一种高精度低噪声集成运算放大器

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作者 潘婷 付玉 +1 位作者 马奎 杨发顺 《半导体技术》 北大核心 2025年第10期1020-1032,共13页

采用国内40 V双极型工艺设计了一种高精度、低噪声运算放大器。电路采用三级运算放大器结构,偏置电路采用正温度系数(PTAT)电流源,使输入级的跨导恒定;输入级采用双对管结构,在增大输入阻抗的同时降低了噪声,采用基极电流补偿电路来减... 采用国内40 V双极型工艺设计了一种高精度、低噪声运算放大器。电路采用三级运算放大器结构,偏置电路采用正温度系数(PTAT)电流源,使输入级的跨导恒定;输入级采用双对管结构,在增大输入阻抗的同时降低了噪声,采用基极电流补偿电路来减小运算放大器的输入偏置电流;增益级选用结型场效应晶体管(JFET)放大电路,减小了输入级的负载效应,提高了电路精度。此外,在电路中加入了大量的修调电阻,对电路的失调电压、输入偏置电流和各级尾电流进行修调。选取修调后的3000颗芯片进行测试,结果表明:输入失调电压均值为34.01μV,输入失调电流均值为0.982 nA,输入偏置电流均值为0.681 nA,开环电压增益均值为130.817 dB,共模抑制比均值为154.239 dB,电源电流均值为0.723 mA。 展开更多

关键词 高精度 低噪声 偏置电路 失调电压 双极型工艺

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石墨复合双极板辊压预成型工艺

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作者 张子聪 郑俊生 +3 位作者 姚东梅 孟晓敏 李成欣 明平文 《材料工程》 北大核心 2025年第6期210-217,共8页

石墨复合双极板因其优良的导电性和耐腐蚀性在燃料电池领域受到广泛关注,传统的石墨复合双极板模压成型方法存在效率低、操作复杂等问题,因此本工作提出了一种将石墨/树脂混合粉料通过辊压机轧制成预成型板,然后快速模压成型,以简化工... 石墨复合双极板因其优良的导电性和耐腐蚀性在燃料电池领域受到广泛关注,传统的石墨复合双极板模压成型方法存在效率低、操作复杂等问题,因此本工作提出了一种将石墨/树脂混合粉料通过辊压机轧制成预成型板,然后快速模压成型,以简化工艺操作并提升效率的预成型工艺方案。并通过优化辊压参数和添加辅助黏结剂,解决了预成型板压实不足和结构缺陷等问题,提升了工艺的可靠性和材料利用率。结果表明:温度的提升和辊距的减小均可以提升预成型板的压实密度,添加PTFE作为辅助黏结剂能够有效改善辊压过程中的缺陷,但过量添加会对导电性和气密性产生负面影响,其最优添加比例为5%(质量分数)。与传统的直接模压成型相比,通过该方案制备的双极板尽管面内电导率略有下降,但抗弯强度提高14.2%,制备周期缩短至原来的42.9%,显著提升生产效率。 展开更多

关键词 石墨复合双极板 辊压 工艺参数 效率

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双极膜电渗析电解硫酸钠应用研究 被引量：1

3

作者 卫海琴 《现代化工》 北大核心 2025年第9期234-236,241,共4页

探讨了双极膜电渗析电解硫酸钠制质量分数4%氢氧化钠和5%硫酸技术中双极膜电渗析电解装置组成,电解硫酸钠制酸碱的原理,电解工艺过程中主要影响因素及膜堆清洗维护注意事项。结果表明,双极膜电渗析电解硫酸钠运行最佳工艺是硫酸钠质量分... 探讨了双极膜电渗析电解硫酸钠制质量分数4%氢氧化钠和5%硫酸技术中双极膜电渗析电解装置组成,电解硫酸钠制酸碱的原理,电解工艺过程中主要影响因素及膜堆清洗维护注意事项。结果表明,双极膜电渗析电解硫酸钠运行最佳工艺是硫酸钠质量分数10%~11%,盐室温度25~30℃,随着电解时间延长,酸碱室浓度增大,电解效率降低。双极膜使用过后用质量分数2%~3%盐酸清洗保养。 展开更多

关键词 双极膜电渗析 硫酸钠 电解工艺 制酸碱 清洗保养

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重离子导致的SOI SiGe HBT的SET效应数值模拟研究

