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Modeling and optimization of a multi-carrier renewable energy system for zero-energy consumption buildings 被引量:9
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作者 SOULEY AGBODJAN Yawovi LIU Zhi-qiang +2 位作者 WANG Jia-qiang YUE Chang LUO Zheng-yi 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第7期2330-2345,共16页
For the carbon-neutral,a multi-carrier renewable energy system(MRES),driven by the wind,solar and geothermal,was considered as an effective solution to mitigate CO2emissions and reduce energy usage in the building sec... For the carbon-neutral,a multi-carrier renewable energy system(MRES),driven by the wind,solar and geothermal,was considered as an effective solution to mitigate CO2emissions and reduce energy usage in the building sector.A proper sizing method was essential for achieving the desired 100%renewable energy system of resources.This paper presented a bi-objective optimization formulation for sizing the MRES using a constrained genetic algorithm(GA)coupled with the loss of power supply probability(LPSP)method to achieve the minimal cost of the system and the reliability of the system to the load real time requirement.An optimization App has been developed in MATLAB environment to offer a user-friendly interface and output the optimized design parameters when given the load demand.A case study of a swimming pool building was used to demonstrate the process of the proposed design method.Compared to the conventional distributed energy system,the MRES is feasible with a lower annual total cost(ATC).Additionally,the ATC decreases as the power supply reliability of the renewable system decreases.There is a decrease of 24%of the annual total cost when the power supply probability is equal to 8%compared to the baseline case with 0%power supply probability. 展开更多
关键词 multi-carrier renewable energy system constrained genetic algorithm loss of power supply probability(LPSP)method zero-energy consumption building optimal device capacity
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MIDAS/Building双塔大跨度连体建筑抗震设计 被引量:5
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作者 杨子胜 李新明 杨毅辉 《中国测试》 CAS 北大核心 2016年第6期80-84,共5页
