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Thermal-Mechanical Simulation and Analysis on Structural Caused Package Induced Stress in Stacked Chip Scale Package
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作者 钱峰 程秀兰 刘恩峰 《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期139-143,共5页
Stacked chip scale package(SCSP) attracts more and more attentions in advanced packages application with light weight,thin and small size,high reliability,low power and high storage capability.However,more and more ph... Stacked chip scale package(SCSP) attracts more and more attentions in advanced packages application with light weight,thin and small size,high reliability,low power and high storage capability.However,more and more physical and electrical issues being caused by package-induced stress in SCSP were reported recently.The effect of structural factors,including die thickness,die attach film thickness,die attach film type,and spacer size on package induced stress,was investigated.Analyses were given based on simulation results and provide important suggestion for package design. 展开更多
关键词 STACK chip scale package(Scsp) package induced stress STRUCTURAL FACTOR
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微尺度CSP焊点温振耦合应力应变有限元分析 被引量:9
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作者 黄春跃 韩立帅 +2 位作者 梁颖 李天明 黄根信 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2018年第15期171-178,共8页
建立了微尺度芯片尺寸封装(CSP)焊点三维有限元分析模型,对模型进行了热结构耦合分析和温振耦合分析,获得了微尺度CSP焊点应力应变分布结果;对比分析了微尺度CSP焊点与常规尺寸CSP焊点的应力应变分布;分析了不同焊料、焊盘直径和焊点体... 建立了微尺度芯片尺寸封装(CSP)焊点三维有限元分析模型,对模型进行了热结构耦合分析和温振耦合分析,获得了微尺度CSP焊点应力应变分布结果;对比分析了微尺度CSP焊点与常规尺寸CSP焊点的应力应变分布;分析了不同焊料、焊盘直径和焊点体积对微尺度CSP焊点应力应变的影响。结果表明:温振耦合条件下,微尺度CSP焊点内应力应大于常规尺寸CSP焊点应力应变;在SAC305、SAC387、63Sn37Pb、62Sn36Pb2Ag四种焊点材料中采用SAC387的焊点最大应力最大;焊点最大直径由105μm减小至80μm时,微尺度CSP焊点内应力应变呈现出减小的趋势;焊盘直径由80μm减小至60μm时,微尺度焊点内应力应变呈现出增大的趋势。 展开更多
关键词 微尺度焊点 芯片尺寸封装(csp) 温振耦合 应力应变 有限元分析
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CSP器件无铅焊点可靠性的有限元分析 被引量:6
3
作者 叶焕 薛松柏 +1 位作者 张亮 王慧 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第11期93-96,共4页