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作者 李府唐 郭刚 +4 位作者 张峥 孙浩瀚 刘翠翠 史慧琳 欧阳晓平 《半导体技术》 北大核心 2025年第7期714-722,共9页

锗硅异质结双极晶体管(SiGe HBT)具有优异的低温性能以及抗总剂量效应和位移损伤的能力,但是其对单粒子效应(SEE)较敏感。利用计算机辅助设计技术(TCAD)构建了SiGe HBT模型,研究了衬底类型、重离子入射位置、器件温度和重离子线性能量转... 锗硅异质结双极晶体管(SiGe HBT)具有优异的低温性能以及抗总剂量效应和位移损伤的能力,但是其对单粒子效应(SEE)较敏感。利用计算机辅助设计技术(TCAD)构建了SiGe HBT模型,研究了衬底类型、重离子入射位置、器件温度和重离子线性能量转移(LET)值对SiGe HBT单粒子瞬态(SET)效应的影响。研究结果表明,集电极/衬底结及其附近是器件的SET效应敏感区域,绝缘体上硅(SOI)工艺的引入有助于提高SiGe HBT的抗SEE能力。此外,载流子迁移率与自由载流子浓度是影响器件SET温度依赖性的最主要因素,随着温度进一步降低至极端低温,杂质不完全电离的影响也愈发凸显。随着LET值升高,SOI SiGe HBT的SET效应显著增强。尤其在低温与高LET耦合作用下,器件的SET电流峰值和电荷收集量远超在其他辐照条件下的。 展开更多

关键词 锗硅异质结双极晶体管(SiGe HBT) 绝缘体上硅(SOI)工艺 单粒子瞬态(SET) 单粒子效应(SEE) 计算机辅助设计技术(TCAD)

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燃料电池电极板材料工艺发展趋势 被引量：4

5

作者 唐普洪 张晓飞 +1 位作者 张嘉波 杨文斌 《精密成形工程》 北大核心 2024年第2期165-173,共9页

电极板是燃料电池的关键核心部件,起到分隔气体、提供反应界面、传导电流的作用。根据燃料电池应用工况的不同,电极板的材料选择与制造工艺路线也有所不同。材料工艺是决定燃料电池设计、质量、成本的核心要素。着重论述了金属、石墨、... 电极板是燃料电池的关键核心部件,起到分隔气体、提供反应界面、传导电流的作用。根据燃料电池应用工况的不同,电极板的材料选择与制造工艺路线也有所不同。材料工艺是决定燃料电池设计、质量、成本的核心要素。着重论述了金属、石墨、树脂作为电极材料的工艺路线。针对金属电极板材料,论述了车载、航空航天2种工况下不锈钢、钛材的成形设计准则、工艺路线、产品性能,并分析比较了不同成形方法中设备、模具工装和工艺路线的适用性。针对石墨电极材料,对比了硬石墨一次模压成形和柔性板石墨模压成形2种工艺,并根据各自的基材状态选择了合适的工艺路线,同时根据工艺路线的特点分析了产品的优缺点。在复合材料中主要选择了金属、石墨、树脂3种材料,根据制备原理,复合材料双极板有结构复合电极、材料复合电极和工艺复合电极3个研究方向。在结构复合电极方面,主要论述了石墨与金属复合的设计思路和结构特点;在材料复合电极方面,主要论述了热固性树脂和热塑性树脂与石墨复合的工艺路线和产品特点;在工艺复合电极方面,主要论述了微型燃料电池极板的制造理念和方法,并借鉴了微机械加工工艺路线,设计制造了复合工艺极板。最后展望了燃料电池电极板的箔材研发方向、级进模工艺复合生产发展方向和石墨极板设计策略及制备工艺发展方向,以及PPS聚苯硫醚、聚苯胺基PANI的导电阳极材料在微电极板中的应用。 展开更多