双塔大跨度连体建筑结构形式及受力较为复杂,其结构安全性设计特别是抗震设计尤为重要。以某双塔大跨度连体建筑为例,基于MIDAS/Building结构分析设计系统及SATWE对整体结构进行小震反应谱分析,考虑施工模拟及P-delta影响,计算其水平及... 双塔大跨度连体建筑结构形式及受力较为复杂,其结构安全性设计特别是抗震设计尤为重要。以某双塔大跨度连体建筑为例,基于MIDAS/Building结构分析设计系统及SATWE对整体结构进行小震反应谱分析,考虑施工模拟及P-delta影响,计算其水平及竖向地震作用,得到整体结构受力与位移参数,并进行设计验算。通过比较两种软件计算结果,可以看出该工程各项指标均符合规范要求,具有良好的抗震性能。基于计算结果,提出一些改进措施,为类似结构的计算与抗震性能分析提供参考。 展开更多
关键词 双塔 大跨度连体建筑 抗震设计 小震反应谱法
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基于深度学习的高铁矿山法隧道衬砌类型智能设计方法与应用
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作者 杨剑 吴佳明 +4 位作者 戴林发宝 田力 刘修国 孙杰 孙文昊 《隧道建设(中英文)》 北大核心 2025年第9期1742-1755,共14页
在高速铁路建设中,矿山法隧道衬砌类型的确定是一个重要环节,其决策显著受制于地理与地质条件,且当前高度依赖设计人员的主观经验。为解决这一难题,提出隧道衬砌类型智能设计整体框架,建立隧道衬砌类型智能设计方法。系统分析隧道洞身... 在高速铁路建设中,矿山法隧道衬砌类型的确定是一个重要环节,其决策显著受制于地理与地质条件,且当前高度依赖设计人员的主观经验。为解决这一难题,提出隧道衬砌类型智能设计整体框架,建立隧道衬砌类型智能设计方法。系统分析隧道洞身衬砌设计影响因素,收集248座隧道共4 100个洞身衬砌节段的设计资料,搭建隧道洞身勘察设计数据库。在此基础上,分别搭建随机森林、支持向量机、梯度提升树3种机器学习模型,采用贝叶斯与交叉验证的手段优化机器学习模型超参数,提出基于CNN、CNN+LSTM、CNN+EPSAnet的3种深度神经网络衬砌类型预测模型。主要结论如下:1)基于CNN+EPSAnet的隧道衬砌类型智能设计模型预测效果整体最优,预测准确率为86.8%,该模型充分考虑了隧道洞身勘察设计数据特征,同时也可以有效提取多尺度空间信息;2)研发出隧道洞身智能决策系统,可实现隧道洞身衬砌类型智能决策模型的参数实时调整与可视化训练;3)通过BIM技术将智能决策得到的衬砌类型设计参数进行三维展示,实现隧道衬砌类型的智能化设计和数字化呈现的深度融合。 展开更多
关键词 高速铁路隧道 矿山法隧道 衬砌类型 深度学习 智能设计 BIM技术
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多级变径孔板螺旋流的水力特性及数值模拟研究
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作者 赵廷红 巩笑笑 +1 位作者 王立强 宋玉 《水电能源科学》 北大核心 2025年第1期35-38,19,共5页
针对多级变径孔板水力特性的数值模拟研究较少的现状,引入收缩角与扭转角概念,构建新型多级变径孔板,基于前期物理试验,通过数值模拟定雷诺数、变收缩角、变扭转角的多种组合工况,对该装置内各监测断面的三相速度、装置内空化数的沿程... 针对多级变径孔板水力特性的数值模拟研究较少的现状,引入收缩角与扭转角概念,构建新型多级变径孔板,基于前期物理试验,通过数值模拟定雷诺数、变收缩角、变扭转角的多种组合工况,对该装置内各监测断面的三相速度、装置内空化数的沿程变化规律及装置的消能率进行分析。结果表明,定收缩角时,随着扭转角的增大,轴向速度的波动程度逐渐减弱,切向速度和径向速度虽有逐渐增大的趋势,但整体波动相对较小;定雷诺数时,同一断面处的空化数随收缩角或扭转角的增大而减小;该装置的消能率随扭转角增大而增大,随收缩角增大而减小。在研究的8种组合工况中,收缩角为15°、扭转角为12°时该装置的消能率最优。 展开更多
关键词 孔板消能 数值模拟 三相速度 空化数 消能率
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考虑地震作用的库岸边坡风险率等级评估方法研究 被引量:1
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作者 李世佳 林潮宁 +2 位作者 陈文龙 杜效鹄 李同春 《水电能源科学》 北大核心 2025年第1期164-168,共5页
