p型“SE+PERC”双面太阳电池背面工艺对光伏组件PID效应的影响研究

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作者 王玉肖 王贵梅 +2 位作者 赵英芳 程雅琦 许志卫 《太阳能》 2024年第4期80-86,共7页

基于p型“SE+PERC”双面太阳电池的背面工艺,针对背表面抛光状态、背面氧化铝薄膜厚度、背面膜层结构、背面氮化硅薄膜折射率几个因素对光伏组件电势诱导衰减(PID)效应的影响进行了研究。研究结果表明:1)背表面抛光状态越光滑,对应制备... 基于p型“SE+PERC”双面太阳电池的背面工艺,针对背表面抛光状态、背面氧化铝薄膜厚度、背面膜层结构、背面氮化硅薄膜折射率几个因素对光伏组件电势诱导衰减(PID)效应的影响进行了研究。研究结果表明:1)背表面抛光状态越光滑,对应制备的光伏组件在PID测试后的输出功率损失率越小;2)背面氧化铝薄膜厚度为10 nm及以上时对应制备的光伏组件在PID测试后的输出功率损失率差异不大;3)背面膜层结构对PID效应存在影响,合理设计背面膜层结构可以有效抑制光伏组件PID效应;4)背面氮化硅薄膜折射率大于等于2.10时,对应制备的光伏组件在PID测试后的输出功率损失率降至2.00%以内且可以稳定保持在较低水平。研究结果可为p型“SE+PERC”双面太阳电池背面工艺优化提供指导方向。 展开更多

关键词 p型晶体硅 SE+PERC 双面太阳电池 电势诱导衰减 背面工艺 抛光 氧化铝薄膜 折射率

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不同地面背景对双面光伏组件发电性能的影响 被引量：12

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作者 张继平 郝国强 +3 位作者 李红波 叶晓军 柳翠 袁晓 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期298-304,共7页

以双面光伏组件为研究对象,通过理论计算和实验研究的方法,对双面组件在不同地面背景下的发电性能进行理论分析与实验验证。研究结果表明:双面组件的功率增益随地面背景的反射率增大而增大,随辐照度增加而降低,双面组件在反射率最大的... 以双面光伏组件为研究对象,通过理论计算和实验研究的方法,对双面组件在不同地面背景下的发电性能进行理论分析与实验验证。研究结果表明:双面组件的功率增益随地面背景的反射率增大而增大,随辐照度增加而降低,双面组件在反射率最大的铝箔地面与反射率最小的草坪地面的最大功率增益分别为25.30%和8.24%。 展开更多

关键词 太阳电池 发电量 数学模型 实验研究 反射率 双面组件

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n型TOPCon-PERT双面太阳电池发电特性分析 被引量：4

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作者 汪洋 吕欣 +1 位作者 侯少攀 崇峰 《太阳能》 2020年第11期72-75,共4页

随着将隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)技术应用在n型钝化发射极背表面全扩散(PERT)太阳电池上,电池效率得到了进一步提升,n型TOPCon-PERT太阳电池因具有少子寿命高、无光致衰减及功率温度系数小等优点,已成为当前太阳电池技术研究的热点之... 随着将隧穿氧化层钝化接触(TOPCon)技术应用在n型钝化发射极背表面全扩散(PERT)太阳电池上,电池效率得到了进一步提升,n型TOPCon-PERT太阳电池因具有少子寿命高、无光致衰减及功率温度系数小等优点,已成为当前太阳电池技术研究的热点之一。通过对比叠加TOPCon技术前、后n型PERT双面太阳电池的量子效率,并根据p型PERC双面光伏组件、n型PERT双面光伏组件及n型TOPCon-PERT双面光伏组件的户外发电特性及衰减率等实测数据,验证了n型TOPCon-PERT双面太阳电池的发电量增益。 展开更多

关键词 PERT 双面太阳电池 隧穿氧化层钝化接触 量子效率 衰减率

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高效率n型硅离子注入双面太阳电池

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作者 李晓苇 史金超 +2 位作者 张伟 沈艳娇 李锋 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期211-215,共5页