采用有限元方法对芯片尺寸封装(CSP)器件焊点可靠性进行模拟分析.运用Anand本构模型描述Sn3.0Ag0.5Cu无铅焊点材料的粘塑性特性,研究了焊点的力学行为.结果表明,CSP焊点最大应力区为拐角芯片所下压的焊点上表面处,对焊点应力最大节点的... 采用有限元方法对芯片尺寸封装(CSP)器件焊点可靠性进行模拟分析.运用Anand本构模型描述Sn3.0Ag0.5Cu无铅焊点材料的粘塑性特性,研究了焊点的力学行为.结果表明,CSP焊点最大应力区为拐角芯片所下压的焊点上表面处,对焊点应力最大节点的时间历程后处理结果显示,温度循环载荷下,焊点应力呈周期性变化,并有明显的应力松弛和积累迭加效应.对三种常用不同焊点高度尺寸下的焊点应力进行对比分析,发现三种尺寸中,0.35 mm×0.18 mm焊点的可靠性最好.还模拟对比了芯片厚度不同对焊点可靠性的影响,结果显示芯片厚度对焊点可靠性影响较小. 展开更多
关键词 芯片尺寸封装 无铅焊点 可靠性 有限元分析
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CSP焊点焊后残余应力分析与预测 被引量:4
4
作者 黄春跃 赵胜军 +2 位作者 梁颖 匡兵 唐香琼 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第1期148-154,共7页
该文建立了芯片尺寸封装(CSP)焊点有限元分析模型并对其进行了再流焊焊后残余应力应变分析。以焊点直径、焊点高度、焊盘直径和焊点间距为输入参数,焊后残余应力为输出参数进行了灵敏度分析。选取灵敏度分析结果中对残余应力影响显著的... 该文建立了芯片尺寸封装(CSP)焊点有限元分析模型并对其进行了再流焊焊后残余应力应变分析。以焊点直径、焊点高度、焊盘直径和焊点间距为输入参数,焊后残余应力为输出参数进行了灵敏度分析。选取灵敏度分析结果中对残余应力影响显著的因子作为输入,建立了带动量项神经网络预测模型,对CSP焊点焊后残余应力进行了预测。结果表明,置信度为95%时,焊点直径、焊盘直径和焊点间距对CSP焊点残余应力影响显著,灵敏度从大到小的排序为:焊点直径>焊盘直径>焊点间距。所建立的带动量项神经网络预测模型对CSP焊点焊后残余应力预测最大相对误差为7.93%,平均误差为3.19%,实现了对CSP焊点焊后残余应力准确预测。 展开更多
关键词 芯片尺寸封装 带动量项神经网络 再流焊 残余应力 灵敏度分析
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基于正交设计的WLCSP柔性无铅焊点随机激励应力应变分析 被引量:4
5
作者 梁颖 黄春跃 +2 位作者 黄伟 邵良兵 李天明 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期13-16,129,共4页
对晶圆级芯片尺寸封装(wafer level chip scale package,WLCSP)柔性无铅焊点进行了随机振动应力应变有限元分析.以1号柔性层厚度、2号柔性层厚度、上焊盘直径和下焊盘直径4个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了16种不同结构参数组... 对晶圆级芯片尺寸封装(wafer level chip scale package,WLCSP)柔性无铅焊点进行了随机振动应力应变有限元分析.以1号柔性层厚度、2号柔性层厚度、上焊盘直径和下焊盘直径4个结构参数作为关键因素,采用正交表设计了16种不同结构参数组合的柔性焊点,获取了16组应力数据并进行了方差分析.结果表明,焊点内最大应力应变随1号柔性层厚度和2号柔性层厚度的增加而减小;在置信度99%时,下焊盘直径和上焊盘直径对应力具有高度显著影响,在置信度95%时,1号柔性层厚度和2号柔性层厚度对应力具有显著影响;各因素对应力影响排序为:下焊盘直径影响最大,其次是上焊盘直径,再次是1号柔性层厚度,最后是2号柔性层厚度. 展开更多
关键词 晶圆级芯片尺寸封装 柔性无铅焊点 随机振动 有限元分析 方差分析
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基于BGA/CSP封装技术的微型存储测试系统的研制 被引量:3
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作者 陈鲁疆 熊继军 +1 位作者 马游春 张文栋 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2005年第2期94-96,共3页
文中主要研究设计了基于BGA/CSP微小封装技术的微型存储测试系统,并阐述了该系统的设计原理。系统采用CPLD(复杂可编程逻辑器件)与先进球栅阵列封装技术相结合的设计理念,使存储测试系统在微型化、微功耗和微噪声方面有了很大突破,进而... 文中主要研究设计了基于BGA/CSP微小封装技术的微型存储测试系统,并阐述了该系统的设计原理。系统采用CPLD(复杂可编程逻辑器件)与先进球栅阵列封装技术相结合的设计理念,使存储测试系统在微型化、微功耗和微噪声方面有了很大突破,进而拓展了存储测试技术的应用领域。同时指出了存储测试系统进一步微型化的发展趋势。 展开更多