传统的考虑地震作用的边坡风险率分析普遍采用特定地震参数作为计算的前置条件,忽略了地震参数的不确定性。为此,提出了地震作用下的库岸边坡综合风险率等级评估方法,即首先采用极值Ⅱ型分布模型建立50年设计基准期内的地震峰值加速度(P... 传统的考虑地震作用的边坡风险率分析普遍采用特定地震参数作为计算的前置条件,忽略了地震参数的不确定性。为此,提出了地震作用下的库岸边坡综合风险率等级评估方法,即首先采用极值Ⅱ型分布模型建立50年设计基准期内的地震峰值加速度(PGA)概率密度函数;然后采用基于有限元的改进一次二阶矩法计算库岸边坡的失效概率,在全概率理论框架下进行积分得到地震作用下的综合风险率;最后采用该方法对某库岸边坡进行风险率分析。结果表明,该库岸边坡在地震作用下的综合风险率为0.0994,对应5级风险概率,可见该方法能够充分考虑不同PGA的发生概率及滑动面内部材料参数的随机性,可对工程的风险率等级作出合理客观评价,且提高了评估的全面性。 展开更多
关键词 库岸边坡 地震概率 设计基准期 改进一次二阶矩法 综合风险率
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村镇零碳公共建筑设计研究——以留坝蜜蜂博物馆为例
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作者 张天然 罗智星 刘月超 《西安建筑科技大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第1期133-141,共9页
现阶段公共建筑碳排放在建筑整体碳排放中占比仍旧较大.村镇公共建筑作为公共建筑的重要一环,在“3060”“双碳”目标与“乡村振兴”双重战略决策之下,尽快实现零碳建筑目标有着重要意义.但村镇因具有“乡土性”“包容性”“有限性”的... 现阶段公共建筑碳排放在建筑整体碳排放中占比仍旧较大.村镇公共建筑作为公共建筑的重要一环,在“3060”“双碳”目标与“乡村振兴”双重战略决策之下,尽快实现零碳建筑目标有着重要意义.但村镇因具有“乡土性”“包容性”“有限性”的特征与城市零碳公共建筑又不可一概而论.因此,在村镇环境中公共建筑如何达到零碳目标成为建筑师所要思考的问题.以村镇零碳公共建筑为目标,提出降低碳排放的策略.在此基础上从设计角度出发,凝练出“在地性、小尺度、可变性”的思维导向,并以留坝蜜蜂博物馆为例进一步阐述具体设计措施,旨在为村镇零碳公共建筑的设计提供指引. 展开更多
关键词 零碳设计策略 村镇公共建筑 设计方法 建筑碳排放
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断层影响下覆岩离层注浆减沉关键技术研究
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作者 王兵强 郝鸿儒 +2 位作者 李凡 侯成科 才芃 《煤炭工程》 北大核心 2025年第7期8-16,共9页
针对冀中能源峰峰矿区大社矿断层下盘03工作面村庄下压煤这一难题,结合矿区地质条件,对覆岩离层注浆减沉方案予以优化,并提出断层影响下异常工况的处置措施。依据现场钻孔揭露的断层情况,调整钻孔布设位置,实现断层上下盘离层区域及破... 针对冀中能源峰峰矿区大社矿断层下盘03工作面村庄下压煤这一难题,结合矿区地质条件,对覆岩离层注浆减沉方案予以优化,并提出断层影响下异常工况的处置措施。依据现场钻孔揭露的断层情况,调整钻孔布设位置,实现断层上下盘离层区域及破碎带的注浆加固。03工作面累计注灰量17.83万t,总注采比为55%。研究发现:煤层采动会引发断层活化,下盘易形成离层空间,而上盘形成离层空间的能力较差。据此提出,在断层影响下的覆岩离层注浆作业中,应增加上盘治理孔数量以保障治理效果,同时增大下盘注浆量以有效充填离层区域。采用概率积分法预测地表下沉结果显示,常规开采时最大下沉量达2200 mm,经覆岩离层注浆减沉后降至1025 mm,预计减沉率为53.4%。现场监测表明,工作面上方地表最大下沉量为768 mm,位于工作面中部,减沉效果显著。 展开更多
关键词 离层注浆 断层 “三下”采煤 钻孔优化布置 地表沉陷 概率积分法
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建筑改造设计的时间之维——设计方法应用研究 被引量:1
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作者 徐永红 托亚 +1 位作者 张鹏举 吴迪 《南方建筑》 CSCD 北大核心 2024年第3期68-77,共10页
基于建筑现象学及其他时间哲学,从时间与各要素的主体间性关系角度,将改造建筑的时间性最终看作是关乎建筑改造之本质的时间性精神共鸣。试图重新审视改造建筑的时间意义,并借助关系本身将此精神共鸣分为人与含时间性的环境要素同一的... 基于建筑现象学及其他时间哲学,从时间与各要素的主体间性关系角度,将改造建筑的时间性最终看作是关乎建筑改造之本质的时间性精神共鸣。试图重新审视改造建筑的时间意义,并借助关系本身将此精神共鸣分为人与含时间性的环境要素同一的关系——生命感、人与建筑中过去现在未来的统一关系——历史感、人在特定叙事中与人类的认同关系——故事感。基于此,结合案例利用现象学的方法从建筑形式、质料、结构、细部等方面统和出借由时间关系划分的设计策略,表现时间性在改造建筑中的作用和具体应用。 展开更多