关键词 燃料电池 双极板 制备工艺 不锈钢 石墨 树脂

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VLF至MF频段雷电电场变化波形分类数据集

6

作者 王宇 肖力郎 +4 位作者 贺恒鑫 傅中 程晨 谷山强 陈维江 《中国科学数据（中英文网络版）》 CSCD 2024年第4期407-416,共10页

雷电作为一种复杂的大气放电现象,其放电过程中会产生多种类型的电场变化波形。对这些波形进行准确地识别不仅是提升雷电监测系统性能的关键,也直接关联到对雷电物理过程的深入理解。本研究基于2022至2023年间于安徽合肥市部署的13套雷... 雷电作为一种复杂的大气放电现象,其放电过程中会产生多种类型的电场变化波形。对这些波形进行准确地识别不仅是提升雷电监测系统性能的关键,也直接关联到对雷电物理过程的深入理解。本研究基于2022至2023年间于安徽合肥市部署的13套雷电电场变化测量设备,综合收集了合肥及周边地区雷暴活动期间的电场变化波形数据。数据时间跨度覆盖3月至10月合肥主要雷电活动季节,空间跨度涉及整个城市及其周边地区,确保了数据的代表性与全面性。在数据质量控制方面,采用了严格的数据筛选与预处理流程,确保了数据集的准确性和可靠性。采用先进的卷积神经网络(CNN)模型,对波形数据进行了系统分类,成功辨识出了四种雷电放电过程中的电场变化波形,具体包括地闪回击过程(RS,15290例)、初始击穿过程(PB,3946例)、双极性窄脉冲事件(NBE,3919例)以及一般云闪过程(IC,4111例)。分类模型的准确率超过99%,展现了高效的识别能力。本研究创建了一份大样本量、高质量分类的雷电电场变化波形分类数据集,本数据集不仅能够支持开发更为先进的雷电波形分类算法,促进雷电监测、核爆电磁脉冲监测等技术的进步,也可为深入理解雷电物理过程提供重要的数据基础。 展开更多

关键词 雷电电场变化波形 地闪 云闪 初始击穿过程 双极性窄脉冲事件

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一种超低失调集成运算放大器的设计与实现 被引量：6

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作者 刘传兴 何贵昆 +1 位作者 马奎 杨发顺 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期143-150,共8页

基于双极型工艺设计了一种超低失调集成运算放大器。通过在差分输入级的有源负载处设计电阻修调网络来调整失调电压,并针对基极电流补偿不可控的问题设计了可修调的基极电流补偿结构来降低偏置电流,利用激光修调技术减小基极补偿结构引... 基于双极型工艺设计了一种超低失调集成运算放大器。通过在差分输入级的有源负载处设计电阻修调网络来调整失调电压,并针对基极电流补偿不可控的问题设计了可修调的基极电流补偿结构来降低偏置电流,利用激光修调技术减小基极补偿结构引入的随机失调,有效改善了输入级失调。增益级采用结型场效应晶体管(JFET)差分对管以获得高增益,输出级采用全npn晶体管的乙类输出结构可满足大功率输出需求。芯片实测数据表明:在全温度范围内,失调电压最大为-25.3μV,失调电压温漂为0.025μV/℃,输入偏置电流为-3.535 nA,输入失调电流为-0.825 nA。实现了超低的失调电压、电流和温漂。 展开更多

关键词 低失调 低温漂 基极电流补偿 激光修调 双极型工艺

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一种低功耗低失调的集成运算放大器 被引量：4

8

作者 付玉 杜承钢 +2 位作者 闵睿 杨发顺 马奎 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第9期851-857,共7页

针对高精度、低功耗运放的需求,利用40V双极型工艺设计了一款电源电压为3~30V的低功耗、低失调集成运算放大器。该运放为单片四通道结构,利用一个不完全对称的二级运放,以减小电路的功耗,同时使得输入级失调得到有效改善。并且在输入级... 针对高精度、低功耗运放的需求,利用40V双极型工艺设计了一款电源电压为3~30V的低功耗、低失调集成运算放大器。该运放为单片四通道结构,利用一个不完全对称的二级运放,以减小电路的功耗,同时使得输入级失调得到有效改善。并且在输入级加入了一对射极跟随器,增大电路的输入阻抗,使得输入基极电流有效减小。芯片的测试结果表明,在-55~125℃的范围内,平均开环增益可以达到105.998dB,平均失调电压为159.27μV,平均输入偏置电流为-5.787nA,平均输入失调电流为-0.287nA,单个运放的平均电源电流为189.679μA。 展开更多

关键词 双极型工艺 低功耗 低失调 二级运放 射极跟随器 输入阻抗

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摩擦因数对超薄316L不锈钢双极板热冲压数值模拟的影响 被引量：4