为进一步提升n型硅双面太阳电池的转化效率,采用了磷离子注入技术制备n型硅双面太阳电池的背场。基于离子注入技术准直性和均匀性好的特点,掺杂后硅片的表面复合电流密度降低到了1.4×10^-13A/cm2,隐性开路电压可达670 mV,且分布区... 为进一步提升n型硅双面太阳电池的转化效率,采用了磷离子注入技术制备n型硅双面太阳电池的背场。基于离子注入技术准直性和均匀性好的特点,掺杂后硅片的表面复合电流密度降低到了1.4×10^-13A/cm2,隐性开路电压可达670 mV,且分布区间更紧凑。在电阻率为13Ω·cm的n型硅片基底上,采用磷离子注入技术工业化生产的n型硅双面太阳电池的正面平均转化效率达到了20.64%,背面平均转化效率达到了19.52%。内量子效率的分析结果显示,离子注入太阳电池效率的增益主要来自长波段光谱响应的提升。 展开更多

关键词 双面太阳电池 n型Si 转化效率 背场 离子注入

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针对N型IBC太阳电池中背结模型的建立及优化 被引量：4

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作者 张巍 贾锐 +1 位作者 孙昀 邢钊 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1274-1277,共4页

在N型衬底上制作2 cm×2 cm的双面太阳电池片,并对电池的正反面进行I-V、量子效率、掺杂形貌测试。通过将结果导入到PC1D中并拟合内量子效率,建立N型背结太阳电池的模型。通过调整背结太阳电池模型中串并联电阻、衬底寿命、表面复... 在N型衬底上制作2 cm×2 cm的双面太阳电池片,并对电池的正反面进行I-V、量子效率、掺杂形貌测试。通过将结果导入到PC1D中并拟合内量子效率,建立N型背结太阳电池的模型。通过调整背结太阳电池模型中串并联电阻、衬底寿命、表面复合速率、前表面场等参数,发现串联电阻与前表面场掺杂浓度是N型背结太阳太阳电池设计的关键。将这两个参数进行优化,电池效率的增幅分别为19.7%与33.9%。最终将N型背结太阳电池效率优化到20.6%。 展开更多

关键词 N型双面太阳电池 PC1D 串联电阻 前表面场

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异质结太阳电池测试标准的研究进展 被引量：2

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作者 时强 高祺 +2 位作者 张雅婷 余友林 刘正新 《太阳能》 2022年第4期42-49,共8页

针对异质结(HJT)太阳电池在Ⅰ-Ⅴ测试中遇到的主要问题,归纳总结了迟滞效应的成因和解决方法,以及双面HJT太阳电池的测试标准和评价体系,研究了不同测试参数对迟滞误差的影响,分析了测试台反射率及接触方式对HJT太阳电池Ⅰ-Ⅴ测试结果... 针对异质结(HJT)太阳电池在Ⅰ-Ⅴ测试中遇到的主要问题,归纳总结了迟滞效应的成因和解决方法,以及双面HJT太阳电池的测试标准和评价体系,研究了不同测试参数对迟滞误差的影响,分析了测试台反射率及接触方式对HJT太阳电池Ⅰ-Ⅴ测试结果的影响,并通过简述HJT太阳电池亚稳态特性的研究进展,找出HJT太阳电池精确测试的方法,助力HJT太阳电池产业的发展。 展开更多

关键词 异质结太阳电池 Ⅰ-Ⅴ曲线 电容效应 双面异质结太阳电池 稳定性 测试标准

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n型双面TOPCon太阳电池钝化技术 被引量：4

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作者 于波 史金超 +3 位作者 李锋 庞龙 刘克铭 于威 《半导体技术》 CAS 北大核心 2019年第5期368-373,共6页

隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了... 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)技术已成为当前产业化高效太阳电池的重点研究方向之一。报道了可应用于规模化生产的n型双面TOPCon太阳电池技术,对前表面SiO_2/多晶硅钝化层进行了优化设计。为了有效降低接触电阻,太阳电池的背表面采用了全面积SiO_2/多晶硅钝化层结构;为避免多晶硅层对太阳光的寄生吸收,仅将SiO_2/多晶硅钝化层应用于前表面金属接触的底部。J-V特性和少子寿命等分析显示,双面TOPCon结构设计显著提升了太阳电池的表面钝化接触性能,其开路电压和短路电流密度显著增加。所制备的面积为239 cm^2的双面TOPCon太阳电池的平均正面转换效率可达20.33%,相对正面无SiO_2/多晶硅钝化层的常规钝化发射极及背表面全扩散(PERT)结构的太阳电池转换效率提升了0.29%。 展开更多

关键词 隧穿氧化物钝化接触(TOPCon)太阳电池 选择性钝化接触 隧穿氧化层 多晶硅 双面太阳电池

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基于蒙特卡罗方法的双面光伏组件年发电性能研究 被引量：3

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作者 陶云坤 白建波 +3 位作者 邓士峰 方润心 张圣成 刘维茜 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第11期51-58,共8页

采用蒙特卡罗方法,建立以地面为反射源,以随机数对反射光线进行模拟的物理模型,得到自地面漫反射而到达光伏组件背面的辐照量。然后根据已知的辐照量,对位于江苏泰州双面光伏组件电站的年发电量和年"双面"发电增益进行了理论... 采用蒙特卡罗方法,建立以地面为反射源,以随机数对反射光线进行模拟的物理模型,得到自地面漫反射而到达光伏组件背面的辐照量。然后根据已知的辐照量,对位于江苏泰州双面光伏组件电站的年发电量和年"双面"发电增益进行了理论模拟和实验对比,理论和实验结果均验证了该研究提出的方法的可行性。最后,该文结合对比结果对特定地区双面光伏组件的安装倾角、安装高度、地面反射率等参数进行了优化。 展开更多

关键词 太阳电池 发电量 反射率 双面光伏组件 蒙特卡罗方法

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双面光伏组件建模及发电性能研究 被引量：1

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作者 韩硕 胡坚柯 +3 位作者 韩一峰 王军 王乐 Lund Peter 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第9期94-100,共7页

针对双面光伏组件建立一种耦合模型,可用于模拟双面光伏组件在实际运行过程中的输出特性。采用视角系数法建立便于模拟背面辐照度的二维辐照度模型,提出一种简化计算方法来求解七参数电学模型,并根据能量守恒的非稳态热学模型来估计电... 针对双面光伏组件建立一种耦合模型,可用于模拟双面光伏组件在实际运行过程中的输出特性。采用视角系数法建立便于模拟背面辐照度的二维辐照度模型,提出一种简化计算方法来求解七参数电学模型,并根据能量守恒的非稳态热学模型来估计电池温度。之后通过输入参数的传递,对耦合模型进行求解,并通过实验数据验证模型的准确性。结果表明:辐照度模型可对不同天气条件下双面光伏组件辐照度进行模拟,晴天时更准确,均方根误差仅为6.9%;采用简化方法求解的七参数电学模型,求解结果与实测值较吻合,在最大功率处的功率偏差仅为0.4 W;所建立的耦合模型可对双面光伏组件单日输出功率及年度发电性能进行评估,模拟结果与实测数据吻合较好。 展开更多

关键词 太阳电池 太阳辐照度 发电性能 双面光伏组件 双二极管模型

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双面太阳电池的结构、工作原理和发展趋势 被引量：4

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作者 郭丹 田汉民 +3 位作者 吕俊 戎小莹 张天 赵昆越 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第2期97-105,141,共10页

双面太阳电池因具有更高的等效转换效率、可降低25%以上的系统成本和更广泛的应用等优点引起了人们的广泛关注。介绍了双面太阳电池的工作原理,重点总结了钝化发射极及背表面完全扩散（PERT）双面太阳电池、钝化发射极及背表面接触（PER... 双面太阳电池因具有更高的等效转换效率、可降低25%以上的系统成本和更广泛的应用等优点引起了人们的广泛关注。介绍了双面太阳电池的工作原理,重点总结了钝化发射极及背表面完全扩散（PERT）双面太阳电池、钝化发射极及背表面接触（PERC）双面太阳电池、异质结型双面太阳电池等硅基双面太阳电池的结构及发展现状,介绍了铜铟镓硒（CIGS）双面太阳电池、CdTe薄膜双面太阳电池及钙钛矿双面太阳电池等的新型结构及研究进展。详细分析了双面太阳电池的发展优势与现阶段出现的主要问题。最后说明了双面太阳电池今后的努力方向,为更好地提高双面太阳电池的效率,背部结构的设计以及制备工艺的优化和创新是未来双面电池发展的趋势。 展开更多