关键词 时间哲学 主体间性 建筑改造 设计方法应用 建筑现象学
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正态分布规律下尺寸链设计分析 被引量:2
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作者 邓敬亮 刘才丽 劳贤豪 《航空发动机》 北大核心 2024年第1期164-169,共6页
为了提供尺寸链评判的量化依据、优化尺寸链关联尺寸的设计、降低零件加工成本,提出了一种新的基于正态分布规律的概率法尺寸链设计方法。通过概率法分析可知尺寸在设计公差范围内的分布规律服从正态分布,推导出在尺寸链中封闭环也服从... 为了提供尺寸链评判的量化依据、优化尺寸链关联尺寸的设计、降低零件加工成本,提出了一种新的基于正态分布规律的概率法尺寸链设计方法。通过概率法分析可知尺寸在设计公差范围内的分布规律服从正态分布,推导出在尺寸链中封闭环也服从正态分布,从而得出封闭环在设计要求区间内的概率值,进而评判机械装配中的间隙、干涉等是否具有合理性。结果表明:该尺寸链设计法可根据封闭环在设计要求区间的实际情况以概率值进行量化,从而使尺寸链设计的评判更加具体化;封闭环的区间概率值与尺寸链中的组成环可进行关联,因而对组成环的各零件尺寸进行调整优化,以提高封闭环的区间概率;对封闭环区间概率过低的情况,给出了在尺寸链中增加调整垫的设计方法和原则。 展开更多
关键词 尺寸链 概率法 正态分布 机械设计 封闭环 组成环 调整垫 航空发动机
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基于数字报历史优秀版面的样式智能生成与微调
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作者 陶颖 程雨夏 +3 位作者 曾振宇 庄跃辉 张艺馨 何兴臻 《智能系统学报》 CSCD 北大核心 2024年第4期930-940,共11页
在传统报纸印刷行业中,设计人员需要根据设计规则进行人工排版,其排版过程造价成本较高且耗时耗力。为提高排版效率,研究提出一种基于历史优秀版面的样式自动生成与微调方法。为了从数据中学习到报纸排版的风格,创建一个包含丰富的设计... 在传统报纸印刷行业中,设计人员需要根据设计规则进行人工排版,其排版过程造价成本较高且耗时耗力。为提高排版效率,研究提出一种基于历史优秀版面的样式自动生成与微调方法。为了从数据中学习到报纸排版的风格,创建一个包含丰富的设计元素参数信息的电子报数据库,这些特征信息能够有效地反映报纸的布局。对于给定的新闻文章,首先根据历史优秀版面训练概率模型来推断电子报版面的样式,并结合固定约束和用户约束保证样式有效,同时构建美学设计原理的量化方法进一步实现样式微调。最后通过定性和定量评估,表明新方法可以生成满足视觉美观性、层次性和可读性的报纸。本文方法可为版面设计样式智能生成提供参考。 展开更多
关键词 布局自动化 图形设计 设计原理 图像数据库 数据驱动方法 概率分布 聚类 约束规划
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东北某城市建筑物火灾的发生概率研究 被引量:9
11
作者 吴波 周文松 《自然灾害学报》 CSCD 北大核心 2001年第2期43-49,共7页
通过对东北某大城市实际火灾情况的调查分析,针对不同类型的建筑物,分别给出了单位建筑面积月起火率的概率分布模型,并在此基础上探讨了单位建筑面积年起火率和50年起火率的概率分布问题。最后,对建筑物火灾的几个特点进行了初步... 通过对东北某大城市实际火灾情况的调查分析,针对不同类型的建筑物,分别给出了单位建筑面积月起火率的概率分布模型,并在此基础上探讨了单位建筑面积年起火率和50年起火率的概率分布问题。最后,对建筑物火灾的几个特点进行了初步分析. 展开更多
关键词 建筑物 火灾 概率设计方法 年超火率 概率分布模型 通风状况
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基于概率的产品可拆解性评价方法及数学描述 被引量:7
12
作者 田广东 储江伟 +2 位作者 金晓红 张铜柱 王虎 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2011年第6期1164-1170,共7页
在对零部件拆卸和产品拆解概念做出明确区分的基础上,对拆解类型进行了分析,给出了可拆卸性和可拆解性的定义;以概率理论为基础,对可拆卸度、拆卸率、可拆解度及拆解率等指标进行了数学描述;推导出可拆卸度、拆卸概率密度与拆卸率之间... 在对零部件拆卸和产品拆解概念做出明确区分的基础上,对拆解类型进行了分析,给出了可拆卸性和可拆解性的定义;以概率理论为基础,对可拆卸度、拆卸率、可拆解度及拆解率等指标进行了数学描述;推导出可拆卸度、拆卸概率密度与拆卸率之间的关系;在非破坏性拆解及零部件拆卸过程相互独立的条件下,拆解概率密度是相关零部件拆卸概率密度的卷积,并通过对其积分可以确定产品的可拆解度。以汽车的典型零部件拆卸时间测定及数据统计分析为基础,确定了零部件的拆卸分布及其拆解分布规律。上述研究为产品拆解过程的定量评估提供了理论基础。 展开更多