9

作者 闫卓奇 侯泽然 +3 位作者 郭楠 王文垚 张翔鹭 闵峻英 《塑性工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第8期14-19,共6页

构建了一个高温摩擦实验装置,用于测量厚度仅为0.1 mm的超薄316L不锈钢双极板在5种不同温度下的名义摩擦因数。实验结果表明,在200℃时,超薄不锈钢板的名义摩擦因数为1.05,远高于室温条件下的摩擦因数(0.29)。基于摩擦因数随温度变化的... 构建了一个高温摩擦实验装置,用于测量厚度仅为0.1 mm的超薄316L不锈钢双极板在5种不同温度下的名义摩擦因数。实验结果表明,在200℃时,超薄不锈钢板的名义摩擦因数为1.05,远高于室温条件下的摩擦因数(0.29)。基于摩擦因数随温度变化的实验结果,建立了双极板热冲压过程的有限元模型,并利用温度相关摩擦因数模拟了0.1 mm厚316L不锈钢双极板在热冲压成形后的微流道厚度分布。结果显示,相比于使用恒定摩擦因数的模型,采用摩擦因数随温度变化的有限元模型可以更准确地预测微流道截面的厚度分布,其预测准确性提高了192%。 展开更多

关键词 热冲压 摩擦因数 数值模拟 双极板

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质子交换膜燃料电池金属双极板流道结构及制造工艺 被引量：1

10

作者 王瑞川 张杰 王继 《新能源进展》 CSCD 北大核心 2024年第1期82-90,共9页

金属双极板因具有强度高、导电性和传热能力好、能量损失小、密封性好等优势,且加工方便、加工成本低、可制造超薄厚度及高体积比功率等特性,逐渐成为双极板材料的首选,而流道结构设计和制造工艺是影响金属双极板成形质量和工作性能的... 金属双极板因具有强度高、导电性和传热能力好、能量损失小、密封性好等优势,且加工方便、加工成本低、可制造超薄厚度及高体积比功率等特性,逐渐成为双极板材料的首选,而流道结构设计和制造工艺是影响金属双极板成形质量和工作性能的关键。对比了金属双极板常用传统流道结构与新型流道结构,分析了结构变化对燃料电池性能的影响;梳理了金属双极板的冲压成形、液压成形、软膜成形、辊轧成形、电磁成形、特种成形等塑性成形工艺技术及成形装备;最后对金属双极板的流道结构设计与制造工艺进行了展望。 展开更多

关键词 燃料电池 金属双极板 流道结构 制造工艺 成形质量

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质子交换膜燃料电池双极板密封研究进展 被引量：2

11

作者 陈诗怡 卢广轩 +1 位作者 安邦 李禹辰 《电池》 CAS 北大核心 2024年第4期578-583,共6页

作为质子交换膜燃料电池(PEMFC)的核心组件,双极板的密封性能是影响电堆工作效率的关键。在目前燃料电池的应用中,因密封不良引发泄漏而导致的电堆失效是不容忽视的问题。综述近年来燃料电池双极板常用密封材料的性能差异、不同密封结... 作为质子交换膜燃料电池(PEMFC)的核心组件,双极板的密封性能是影响电堆工作效率的关键。在目前燃料电池的应用中,因密封不良引发泄漏而导致的电堆失效是不容忽视的问题。综述近年来燃料电池双极板常用密封材料的性能差异、不同密封结构的特点、密封元件的设计等方面的研究进展,探讨密封性能对PEMFC电堆性能的影响,并对未来发展方向进行展望。 展开更多

关键词 泄漏 质子交换膜燃料电池(PEMFC) 双极板 密封材料 密封结构 密封工艺

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压接型IGBT芯片的参数分散性对其并联时关断均流的影响 被引量：1

12

作者 曹子楷 崔翔 +4 位作者 代安琪 李学宝 范迦羽 詹雍凡 唐新灵 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2024年第5期1913-1923,I0021,共12页