关键词 存储测试系统 BGA/csp 封装技术 复杂可编程逻辑器件 研制 存储测试技术 设计原理 研究设计 设计理念 球栅阵列 CPLD 应用领域 发展趋势 微型化 微功耗
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3D封装微尺度CSP焊点随机振动应力应变分析 被引量:9
7
作者 韩立帅 黄春跃 +2 位作者 梁颖 匡兵 黄根信 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期64-70,I0004,共8页
基于ANSYS软件建立了3D芯片尺寸封装有限元模型,对模型中微尺度CSP焊点在随机振动载荷条件下进行有限元分析,获得了CSP焊点应力应变分布情况;分析了不同焊点材料、焊盘直径和焊点体积对应力应变的影响;并以焊点体积、焊点高度、焊盘直... 基于ANSYS软件建立了3D芯片尺寸封装有限元模型,对模型中微尺度CSP焊点在随机振动载荷条件下进行有限元分析,获得了CSP焊点应力应变分布情况;分析了不同焊点材料、焊盘直径和焊点体积对应力应变的影响;并以焊点体积、焊点高度、焊盘直径为设计参数,以随机振动条件下CSP焊点应力值作为目标值,设计17组试验仿真计算,采用响应曲面法对17组应力值与微尺度CSP焊点形态参数间关系进行拟合,结合遗传算法对拟合函数进行优化.结果表明,随机振动环境下应力值最小的CSP焊点组合参数为焊点最大径向尺寸0.093mm、焊点高度0.077mm、焊盘半径0.068mm,并对最优组合参数仿真验证,最优组合仿真结果优于17组试验仿真结果,实现了随机振动环境下微尺度CSP焊点的结构优化. 展开更多
关键词 3D 封装 芯片尺寸封装 微尺度焊点 响应面法 遗传算法
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基于田口法的CSP器件结构优化设计 被引量:8
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作者 熊明月 张亮 +4 位作者 刘志权 杨帆 钟素娟 马佳 鲍丽 《焊接学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期51-54,共4页
为提高芯片尺寸封装(CSP)器件的焊点可靠性,基于田口法,采用Garofalo-Arrhenius稳态本构方程和有限元法,对CSP器件焊点热循环载荷下的应力应变分布进行有限元模拟.考虑焊点材料、焊点高度、芯片厚度、基板厚度四个控制因素,借助田口法,... 为提高芯片尺寸封装(CSP)器件的焊点可靠性,基于田口法,采用Garofalo-Arrhenius稳态本构方程和有限元法,对CSP器件焊点热循环载荷下的应力应变分布进行有限元模拟.考虑焊点材料、焊点高度、芯片厚度、基板厚度四个控制因素,借助田口法,采用正交表L_9(3~4)安排试验,研究发现影响焊点可靠性的主要影响因素为焊点材料和焊点高度.经过田口试验法优化得到的最佳方案组合为焊点材料Sn3.9Ag0.6Cu,焊点高度0.29 mm,芯片厚度0.1 mm,基板厚度0.17 mm.该最优方案和原始设计方案相比,蠕变应变能密度降低65.4%,信噪比提高了9.22 dB.结果表明,CSP器件焊点可靠性得到显著提高. 展开更多
关键词 芯片尺寸封装 田口法 热循环 焊点
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基于响应面-遗传算法的CSP焊点随机振动应力与回波损耗双目标优化设计 被引量:2
9
作者 路良坤 黄春跃 +1 位作者 梁颖 李天明 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2019年第21期221-228,共8页
建立了芯片尺寸封装(Chip Scale Package,CSP)焊点有限元分析模型和电磁仿真模型,选取焊点直径、焊点高度和焊盘直径作为设计变量,以CSP焊点随机振动应力和回波损耗为目标值,设计17组焊点形态参数水平组合并建模进行仿真计算,采用响应... 建立了芯片尺寸封装(Chip Scale Package,CSP)焊点有限元分析模型和电磁仿真模型,选取焊点直径、焊点高度和焊盘直径作为设计变量,以CSP焊点随机振动应力和回波损耗为目标值,设计17组焊点形态参数水平组合并建模进行仿真计算,采用响应曲面法对17组组合应力值、回波损耗值与CSP焊点形态参数间关系进行拟合,结合遗传算法对拟合函数进行优化设计,得到CSP焊点随机振动应力值和回波损耗值同时降低参数水平组合,并通过回波损耗测试实验对优化结果进行了验证。结果表明:优化后CSP焊点最大等效应力下降11%的同时回波损耗降低了2.78%,回波损耗实测试验验证了优化结果的正确性。 展开更多
关键词 芯片尺寸封装 随机振动 回波损耗 响应面 遗传算法
