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题名连续位相板磁流变加工中高精度边缘延拓技术
被引量：1
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作者
唐才学
颜浩
罗子健
张远航
温圣林
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机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2019年第4期162-168,共7页
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基金
中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室科研基金(ZZ16008)
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文摘
为了提高磁流变加工连续位相板边缘加工质量,实现元件全口径抛光,必须对元件原始误差面形进行边缘延拓,针对现有边缘延拓算法的不足,提出了采用改进的二维Gerchberg带宽受限延拓算法实现连续位相板元件面形频域匹配的边缘延拓。该方法首先采用复调制频谱放大技术Zoom FFT对元件原始误差面形进行频谱分析,计算其高低截止频率;然后采用改进后的二维Gerchberg带宽受限延拓算法进行迭代计算,在原始面形外围延拓出与原始面形同频的高精度延拓结构面形。采用尺寸为100 mm×100 mm具有复杂频谱结构的连续位相板元件进行边缘延拓和磁流变加工实验,实验结果表明:采用改进的Gerchberg边缘延拓技术延拓的面形边缘更加规整,边缘效应影响半径由5 mm减小到2 mm,面形残余误差RMS从19.3 nm减小到了9.7 nm。这说明该边缘延拓技术可以明显提高连续位相板面形的边缘加工质量和整体收敛精度。
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关键词
磁流变加工
边缘延拓
Gerchberg延拓算法
zoomfft算法
连续位相板
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Keywords
magnetorheological finishing
edge extrapolation
Gerchberg extrapolation algorithm
zoomfft algorithm
CPP
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
TH74
[机械工程—光学工程]
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