关键词 硅基太阳电池 钝化发射极及背表面接触(PERC)双面太阳电池 CdTe薄膜双面太阳电池 光电转换效率 异质结

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工业化双面PERC太阳电池研究 被引量：2

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作者 王岚 谢耀辉 +3 位作者 余波 张元秋 常青 张冠纶 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期77-82,共6页

单面PERC电池已在实验室和产业化都证明了具有高的光电转换效率,兼容现有常规电池生产线,其生产工艺已逐渐变成单晶硅太阳电池的主流工艺。通过将PERC电池背面的全铝背场改成印刷铝栅线结构,可将单面PERC电池制作成为双面PERC电池。该... 单面PERC电池已在实验室和产业化都证明了具有高的光电转换效率,兼容现有常规电池生产线,其生产工艺已逐渐变成单晶硅太阳电池的主流工艺。通过将PERC电池背面的全铝背场改成印刷铝栅线结构,可将单面PERC电池制作成为双面PERC电池。该文讨论高效双面PERC电池制作工艺,包括背面抛光反射率,背面氮化硅钝化膜的膜厚和折射率,背面导电铝浆对电池转换效率的影响,通过优化上述工艺,制作正面转换效率为21.67%及背面转换效率为16.06%,双面率为74.11%,可量产双面PERC太阳电池。 展开更多

关键词 双面PERC太阳电池 背面钝化 背面抛光 反射率 导电铝浆

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双面p型PERC太阳电池的紫外衰减特性研究及电池紫外稳定性优化 被引量：2

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作者 任丽丽 陈克勤 +2 位作者 陈诚 沈灿军 刘松民 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第5期167-172,共6页

以不同掺杂元素的高效双面p型PERC电池电性能参数在紫外辐照后的衰减特性为研究对象。硼元素掺杂和镓元素掺杂的双面PERC电池背面受紫外光辐照后,背面、正面效率均发生衰减,但两者背面效率衰减主要来自于I_(sc)衰减,而正面效率衰减主要... 以不同掺杂元素的高效双面p型PERC电池电性能参数在紫外辐照后的衰减特性为研究对象。硼元素掺杂和镓元素掺杂的双面PERC电池背面受紫外光辐照后,背面、正面效率均发生衰减,但两者背面效率衰减主要来自于I_(sc)衰减,而正面效率衰减主要来自于FF衰减,U_(oc)在整个紫外辐照过程中表现稳定,背面衰减与紫外辐照后钝化层的折射率增大有关,而正面衰减可能与电池串阻增大有关。通过增加电池背面钝化层厚度优化紫外稳定的镓掺杂双面电池的紫外稳定性。优化后的电池在15 kWh/m^(2)紫外辐照后,电池背面效率衰减仅为0.04%,同时其正面效率衰减相比于未加厚的电池下降0.32%,说明这种镓掺杂双面电池在户外光照下高稳定的潜力。 展开更多

关键词 双面PERC太阳电池 紫外辐照 衰减率 电性能参数 高稳定

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管式炉扩散法制备20%效率的n型双面电池 被引量：1

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作者 吕晓华 严金梅 +2 位作者 李吉 张进臣 赵朋松 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第12期924-928,共5页