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WLCSP中微焊球结构尺寸对其热应力的影响 被引量:1
10
作者 洪荣华 王珺 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期720-725,733,共7页
晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)微焊球结构尺寸对其热机械可靠性有重要的影响。通过二维有限元模拟筛选出对WLCSP微焊球及其凸点下金属层(UBM)中热应力影响显著的参数,采用完全因子实验和多因子方差统计分析定量评估各种因子影响的显著性,... 晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)微焊球结构尺寸对其热机械可靠性有重要的影响。通过二维有限元模拟筛选出对WLCSP微焊球及其凸点下金属层(UBM)中热应力影响显著的参数,采用完全因子实验和多因子方差统计分析定量评估各种因子影响的显著性,最后建立三维模型,用子模型技术研究关键尺寸因子对热应力变化的影响。研究发现,焊球半径是影响焊球热应力的最关键尺寸因子,电镀铜开口和铜焊盘厚度对焊球热应力的影响也较显著;钝化层开口和焊球半径是影响UBM热应力的最关键尺寸因子。随着焊球半径增大,焊球热应力减小。 展开更多
关键词 晶圆级芯片尺寸封装 有限元分析 尺寸参数 统计分析 子模型
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多芯CSP-LED芯片间距对热拥堵的影响 被引量:5
11
作者 刘倩 熊传兵 +2 位作者 汤英文 李晓珍 王世龙 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期308-315,共8页
在铝基板上贴片了不同间距的四颗芯片级封装发光二级管(CSP-LED)模组,测试了不同贴片间距CSP-LED模组的EL光谱、流明效率、光通量、相关色温等光电参数。结果显示,在小电流(20~400 mA)下,随着注入电流的增大,不同排布间距的蓝、白光样... 在铝基板上贴片了不同间距的四颗芯片级封装发光二级管(CSP-LED)模组,测试了不同贴片间距CSP-LED模组的EL光谱、流明效率、光通量、相关色温等光电参数。结果显示,在小电流(20~400 mA)下,随着注入电流的增大,不同排布间距的蓝、白光样品的光电性能基本呈现相同的变化规律,即光通量、光功率呈线性增长,光效基本保持稳定;在大电流(1~1.5 A)下,随着芯片间排布间距减小,EL光谱积分强度降低,色温升高,红色比下降,排布间距为0.2 mm的光通量衰减了84.58%,相比之下排布间距为3 mm和5 mm的光通量衰减明显减缓,分别为8.96%和3.58%,这些现象与禁带宽度、热应力、非辐射复合等因素有关。结果表明,CSP白光LED光通量衰减主要是荧光粉退化导致的,考虑到实际生产成本问题,排布间距为3 mm时,有利于热量散出,进而提高LED光电性能特性及其自身的使用寿命。 展开更多
关键词 芯片级封装 发光二极管 热拥堵 排布间距
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圆片级芯片尺寸封装技术及其应用综述 被引量:7
12
作者 成立 王振宇 +3 位作者 祝俊 赵倩 侍寿永 朱漪云 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期38-43,共6页
综述了圆片级芯片尺寸封装(WL-CSP)的新技术及其应用概要,包括WL-CSP的关键工艺技术、封装与测试描述、观测方法和WL-CSP技术的可靠性及其相关分析等。并对比研究了几种圆片级再分布芯片尺寸封装方式的工艺特征和技术要点,从而说明了WL-... 综述了圆片级芯片尺寸封装(WL-CSP)的新技术及其应用概要,包括WL-CSP的关键工艺技术、封装与测试描述、观测方法和WL-CSP技术的可靠性及其相关分析等。并对比研究了几种圆片级再分布芯片尺寸封装方式的工艺特征和技术要点,从而说明了WL-CSP的技术优势及其应用前景。 展开更多
关键词 集成电路 圆片级芯片尺寸封装 技术优势 应用前景
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焊球阵列封装及其返修工艺技术 被引量:6
13
作者 成立 杨建宁 +3 位作者 王振宇 李加元 李华乐 贺星 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期535-538,共4页