压接型绝缘栅双极晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)的多芯片并联关断期间会出现严重的不均流现象,直接影响到器件的关断可靠性。文中重点研究压接型IGBT芯片参数对其并联时关断均流的影响,首先,根据IGBT单芯片的关断机... 压接型绝缘栅双极晶体管(insulated gate bipolar transistor,IGBT)的多芯片并联关断期间会出现严重的不均流现象,直接影响到器件的关断可靠性。文中重点研究压接型IGBT芯片参数对其并联时关断均流的影响,首先,根据IGBT单芯片的关断机理和波形,分析芯片参数对IGBT单芯片关断各个阶段内集电极电流变化的影响规律;其次,定义多芯片并联关断波形中出现的第一类及第二类电流竞争峰谷,建立针对第一类电流竞争峰谷的随机分布模型,获得芯片参数以及并联数目对关断均流的影响规律,通过并联双芯片的双脉冲实验,验证所得规律的有效性;最后,结合分析结果提出阈值电压与饱和压降的相互补偿以及保持阈值电压差与跨导差异号等芯片筛选建议。研究成果可以为并联压接型IGBT芯片的参数筛选工作提供指导。 展开更多

关键词 压接型绝缘栅双极晶体管 关断均流 芯片参数 筛选建议

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基于PWM的低温度依赖基准电压电路设计 被引量：3

13

作者 吴铁峰 张鹤鸣 +1 位作者 胡辉勇 李敏 《中南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期2269-2273,共5页

为了给脉宽调制（PWM）控制器提供稳定的工作电压,基于齐纳二极管的正温度系数和三极管B-E结的负温度系数之间的温度补偿原理,设计1个结构简单、性能优越的高精度基准电压电路,并应用华越SB45双极工艺在Candence中进行仿真。研究结果表... 为了给脉宽调制（PWM）控制器提供稳定的工作电压,基于齐纳二极管的正温度系数和三极管B-E结的负温度系数之间的温度补偿原理,设计1个结构简单、性能优越的高精度基准电压电路,并应用华越SB45双极工艺在Candence中进行仿真。研究结果表明：该电路能够提供多路稳定的基准工作电压,而且具有较高的电源电压抑制比,对温度依赖程度很小;在-55~125℃范围内,该电路的温度系数为1.2×10-6/℃;当电源电压为8~30 V时,线性调整率约为0.4 mV/V,电源电压抑制比为77.54 dB,能够满足PWM控制器的工作需求。 展开更多

关键词 电压基准 脉宽调制控制器 温度系数 温度补偿 双极工艺 模拟电路

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PEMFC双极板材料及其工艺 被引量：7

14

作者 骆兵 倪红军 +1 位作者 黄明宇 王连军 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期162-164,172,共4页

概述了质子交换膜燃料电池(PEMFC)的发展历史,指出双极板不但影响电池组的性能,而且直接影响电池组的成本,成为PEMFC产业化的阻碍。综述了PEMFC双极板常用的材料和制备工艺,着重介绍了目前已经进入小规模商业化生产的复合材料双极板的... 概述了质子交换膜燃料电池(PEMFC)的发展历史,指出双极板不但影响电池组的性能,而且直接影响电池组的成本,成为PEMFC产业化的阻碍。综述了PEMFC双极板常用的材料和制备工艺,着重介绍了目前已经进入小规模商业化生产的复合材料双极板的原材料和先进制备工艺。 展开更多

关键词 PEMFC 双极板 制备工艺

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微型燃料电池双极板成形工艺的研究进展 被引量：8

15

作者 许桢英 张园园 +2 位作者 王匀 丁盛 尹必峰 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第4期861-863,共3页

微型燃料电池是未来可移动电源的主流,但是其双极板成形工艺成为燃料电池推广应用的主要制约之一。介绍了微型燃料电池双极板的成形工艺,包括基于微冲压等常规的塑性变形手段,基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)的微加工技术... 微型燃料电池是未来可移动电源的主流,但是其双极板成形工艺成为燃料电池推广应用的主要制约之一。介绍了微型燃料电池双极板的成形工艺,包括基于微冲压等常规的塑性变形手段,基于MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)的微加工技术和非传统加工工艺,展望了未来微型燃料电池双极板成形工艺的发展趋势。 展开更多