关键词 拆解 可拆卸性 可拆解性 概率论 评价方法 产品设计
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基于性能的设计方法在超限高层建筑结构设计中的应用研究 被引量:25
13
作者 季静 黄超 +2 位作者 韩小雷 郑宜 何伟球 《世界地震工程》 CSCD 北大核心 2007年第1期98-103,共6页
针对超限高层建筑结构抗震设计,提出了基于性能设计方法的性能目标,通过结构在小震、中震、大震作用下的弹性、弹塑性静力和动力时程分析,对三水准地震作用下结构构件进行了承载力定量分析。从理论上证明了结构性能可以达到“小震不坏,... 针对超限高层建筑结构抗震设计,提出了基于性能设计方法的性能目标,通过结构在小震、中震、大震作用下的弹性、弹塑性静力和动力时程分析,对三水准地震作用下结构构件进行了承载力定量分析。从理论上证明了结构性能可以达到“小震不坏,中震可修,大震不倒”的抗震设防目标,同时进行了1∶20模型的结构振动台试验,确证了实际结构设计的安全性。 展开更多
关键词 超限高层建筑 基于性能的设计方法 抗震设计
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基于响应面方法的汽轮机叶片概率强度设计及敏感性分析 被引量:27
14
作者 段巍 王璋奇 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期99-104,共6页
为了满足叶片高可靠性设计的要求,需考虑随机因素的影响成。文中以某实验台用汽轮机等直叶片为研究对象,考虑几何参数(包括长度、宽度、厚度)、材料参数(弹性模量,密度)和载荷参数的随机性,对其进行有限元参数化建模,并将确定性有限元... 为了满足叶片高可靠性设计的要求,需考虑随机因素的影响成。文中以某实验台用汽轮机等直叶片为研究对象,考虑几何参数(包括长度、宽度、厚度)、材料参数(弹性模量,密度)和载荷参数的随机性,对其进行有限元参数化建模,并将确定性有限元方法、响应面方法和Monte-Carlo模拟法相结合,通过有限次有限元的计算构造出用于拟和响应面函数的样本,进而用二次多项式对样本进行回归分析,获得叶片结构响应(最大应力、最大变形)与随机变量之间的近似解析表达式;将该表达式代替有限元模型,利用Monte-Carlo模拟法得到结构响应的统计参数和累积分布函数,进而对叶片进行可靠性分析和概率强度设计;引入概率敏感性分析方法,同时考虑了随机变量的梯度和离散范围对结构响应的影响,通过统计显著性检验,定量地判断出随机输入变量对结构响应的影响程度;通过对结构响应与随机输入变量散点图的分析,得出如何改变随机变量以提高叶片的可靠度。结果表明,该方法计算量小,速度快,拟和精度高。 展开更多
关键词 汽轮机叶片 概率强度设计 有限元 响应面法 蒙特卡罗模拟法 概率敏感性分析
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城市燃气管道设计方法比较 被引量:7
15
作者 舒安庆 刘小丽 +1 位作者 吴开斌 魏化中 《化工设备与管道》 CAS 2009年第1期42-44,共3页
与长输燃气管道相比,城市燃气管网具有自己的特点,这需要在建设城市管网的过程中采用不同的设计方法。对概率性设计方法、极限压力设计方法、应变极限状态设计方法三种城市管道设计方法进行讨论,并针对每种方法如何进行计算进行介绍。
关键词 城市燃气管道 概率性设计方法 极限压力设计方法 应变极限状态设计方法
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工程项目交易方式与支付方式对项目成本的影响 被引量:9
16
作者 陈勇强 焦俊双 《同济大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1407-1412,共6页
基于返工成本率、变更成本率、成本超支率3个指标,对181个项目数据进行T检验和方差分析.研究发现,在交易方式方面,与设计-招标-建造方式相比,设计-建造方式能显著降低项目的成本超支率,返工成本率和变更成本率也较低;在支付方式方面,议... 基于返工成本率、变更成本率、成本超支率3个指标,对181个项目数据进行T检验和方差分析.研究发现,在交易方式方面,与设计-招标-建造方式相比,设计-建造方式能显著降低项目的成本超支率,返工成本率和变更成本率也较低;在支付方式方面,议标总价合同的成本超支率最低,为-1.97%,单价合同的成本超支率最高,为10.70%.综合考虑交易方式和支付方式,采用设计-建造方式、议标总价合同,成本超支率最低,而变更成本率最高,应引起项目参与方的重视. 展开更多
关键词 支付方式 项目成本 设计-招标-建造方式 设计-建造方式