在简介各种焊球阵列(BGA)封装形式的基础上,归纳出BGA封装的技术优势,包括引脚结构、封装尺寸和封装密度等,并分析了BGA封装的返修工艺技术。分析结果表明,BGA封装进一步缩小了IC的封装尺寸,提高了高密度表面贴装技术水平,因而顺应了LSI... 在简介各种焊球阵列(BGA)封装形式的基础上,归纳出BGA封装的技术优势,包括引脚结构、封装尺寸和封装密度等,并分析了BGA封装的返修工艺技术。分析结果表明,BGA封装进一步缩小了IC的封装尺寸,提高了高密度表面贴装技术水平,因而顺应了LSI和VLSI新品轻薄、短小及功能多样化的发展方向。 展开更多
关键词 BGA封装 返修工艺 表面贴装技术 芯片尺寸封装 回流焊
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声表面波器件小型化技术发展概述 被引量:9
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作者 米佳 李辉 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第1期4-6,共3页
以EPCOS生产的声表面波(SAW)芯片级封装和晶圆级封装为例,介绍了声表面波器件小型化发展的趋势。着重介绍了声表器件芯片级封装技术发展的各个阶段器件的结构特点。详述采用倒装、贴膜和晶圆键合技术将声表面波器件的尺寸减至最小及后... 以EPCOS生产的声表面波(SAW)芯片级封装和晶圆级封装为例,介绍了声表面波器件小型化发展的趋势。着重介绍了声表器件芯片级封装技术发展的各个阶段器件的结构特点。详述采用倒装、贴膜和晶圆键合技术将声表面波器件的尺寸减至最小及后续声表面波器件组件化封装的趋势。 展开更多
关键词 声表面波 小型化封装 芯片级封装 晶圆级封装
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基于全面析因试验的塑封球栅阵列器件焊点可靠性 被引量:10
15
作者 黄春跃 周德俭 吴兆华 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期753-756,共4页
采用全面析因试验设计方法设计了多种不同工艺参数组合的1.0mm引脚间距塑封球栅阵列(PBGA)器件测试样件,进行了500h的可靠性热循环试验;基于试验数据进行了极差分析和方差分析;用有限元方法分析了PBGA器件焊点内的应力分布.试验结果和... 采用全面析因试验设计方法设计了多种不同工艺参数组合的1.0mm引脚间距塑封球栅阵列(PBGA)器件测试样件,进行了500h的可靠性热循环试验;基于试验数据进行了极差分析和方差分析;用有限元方法分析了PBGA器件焊点内的应力分布.试验结果和有限元分析结果均表明,失效焊点裂纹出现于焊点与芯片基板的交界面上.极差分析表明,最优的工艺参数组合为钢网厚度0.14mm,焊盘直径0.34mm,芯片配重质量11.0384g或17.1084g.方差分析表明,芯片配重质量对1.0mm引脚间距PBGA器件焊点的可靠性有显著的影响,而焊盘直径和钢网厚度对可靠性无显著影响. 展开更多
关键词 析因试验 球栅阵列 工艺参数 可靠性 有限元分析
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热力耦合场下互连微焊点的疲劳寿命分析 被引量:4
16
作者 朱桂兵 汪春昌 刘智泉 《中国测试》 CAS 北大核心 2019年第8期33-37,43,共6页
该文设计热循环和跌落耦合冲击试验,选用Sn96.5Ag3.0Cu0.5(SAC305)和Sn63Pb37(Sn-37Pb)两种焊料制成焊球,以芯片尺寸封装(CSP)芯片为研究基底,焊盘分别进行Ni/Au化学电镀和有机保焊膜涂覆两种工艺处理,研究该环境对CSP微尺度焊点疲劳寿... 该文设计热循环和跌落耦合冲击试验,选用Sn96.5Ag3.0Cu0.5(SAC305)和Sn63Pb37(Sn-37Pb)两种焊料制成焊球,以芯片尺寸封装(CSP)芯片为研究基底,焊盘分别进行Ni/Au化学电镀和有机保焊膜涂覆两种工艺处理,研究该环境对CSP微尺度焊点疲劳寿命的影响。结果表明:CSP微尺度焊点的失效模式是先快后慢,初期失效的变化率最高,产品具有固有的耐耦合冲击能力,无铅焊点更适用于低周热循环和低能级跌落耦合冲击环境,有铅焊点的抗跌落冲击能力较强,Ni/Au处理的焊盘配合无铅焊球制成的CSP器件具有更高的耐高周耦合冲击可靠性,焊点的失效机制是由离散的空洞逐渐向界面裂纹转变。 展开更多
关键词 微尺度焊点 热力耦合 芯片尺寸封装 失效机制
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封装技术评述 被引量:1
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作者 王正 刘之景 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1999年第6期7-9,共3页
评述了当前封装技术的特点以及应用, 介绍了多芯片组件、突点互连技术、球栅阵列、板上芯片。
关键词 多芯片组件 封装 微球栅阵列
