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37单元双压电片变形镜板条激光光束净化 被引量：7
1
作者 晏虎 雷翔 +5 位作者 刘文劲 王帅 高源 董理治 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1663-1666,共4页
为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随... 为了校正板条激光器输出光束波前像差,改善输出光束质量,提出了基于37单元双压电片变形镜的板条激光光束净化系统。采用柱面反射式单向扩束器使主振荡功率放大结构板条激光器输出光束尺寸与37单元双压电片变形镜有效口径相匹配,利用随机并行梯度下降算法控制双压电片变形镜面形,进行波前像差闭环校正,校正后光束远场归一化桶中功率提高到净化前的2～3倍。 展开更多
关键词 自适应光学系统 双压电片变形镜 板条激光器 光束净化 光束质量
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腔内双压电变形镜光强分布优化 被引量：5
2
作者 董理治 雷翔 +3 位作者 刘文劲 杨平 晏虎 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1691-1694,共4页
报道了把20单元双压电变形镜作为闪光氪灯泵浦的Nd:YAG激光器的腔镜,优化激光器输出光束远场强度分布的实验结果。变形镜由随机并行梯度下降算法控制,以相机采集到的激光束远场环围能量作为算法的评价指标,控制双压电变形镜的面形向远... 报道了把20单元双压电变形镜作为闪光氪灯泵浦的Nd:YAG激光器的腔镜,优化激光器输出光束远场强度分布的实验结果。变形镜由随机并行梯度下降算法控制,以相机采集到的激光束远场环围能量作为算法的评价指标,控制双压电变形镜的面形向远场能量分布更加集中的方向变化。结果表明:系统在20s内将远场光斑中的多个亮斑校正为单个亮斑,峰值光强与优化前相比提高了5倍;在腔镜倾斜较大时,实验系统将激光器的输出功率由0.006～0.051W提升至0.330W,验证了实验系统的有效性。 展开更多
关键词 双压电变形镜 固体激光器 自适应光学 随机并行梯度下降算法
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用于自适应光学系统的几种新型可变形反射镜 被引量：2
3
作者 余洪斌 陈海清 +2 位作者 竺子民 李俊 王忠 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期64-67,共4页
将MEMS技术用于自适应光学系统具有重大意义。本文从原理及制作工艺上论述了几种新型的可变形反射镜,为下一步的深入研究打下基础。
关键词 硅微加工 自适应光学 可变形反射镜 MEMS技术 制作工艺 薄膜dms
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双压电片变形镜像差校正能力 被引量：2
4
作者 刘文劲 宁禹 +4 位作者 董理治 晏虎 雷翔 杨平 许冰 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1611-1614,共4页
利用实测影响函数,通过数值仿真分析了有效孔径、光束入射角度对于20单元双压电片变形镜像差校正能力的影响。仿真结果表明:有效孔径为16mm时,变形镜对于各阶像差的校正能力较好;而随着光束入射到变形镜角度的增大,变形镜对于像差的校... 利用实测影响函数,通过数值仿真分析了有效孔径、光束入射角度对于20单元双压电片变形镜像差校正能力的影响。仿真结果表明:有效孔径为16mm时,变形镜对于各阶像差的校正能力较好;而随着光束入射到变形镜角度的增大,变形镜对于像差的校正精度与校正幅度都会出现下降,但是如果能够将入射角控制在25°以内,入射角度对变形镜的像差校正能力影响不大。 展开更多
关键词 双压电片变形镜 像差校正能力 有效孔径 入射角度
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大尺寸厚膜压电陶瓷驱动变形镜的制备工艺研究 被引量：3
5
作者 刘相果 胡东霞 +1 位作者 胡吉海 冯小东 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第4期570-572,577,共4页
研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系，并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜（Ф90mm×0．30mm），并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明，压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[（... 研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系，并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜（Ф90mm×0．30mm），并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明，压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[（Zn1-bL6）1／3Nb2（1-x）3]eZTfTigOh，e＋f＋g=1，M—Ca、Sr、Ba、La、K，L—Ni、Co、Fe，其机电耦合系数kp≥O．72，压电常数d33≥590pC／N，居里温度Tc≥300℃，介电损耗tanδ≤1．2％，介电常数ε33^T/ε0=2000-2500，烧成温度1150℃；扣除离焦前的压电厚膜驱动连续变形镜面形约3μm，扣除离焦后的面形约0．4μm；陶瓷厚膜的烧银过程变形致使镜面粘接工艺过程气泡难以消除，产生变形镜面-陶瓷间粘接不连续。 展开更多
关键词 大尺寸厚膜压电陶瓷 流延工艺 变形镜
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小形变变形镜的设计及其在低像差脉冲压缩光栅中的应用 被引量：2
6
作者 陈新荣 李朝明 +2 位作者 王丹 韦晓茹 吴建宏 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2993-2999,共7页