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概率积分法求参初值选取的均匀设计方法 被引量:13
17
作者 查剑锋 贾新果 郭广礼 《金属矿山》 CAS 北大核心 2006年第11期27-29,共3页
目前常用的概率积分法求参方法对参数初值有较强的依赖性,不合适的初值将导致求参过程发散。相对于正交设计,均匀设计主要考虑将设计点均匀地分散在试验范围内,而不再考虑“整齐可比”性,这样可以在较少的试验次数内较快逼近参数真值,... 目前常用的概率积分法求参方法对参数初值有较强的依赖性,不合适的初值将导致求参过程发散。相对于正交设计,均匀设计主要考虑将设计点均匀地分散在试验范围内,而不再考虑“整齐可比”性,这样可以在较少的试验次数内较快逼近参数真值,减小了初值选取对使用者的经验要求,扩大了求参方法的适用范围。 展开更多
关键词 均匀设计 概率积分法 求参 初值
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不完全概率信息的螺旋管簧的可靠性优化设计 被引量:10
18
作者 张义民 贺向东 +1 位作者 刘巧伶 闻邦椿 《应用科学学报》 CAS CSCD 2004年第3期347-350,共4页
讨论了随机参数服从非正态分布螺旋管簧的可靠性优化设计问题.在基本随机参数的前四阶矩已知的情况下,应用随机摄动法和Edgeworth级数方法并通过计算机程序可以实现随机参数服从非正态分布的螺旋管簧可靠性优化设计,迅速准确地得到了螺... 讨论了随机参数服从非正态分布螺旋管簧的可靠性优化设计问题.在基本随机参数的前四阶矩已知的情况下,应用随机摄动法和Edgeworth级数方法并通过计算机程序可以实现随机参数服从非正态分布的螺旋管簧可靠性优化设计,迅速准确地得到了螺旋管簧的可靠性优化设计信息. 展开更多
关键词 不完全概率信息 螺旋管簧 可靠性 优化设计 摄动法 机械设计
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基于响应面方法的汽轮机叶片静动频概率设计及敏感性分析 被引量:16
19
作者 段巍 王璋奇 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第20期12-17,共6页
考虑随机因素的影响,对叶片的固有振动特性进行概率分析和设计是叶片动强度可靠性设计的基础。文中以某试验台用汽轮机等直叶片为研究对象,考虑几何参数(包括长度、宽度、厚度)、材料参数(弹性模量,密度)和转速的随机性,通过有限元参数... 考虑随机因素的影响,对叶片的固有振动特性进行概率分析和设计是叶片动强度可靠性设计的基础。文中以某试验台用汽轮机等直叶片为研究对象,考虑几何参数(包括长度、宽度、厚度)、材料参数(弹性模量,密度)和转速的随机性,通过有限元参数化建模。将确定性有限元方法(FEM)、响应面方法(RSM)和Monte-Carlo模拟法相结合,从而获得了叶片静频、动频的统计特性和累积分布函数;同时考虑随机变量的梯度和离散范围对静、动频的影响,通过概率敏感性分析,定量地判断出叶片静、动频对随机输入变量的敏感性;通过绘制叶片静、动频与输入变量的散点图,定量地分析了如何改变随机变量以调整静、动频率的方法。计算结果表明,FEM-RSM-Monte Carlo方法计算量小,速度快,拟合精度高,是叶片动强度可靠性分析的可选方法。 展开更多
关键词 叶片 静(动)频 概率设计 概率敏感性分析 有限元 响应面 Monte—Carlo模拟
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平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究 被引量:13
20
作者 方明 郑伟军 +3 位作者 吴明 范瑞瑛 易葵 范正修 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期286-289,共4页
众多光学系统对其关键环节大尺寸多层光学薄膜提出了越来越复杂的光谱要求,相应地对各个单层膜的厚度容差要求越来越严格。在整个基底表面,每一层都需要沉积得相当均匀。因为,任何单层的非均匀性将增加最终的膜厚误差。随着平面行星夹... 众多光学系统对其关键环节大尺寸多层光学薄膜提出了越来越复杂的光谱要求,相应地对各个单层膜的厚度容差要求越来越严格。在整个基底表面,每一层都需要沉积得相当均匀。因为,任何单层的非均匀性将增加最终的膜厚误差。随着平面行星夹具广泛地应用于大尺寸光学薄膜制备,必须实现对行星夹具的均匀性有效控制。本文建立了平面行星夹具薄膜沉积无量纲模型,通过对夹具上各点的运动轨迹分析,提出了停留概率修正法,获得的理论均匀性与实验结果吻合。用此法设计出单片修正挡板将夹具560 mm范围内的不均匀性从4%改进到6‰。 展开更多
关键词 光学薄膜 平面行星夹具 修正挡板设计 停留概率修正法
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