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题名退火气氛对ZnO∶Fe薄膜微结构和铁磁性能的影响
被引量：1
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作者
更藏多杰
才让措
陈万军
张国恒
陈琼
安秀加
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机构
西北民族大学电气工程学院
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第4期4089-4093,共5页
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基金
中央高校基金资助项目(31920150011,1001860405)
甘肃省重点研发计划资助项目(17YF1GA025)
甘肃省自然科学基金资助项目(1606RJZA064)
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文摘
采用射频磁控溅射法在Si衬底上制备了Fe掺杂ZnO纳米薄膜,并在真空和空气中对其进行热处理,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微(SEM)、对其微结构、表面和断面形貌进行测试。结果表明,样品均呈现六角纤锌矿结构,薄膜沿c轴方向择优生长,发现退火气氛对薄膜的微结构有一定影响,当空气中退火时,出现了最强的(002)衍射峰,晶粒变为最大,薄膜的结晶度和取向性都明显变好。利用振动样品强磁计(VSM)对样品的铁磁性进行测试,发现真空中退火的样品饱和磁化强度比空气中退火的要大得多,并经分析认为这可能是薄膜中氧缺陷引起的。
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关键词
磁控溅射
zno:fe薄膜
退火气氛
铁磁性
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Keywords
magnetron sputtering
zno:fe thin film
annealing atmosphere
ferromagnetic
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分类号
O469
[理学—凝聚态物理]
O484
[理学—固体物理]
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