采用一种管式扩散炉工艺制备了平均效率为20%的n型双面晶硅太阳电池。制得的n型双面晶硅电池峰值正面效率为20.30%、背面效率为17.59%。硼、磷扩散工艺分别在硼、磷高温管式扩散炉中实现,POCl_3气氛的高温扩散工艺沉积PSG/SiO_x层,BBr3... 采用一种管式扩散炉工艺制备了平均效率为20%的n型双面晶硅太阳电池。制得的n型双面晶硅电池峰值正面效率为20.30%、背面效率为17.59%。硼、磷扩散工艺分别在硼、磷高温管式扩散炉中实现,POCl_3气氛的高温扩散工艺沉积PSG/SiO_x层,BBr3气氛的高温扩散工艺沉积BSG/SiO_x层。电化学电容-电压法测试显示正面硼发射极没有受到POCl_3高温扩散的影响。采用电致发光测试方法研究了该n型双面电池的边缘漏电情况。该n型双面电池工艺制作流程采用常规的产线设备,适合大规模生产。 展开更多

关键词 n型双面电池 硼和磷管式扩散 高效率 阻挡层 漏电

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硅片表面织构对“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池电性能影响的研究 被引量：2

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作者 王守志 王丽婷 +3 位作者 周啸颖 孙航 刘阳 黄国平 《太阳能》 2022年第7期24-33,共10页

在硅片制绒过程,研究了制绒添加剂体积分数、反应时间和反应温度对单晶硅片表面织构的微观形貌、反射率,以及制备的“选择性发射极(SE)+PERC”双面单晶硅太阳电池电性能的影响。结果表明:在目前单晶硅片制绒设备和工艺条件下,当碱液(KOH... 在硅片制绒过程,研究了制绒添加剂体积分数、反应时间和反应温度对单晶硅片表面织构的微观形貌、反射率,以及制备的“选择性发射极(SE)+PERC”双面单晶硅太阳电池电性能的影响。结果表明:在目前单晶硅片制绒设备和工艺条件下,当碱液(KOH)体积分数为2%、制绒添加剂体积分数为0.7%、反应温度为84℃、反应时间为440 s时,制备的单晶硅片表面的金字塔尺寸较小,均匀性强,硅片表面的反射率最低,仅为9.914%,而得到的“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池的光电转换效率高达22.714%;调整制绒参数,可以有效提高单晶硅片表面织构中金字塔的均匀性,降低硅片表面的反射率,从而提高“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池的光电转换效率。 展开更多

关键词 选择性发射极 钝化发射极与背接触 双面单晶硅太阳电池 表面织构 制绒添加剂 电性能

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双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺

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作者 孙晓凯 田凤美 +2 位作者 靳迎松 张福庆 胡明强 《半导体技术》 CAS 北大核心 2020年第4期312-316,共5页

基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背... 基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背面钝化膜层的设计方案,分析了不同设计方案对双面PERC太阳电池背面效率及双面率的影响。测试结果表明,采用背面AlOx/SiNx叠层钝化膜、SiNx双层减反射膜、较大折射率梯度SiN_x膜层、较薄AlOx膜层及较薄SiNx膜层工艺,对提升双面PERC太阳电池背面效率及电池双面率效果显著,用最优设计方案制备的双面PERC太阳电池,其背面效率和双面率分别为14.96%和68.69%。 展开更多

关键词 双面钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池 背面效率 双面率 背钝化 双面减反射膜

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网版参数对“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池电性能影响的研究

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作者 刘阳 王丽婷 +3 位作者 周啸颖 舒振兴 王守志 黄国平 《太阳能》 2022年第4期76-82,共7页

针对“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池制备过程中丝网印刷环节的网版参数,通过设计不同的网纱厚度、聚酰亚胺(PI)膜厚度及网版开口宽度匹配实验,研究了不同匹配方案对单片“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池正面栅线银浆耗量及电性能的影响。... 针对“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池制备过程中丝网印刷环节的网版参数,通过设计不同的网纱厚度、聚酰亚胺(PI)膜厚度及网版开口宽度匹配实验,研究了不同匹配方案对单片“SE+PERC”双面单晶硅太阳电池正面栅线银浆耗量及电性能的影响。研究结果表明:单片太阳电池正面栅线的银浆耗量随着网纱厚度、PI膜厚度及网版开口宽度的增加而升高;当网纱厚度为17μm、PI膜厚度为8μm、网版开口宽度为17μm时,单片太阳电池正面栅线的银浆耗量最低,仅为0.0584 g,光电转换效率为22.808%,该匹配方案可最大限度地降低太阳电池的生产成本;当网纱厚度为17μm、PI膜厚度为10μm、网版开口宽度为18μm时,单片太阳电池正面栅线的银浆耗量为0.0646 g,光电转换效率为22.898%;当网纱厚度为19μm、PI膜厚度为10μm、网版开口宽度为20μm时,单片太阳电池正面栅线的银浆耗量为0.0699 g,光电转换效率最高,为22.961%,该匹配方案可最大限度地提升太阳电池的光电转换效率。 展开更多

