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掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响
被引量：
11
1
作者
孙迎伟
胡木林
周志刚
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期799-802,共4页
利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃...
利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃时,SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度,而在工作温度为200～350℃时,SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外,SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后,讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。
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关键词
ZNO
掺SiO2的Zn
厚膜
气敏传感器
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职称材料
题名
掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响
被引量：
11
1
作者
孙迎伟
胡木林
周志刚
机构
华中科技大学纳米材料与智能传感器实验室
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第6期799-802,共4页
基金
国家科技部863项目"ZnO基纳米复合敏感材料规模化制备和低能耗
快速响应
高敏感元件阵列的研制"(2006AA03Z338)
文摘
利用丝网印刷技术,制备出掺入SiO2和未掺入SiO2的ZnO厚膜气敏传感器,测试对甲醇和乙醇的气敏性能,并用场发射扫描电子显微镜(FESEM)来分析表征气敏膜的微观形貌。结果表明SiO2的掺入有效地抑制了ZnO晶粒的长大。在工作温度为400～450℃时,SiO2的掺入显著提高了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度,而在工作温度为200～350℃时,SiO2的掺入明显抑制了ZnO厚膜气敏传感器对甲醇和乙醇的敏感度。另外,SiO2的掺入使气敏传感器的响应时间显著延长了。最后,讨论了厚膜气敏传感器的气敏机理。
关键词
ZNO
掺SiO2的Zn
厚膜
气敏传感器
Keywords
zno.tif
SiO2-doped ZnO
thick film
gas sensor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
掺入SiO_2纳米颗粒对厚膜ZnO气敏传感器气敏性能的影响
孙迎伟
胡木林
周志刚
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2011
11
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