关键词 微型燃料电池 微成形工艺 双极板

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闪电初始预击穿过程辐射脉冲特征及电流模型 被引量：8

16

作者 武斌 张广庶 +3 位作者 文军 张彤 李亚珺 王彦辉 《应用气象学报》 CSCD 北大核心 2017年第5期555-567,共13页

利用2012年青海大通地区高精度闪电三维辐射源定位结果和宽带电场脉冲波形同步数据,基于3种改进的传输线模型和粒子群优化算法,拟合发生在不同距离上不同类型闪电初始预击穿过程的双极性脉冲波形结构,反演初始流光通道内电流波形和特征... 利用2012年青海大通地区高精度闪电三维辐射源定位结果和宽带电场脉冲波形同步数据,基于3种改进的传输线模型和粒子群优化算法,拟合发生在不同距离上不同类型闪电初始预击穿过程的双极性脉冲波形结构,反演初始流光通道内电流波形和特征参数,对比分析3种模型对初始预击穿过程和梯级先导双极性脉冲波形的拟合效果,统计分析4类闪电初始预击穿脉冲的物理特征。结果表明:3种改进的传输线模型均能较好地拟合出双极性脉冲结构,且MTLE模型更合理。负地闪的初始预击穿过程和梯级先导过程呈现出相同的传输特征,即均以梯级形式发展,且拟合物理参量也较为接近。初始流光向上的路径长度大于初始流光向下的路径长度,初始流光向上击穿进入上部正电荷区的路径上中和的总电荷量和总垂直偶极矩远大于初始流光向下的路径上中和的总电荷量和总垂直偶极矩。 展开更多

关键词 初始预击穿过程 双极性脉冲结构拟合 脉冲电流模型 青藏高原

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高端基准电流源的设计 被引量：1

17

作者 辛晓宁 王妉 梁洁 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 2009年第4期471-476,共6页

针对集成电路中需要多路不同基准电流的问题，设计了一种高性能的双极型基准电流源．分析了传统带隙基准源的基本原理，并对传统电流源的电路结构进行改进与优化，实现了温度补偿，大大降低了电路的温度系数，提高了电路的电源抑制比．... 针对集成电路中需要多路不同基准电流的问题，设计了一种高性能的双极型基准电流源．分析了传统带隙基准源的基本原理，并对传统电流源的电路结构进行改进与优化，实现了温度补偿，大大降低了电路的温度系数，提高了电路的电源抑制比．在BL双极工艺模型下，采用HSPICE软件进行了仿真，结果表明，在一40—85℃温度范围内基准电流源的温度系数降至百万分之五每摄氏度，电源抑制比可以达到104dB，很好地实现了基准电流源低温度系数、高电源抑制比的性能． 展开更多

关键词 基准电流源 温度补偿 温度系数 电源抑制比 双极工艺 模拟电路 温漂 带隙基准

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燃料电池金属双极板精密成形技术研究和发展 被引量：4

18

作者 刘艳雄 华林 《精密成形工程》 2010年第1期32-37,51,共7页

首先对国内外关于金属双极板的材料选择进行了概述,然后对已有的各种精密成形工艺的选材、生产原理和特点进行了详细介绍,在此基础上提出了塑性成形作为一种生产效率高、零件机械力学性能好的生产工艺是金属双极板成形技术将来的发展方向。

关键词 质子交换膜燃料电池 金属双极板 成形工艺

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微型质子交换膜燃料电池构造技术进展 被引量：1

19

作者 郭航 吴晓晖 +1 位作者 叶芳 马重芳 《现代化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期22-26,共5页

从膜电极组件的构造技术、双极板加工技术和整体制作与组装技术3个主要方面较为详尽地介绍了微型燃料电池构造技术的最新进展状况,对其技术特点以及发展前景开展了分析与讨论。

关键词 微型燃料电池 加工技术 双极板 质子交换膜

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小尺寸双极超β晶体管的TCAD设计与优化 被引量：1

20

作者 许新新 郭琦 +1 位作者 霍林 李惠军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期57-59,共3页

基于TCAD一体化系列工具,实现了小尺寸双极性超β晶圆管芯的工艺级及器件物理特性级的 设计与优化。提出了基区宽度接近90nm层次下的小尺寸双极性超β晶体管的工艺实施方案。经TSUPREM -Ⅳ和MEDICI一体化仿真、参数提取及特性的验证表明... 基于TCAD一体化系列工具,实现了小尺寸双极性超β晶圆管芯的工艺级及器件物理特性级的 设计与优化。提出了基区宽度接近90nm层次下的小尺寸双极性超β晶体管的工艺实施方案。经TSUPREM -Ⅳ和MEDICI一体化仿真、参数提取及特性的验证表明,设计方案完全可以达到器件参数的要求。 展开更多

关键词 双极型晶体管 增益 集成电路 计算机仿真 工艺模拟

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