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荧光玻璃封装芯片级白光LED光热性能 被引量:6
18
作者 张稀雯 余子康 +3 位作者 牟运 彭洋 李俊杰 史铁林 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1961-1968,共8页
芯片级封装是实现高光密度白光LED和减小封装体积的一种重要途径,而目前芯片级白光LED存在荧光层老化、荧光粉热猝灭等问题,严重影响白光LED的性能和可靠性。为此,本文结合荧光玻璃的技术优势,提出了荧光玻璃封装芯片级白光LED,并分析... 芯片级封装是实现高光密度白光LED和减小封装体积的一种重要途径,而目前芯片级白光LED存在荧光层老化、荧光粉热猝灭等问题,严重影响白光LED的性能和可靠性。为此,本文结合荧光玻璃的技术优势,提出了荧光玻璃封装芯片级白光LED,并分析了白光LED光热性能。利用丝网印刷和低温烧结工艺在玻璃基片表面制备了荧光玻璃层,从而获得了晶圆级荧光玻璃片,再切割成芯片级荧光玻璃用于白光LED封装。分析了荧光玻璃层的微观形貌,荧光粉颗粒内嵌在玻璃基体中,膜层致密、无明显残余气孔;通过调节荧光玻璃层厚度优化了白光LED光学性能,当荧光玻璃层为120μm时,白光LED获得了最优光学性能,光效、色温和色坐标分别为111.8 lm/W、6876 K和(0.3074,0.3214);分析了荧光玻璃封装结构对白光LED光热性能的影响,荧光玻璃层靠近LED芯片封装具有更高的光效和更低的色温,同时白光LED表面温度更低。 展开更多
关键词 白光LED 芯片级封装 荧光玻璃 光热性能
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一种CMOS驱动器的晶圆级芯片尺寸封装 被引量:2
19
作者 刘秀博 王绍东 +1 位作者 王志强 付兴昌 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第10期779-783,共5页
采用晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)工艺完成了一款小型化CMOS驱动器芯片的封装。此WLCSP驱动器由两层聚酰亚胺(PI)层、重分配布线层、下金属层和金属凸点等部分构成。完成了WLCSP驱动器的设计,加工和电性能测试,并且对其进行了温度冲击、... 采用晶圆级芯片尺寸封装(WLCSP)工艺完成了一款小型化CMOS驱动器芯片的封装。此WLCSP驱动器由两层聚酰亚胺(PI)层、重分配布线层、下金属层和金属凸点等部分构成。完成了WLCSP驱动器的设计,加工和电性能测试,并且对其进行了温度冲击、振动和剪切力测试等可靠性试验。结果表明,经过晶圆级封装的CMOS驱动器体积为1.8 mm×1.2 mm×0.35 mm,脉冲上升沿为2.3 ns,下降沿为2.5 ns,开关时间为10.6 ns。将WLCSP的驱动器安装至厚度为1 mm的FR4基板上,对其进行温度冲击试验及振动试验后,凸点正常无裂痕。无下填充胶时剪切力为20 N,存在下填充胶时,剪切力为200 N。 展开更多
关键词 晶圆级芯片尺寸封装(WLcsp) 重分配布线层 金属凸点 CMOS驱动器 剪切力
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用于车载激光雷达的高速窄脉冲栅极驱动器 被引量:3
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作者 贾东东 赵永瑞 +3 位作者 师翔 李军建 贾凯烨 史亚盼 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第8期699-705,共7页
针对车载激光雷达高频率、高精度的探测需求,提出了一种高速窄脉冲栅极驱动器,用于驱动激光雷达发射系统中的GaN HEMT开关管。基于0.18μm CMOS工艺进行驱动器的电路与版图设计,采用新型施密特触发器结构,并集成欠压锁存和过温保护功能... 针对车载激光雷达高频率、高精度的探测需求,提出了一种高速窄脉冲栅极驱动器,用于驱动激光雷达发射系统中的GaN HEMT开关管。基于0.18μm CMOS工艺进行驱动器的电路与版图设计,采用新型施密特触发器结构,并集成欠压锁存和过温保护功能。该驱动器选用晶圆级芯片封装(WLCSP)技术,最大程度上降低栅极路径上的寄生电感。对芯片进行测试,结果表明:驱动器最小输出脉冲宽度为1.06 ns,其上升时间为480 ps,下降时间为380 ps,输入信号到输出信号的延迟时间为3 ns,脉冲频率最高可达60 MHz。该驱动器具有脉宽窄、延时短、频率高、体积小等特点,可应用于车载激光雷达系统。 展开更多
关键词 窄脉冲 高速栅极驱动器 GaN HEMT 晶圆级芯片封装(WLcsp) 车载激光雷达
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