考虑激光脉冲啁啾放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差,设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响。该变形镜有效口径为80mm、厚度为5mm,包含19个分立式压电促动器。采... 考虑激光脉冲啁啾放大与压缩技术要求脉冲压缩光栅有较低的像差,设计并制作了一个小形变变形镜来补偿大口径光栅基板加工残余的亚微米级静态像差对光栅波像差的影响。该变形镜有效口径为80mm、厚度为5mm,包含19个分立式压电促动器。采用干涉仪测量得到各个促动器的响应函数,构建了变形镜的刚度矩阵;采用最小二乘法求解出获得目标面形时各个促动器上所需施加的控制电压;通过整体优化和局部优化的结合,使变形镜的目标面形得到了有效控制。应用该变形镜构建了主动式全息光学记录系统,并选用具有较大像差的基板开展了光栅像差补偿实验。实验显示,对残余像差为~0.93λ的基板,采用变形镜后制作出了残余波面PV可达0.14λ（@633nm）的脉冲压缩光栅,验证了小形变变形镜在光栅基底像差补偿上的有效性。 展开更多
关键词 变形镜 全息光栅 脉冲压缩光栅 压电促动器 响应函数 像差补偿
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8×8阵列压电厚膜驱动变形镜的制备及性能研究
7
作者 刘相果 胡东霞 +1 位作者 冯小东 曾祥明 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2013年第1期66-69,共4页
利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100mm×100mm×0.50mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析。结果表明,变形... 利用流延工艺制备大尺寸高性能压电陶瓷片(100mm×100mm×0.50mm),在此基础上研究8×8阵列排布的厚膜压电陶瓷驱动连续变形镜的制备工艺技术,并对变形镜的理论拟合面形和实际闭环控制校正面形进行研究分析。结果表明,变形镜的初始面形的像差振幅为2.664λ,像差均方根振幅为0.557λ,而经闭环控制校正+手动微校正后后,获得较佳的镜面效果像差振幅为0.36λ,像差均方根振幅为0.095λ;闭环控制校正面形与理论拟合的面形(像差振幅为0.005λ,像差均方根振幅为0)存在一定差距,主要原因是变形镜制备工艺过程或驱动闭环控制系统存在一定的滞后性或试验误差造成的。 展开更多
关键词 大尺寸厚膜压电陶瓷 流延工艺 变形镜 闭环控制
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横向压电效应变形镜优化设计 被引量：5
8
作者 吴伟彬 戴一帆 +2 位作者 关朝亮 范占斌 钟曜宇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2016年第8期208-214,共7页
变形镜作为自适应光学系统中的关键部件,起到校正波前误差的作用。其中横向压电效应变形镜应用较为广泛,其设计参数对系统的性能有重要影响,因此需要进行优化设计。仿真表明,减小Si镜和PZT的厚度可以提高系统最大变形量,但会降低一阶固... 变形镜作为自适应光学系统中的关键部件,起到校正波前误差的作用。其中横向压电效应变形镜应用较为广泛,其设计参数对系统的性能有重要影响,因此需要进行优化设计。仿真表明,减小Si镜和PZT的厚度可以提高系统最大变形量,但会降低一阶固有频率。通过正交匹配两者的厚度参数可满足系统的工作要求。夹具的材料和结构参数会影响系统的热变形特性。使用与镜片材料相同的夹具,系统的热变形最小,对高度和壁厚进行优化可以减小甚至消除系统的热变形。最后,通过电压特性仿真得到了优化后变形镜各分立电极的影响函数。 展开更多
关键词 自适应光学 横向压电效应 变形镜 优化设计 仿真
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双压电片变形镜的人眼像差拟合能力分析 被引量：1
9
作者 王媛媛 何益 +5 位作者 魏凌 李凌霄 杨金生 李喜琪 周虹 张雨东 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第12期19-24,共6页
针对三种不同空间分辨率的双压电片变形镜(BimorphDM),采用仿真实验分析其对3～35项Zernike静态像差和实际人眼(包括疾病人眼)像差的拟合能力。实验表明,Bimorph变形镜特别适用于校正低阶像差,拟合误差小于0.15,随着空间分辨率的增加,Bi... 针对三种不同空间分辨率的双压电片变形镜(BimorphDM),采用仿真实验分析其对3～35项Zernike静态像差和实际人眼(包括疾病人眼)像差的拟合能力。实验表明,Bimorph变形镜特别适用于校正低阶像差,拟合误差小于0.15,随着空间分辨率的增加,Bimorph变形镜对Zernike像差和人眼像差的拟合能力总体表现为增强的趋势,其中,35单元的Bimorph变形镜的像差拟合能力最优,对前20项Zernike像差的拟合误差稍优于传统分立式压电变形镜。通过对Bimorph变形镜像差拟合能力的实验分析,为人眼视网膜高分辨率系统的Bimorph变形镜选型提供了分析方法,也为进一步提升Bimorph变形镜的像差校正能力奠定了研究基础。 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形镜 Zernike像差 像差拟合 视网膜成像
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正电压边缘驱动的双压电片变形镜研制 被引量：2
10
作者 彭泰然 李文来 +2 位作者 娄军强 崔玉国 马剑强 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期164-171,共8页
为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明... 为提高变形镜的热稳定性,提出一种用正电压边缘驱动的双压电片变形镜,通过环形电极产生整体离焦偏置,分立电极校正波前像差,只用正向电压即可实现镜面双向变形,且此变形镜结构对称受热应力影响小.制备变形镜样机并进行测试,测试结果表明:初始镜面展平后残余误差小于λ/30(λ=1064nm);精确重构了典型低阶Zernike多项式像差,像散、离焦、三叶草和彗差像差的重构幅值分别达到11.1μm、9.7μm、5.7μm和4.2μm,归一化残余误差分别为1.0%、1.0%、3.3%、6.0%;此外,实验生成了新型无衍射艾里光束,并显示出优异的重构性能. 展开更多
关键词 自适应光学 双压电片变形镜 正电压 热变形 艾里光束
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