关键词 “SE+PERC”双面单晶硅太阳电池 丝网印刷 聚酰亚胺膜 网版参数 电性能 银浆耗量

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PECVD工艺制备的背面氮化硅薄膜对双面单晶硅太阳电池EL发黑的影响

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作者 张福庆 王贵梅 +2 位作者 赵环 张军杰 朱少杰 《太阳能》 2021年第2期53-57,共5页

以采用PECVd工艺制备的背面氮化硅薄膜对双面单晶硅太阳电池电致发光(EL)发黑的影响为研究对象进行了实验验证。结果表明,当背面氮化硅薄膜中底层膜的折射率较低时,会导致双面单晶硅太阳电池背电极位置的EL发黑;底层膜和中层膜的折射率... 以采用PECVd工艺制备的背面氮化硅薄膜对双面单晶硅太阳电池电致发光(EL)发黑的影响为研究对象进行了实验验证。结果表明,当背面氮化硅薄膜中底层膜的折射率较低时,会导致双面单晶硅太阳电池背电极位置的EL发黑;底层膜和中层膜的折射率过高时,会导致双面单晶硅太阳电池的EL大面积发黑;上层膜边缘的折射率较高时,会导致双面单晶硅太阳电池的边缘位置EL发黑。对于双面单晶硅太阳电池而言,采用PECVd工艺制备背面氮化硅薄膜时制定合理的底层膜、中层膜,以及上层膜边缘的折射率范围,可以有效避免双面单晶硅太阳电池不良品的产生。 展开更多

关键词 单晶硅 双面太阳电池 PECVD 氮化硅薄膜 EL发黑 折射率 开槽激光

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背表面氮化硅薄膜与氧化铝薄膜制备工艺对单晶硅双面太阳电池EL的影响

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作者 张福庆 王贵梅 +2 位作者 张军杰 李文涛 李景 《太阳能》 2021年第10期46-51,共6页

以原子层沉积(ALD)设备及管式PECVD设备制备单晶硅双面太阳电池背表面钝化膜的工艺为研究对象,通过实验讨论了管式PECVD设备采用不同的退火温度或退火时间,以及管式PECVD设备采用相同退火工艺但氧化铝薄膜厚度不同时分别对单晶硅双面太... 以原子层沉积(ALD)设备及管式PECVD设备制备单晶硅双面太阳电池背表面钝化膜的工艺为研究对象,通过实验讨论了管式PECVD设备采用不同的退火温度或退火时间,以及管式PECVD设备采用相同退火工艺但氧化铝薄膜厚度不同时分别对单晶硅双面太阳电池电致发光(EL)的影响。研究结果表明,在ALD设备镀制氧化铝薄膜的厚度保持不变的情况下,当管式PECVD设备的退火温度或退火时间过低会导致单晶硅双面太阳电池的EL图像出现发黑的情况,因此,氧化铝薄膜的厚度在一定范围内时,对管式PECVD设备的退火工艺的要求也基本一致。即当采用ALD设备与管式PECVD设备制备单晶硅双面太阳电池背表面钝化膜时,保持氧化铝薄膜的厚度在一定范围内,制定合理的管式PECVD设备的退火温度和退火时间范围,可以有效避免单晶硅双面太阳电池EL图像发黑的产生。 展开更多

关键词 单晶硅双面太阳电池 ALD设备 管式PECVD设备 退火 氧化铝薄膜 氮化硅薄膜 EL

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