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[101]取向Li掺杂ZnO薄膜光学性能的研究 被引量:10
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作者 朱兴文 李勇强 +2 位作者 陆液 李英伟 夏义本 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期359-362,共4页
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了[101]取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理温度变化的规律.结果表明,399nm的发光峰是由Li的杂质能级引起;与[002]取向的薄膜相比,未经热处理的[101]薄膜其光学带隙大,且出现了380nm... 采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了[101]取向的Li:ZnO薄膜,研究了该薄膜的光学性能随热处理温度变化的规律.结果表明,399nm的发光峰是由Li的杂质能级引起;与[002]取向的薄膜相比,未经热处理的[101]薄膜其光学带隙大,且出现了380nm附近的带边发射(NBE)峰;在560~580℃热处理下,其晶胞变小、光学带隙变窄、360nm左右的带间发光峰红移;当热处理温度升至610℃时,薄膜中再次出现380nm的NBE峰. 展开更多
关键词 zno薄膜 Li掺杂 【101】取向 PL谱
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溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其性能研究 被引量:1
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作者 赵海丽 许启明 窦卫红 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第8期50-51,共2页
使用溶胶-凝胶法在P型Si(100)衬底上成功地制备了具有c轴择优取向性和高可见光透射率的多晶ZnO薄膜。通过XRD、SEM以及PL光谱等分析,表明:所制备的是结晶良好的ZnO薄膜,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在15~60nm,颗粒平均直径大约为3... 使用溶胶-凝胶法在P型Si(100)衬底上成功地制备了具有c轴择优取向性和高可见光透射率的多晶ZnO薄膜。通过XRD、SEM以及PL光谱等分析,表明:所制备的是结晶良好的ZnO薄膜,表面均匀致密,薄膜晶粒尺寸大约在15~60nm,颗粒平均直径大约为38nm。由透射谱可知,制备的ZnO薄膜在可见光区域内薄膜的平均透射率在85%以上;由光致发光谱可知,室温下可观察到显著的紫外光发射,说明具有较好的光学性质。 展开更多
关键词 zno薄膜 溶胶-凝胶法 c轴择优取向性 光致发光
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