原子钟(Rb-CSAC)的光源,其输出光的偏振不稳定会降低Rb-CSAC的稳定度和精确度。为了满足Rb-CSAC对795 nm VCSEL偏振稳定的需求,设计了一种具有表面菱形孔的偏振稳定的795 nm VCSEL。通过有限时域差分(FDTD)法计算了VCSEL的偏振特性,结果表明VCSEL的顶部分布式布拉格反射镜(DBR)在表面菱形孔的长轴和短轴方向具有不同的反射率。反射率高的偏振模式阈值增益低,成为VCSEL优先激射的主导偏振模式。为进一步提高VCSEL的偏振抑制比(OPSR),将VCSEL的氧化孔制作成尺寸为5.5μm×4.1μm的菱形。对不同长、短轴的表面菱形孔795 nm VCSEL进行偏振测试,结果表明,当表面菱形孔的尺寸为4μm×6μm,且菱形氧化孔的长轴与表面菱形孔的长轴相互垂直时,VCSEL的OPSR可达到16.22 dB。 展开更多
关键词 垂直腔面发射激光器(VCSEL) 表面菱形孔 偏振控制 芯片级原子钟(csac) 分布式布拉格反射镜(DBR)
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芯片原子钟——CPT钟研究进展 被引量:9
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作者 曹远洪 何庆 杨林 《电讯技术》 北大核心 2010年第6期125-131,共7页
介绍了基于激光与原子相干布局囚禁(CPT)理论的芯片原子钟(CSAC)钟。该原子钟代表了小型化原子钟未来发展方向,近年来在设计技术、制造工艺以及物理机制方面都取得了较大进展,并实现了芯片级的CPT钟原理样机。预计,在未来3~5年将会有... 介绍了基于激光与原子相干布局囚禁(CPT)理论的芯片原子钟(CSAC)钟。该原子钟代表了小型化原子钟未来发展方向,近年来在设计技术、制造工艺以及物理机制方面都取得了较大进展,并实现了芯片级的CPT钟原理样机。预计,在未来3~5年将会有芯片原子钟产品面世。 展开更多
关键词 芯片原子钟 相干布局囚禁钟 研究进展
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芯片原子钟MEMS原子气室数字温控系统设计 被引量:1
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作者 刘召军 李坤 +3 位作者 李云超 胡旭文 闫树斌 张彦军 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第6期410-414,420,共6页
芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(I... 芯片原子钟(CSAC)可以提供精准的时间基准,具有较好的应用前景。利用微型PIC~?单片机和增量式比例-微分-积分(PID)算法设计了一种CSAC微电子机械系统(MEMS)原子气室数字温控系统,并通过磁控溅射方法制作了MEMS原子气室专用的氧化铟锡(ITO)加热玻璃。温度是影响CSAC稳定度的一个重要因素,解决了CSAC系统气室温控的加热不均匀问题,温控精度达到了0.10℃,达到了CSAC温控精度优于0.15℃的要求。通过饱和吸收光谱实验,获得了明显的饱和吸收谱线。实验结果为高性能CSAC的研究提供了参考。 展开更多
关键词 芯片原子钟(csac) 数字温控 饱和吸收 微电子机械系统(MEMS)原子气室 氧化铟锡(ITO)加热玻璃
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芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装 被引量:1
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作者 王锦曦 闫树斌 +4 位作者 苏浩 杨啸宇 罗云霞 郭京 华尔天 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2021年第4期342-349,共8页
为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^... 为适应芯片级原子钟(CSAC)微型化和高精度的发展趋势,介绍了一种面向CSAC微型系统的碱金属原子气室的微电子机械系统(MEMS)工艺流程,设计了一种能够提供光反应所需的碱金属原子气氛且气密性好的气室结构,氦气真空泄漏率小于5.0×10^(-9)Pa·cm^(3)/s。采用L-Edit软件设计掩膜版,通过光刻工艺在光刻胶上制作所需图形,采用感应耦合等离子体刻蚀(ICPE)法将结构转移到硅片表面,刻蚀出微通道和两个腔室,其中一个腔室为反应腔,另一个为光学腔。通过低温阳极键合工艺封装原子气室,划片后即可得到玻璃-硅-玻璃三明治结构的气室。按照GJB548A-96标准(方法1014.2密封)的相关规定对MEMS气室先后进行了氦气细检和氟油粗检,测试结果验证了工艺的适用性,成品率达到96.08%。同时,搭建实验平台,测试了吸收谱线,得到了良好的谱线图。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 芯片级原子钟(csac) 微通道 铯(Cs)原子气室 气密性
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