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扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用
被引量：
1
1
作者
朱信华
李爱东
刘治国
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第12期1233-1240,共8页
扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接"观察"到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点,成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原...
扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接"观察"到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点,成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点,并结合具体的高K栅介质材料(如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级,该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此,本文亦进行了介绍。
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关键词
扫描透射电子显微镜
z-衬度stem像
高K柵介质材料
界面微结构
综述
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职称材料
题名
扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用
被引量：
1
1
作者
朱信华
李爱东
刘治国
机构
南京大学物理学院、固体微结构物理国家重点实验室
南京大学材料科学与工程系
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第12期1233-1240,共8页
基金
国家科技部重大专项(2009ZX02101-4)
国家自然科学基金(11174122,11134004)~~
文摘
扫描透射电子显微镜(STEM)原子序数衬度像(Z-衬度像)具有分辨率高(可直接"观察"到晶体中原子的真实位置)、对化学组成敏感以及图像直观易解释等优点,成为原子尺度研究材料微结构的强有力工具。本文介绍了STEM Z-衬度像成像原理、方法及技术特点,并结合具体的高K栅介质材料(如铪基金属氧化物、稀土金属氧化物和钙钛矿结构外延氧化物薄膜)对STEM在新一代高K栅介质材料研究中的应用进行了评述。目前球差校正STEM Z-衬度的像空间分辨率已达亚埃级,该技术在高K柵介质与半导体之间的界面微结构表征方面具有十分重要的应用。对此,本文亦进行了介绍。
关键词
扫描透射电子显微镜
z-衬度stem像
高K柵介质材料
界面微结构
综述
Keywords
scanning transmission electron microscopy （
stem
）
z-
contrast
stem
images
high-K gate dielectrics
interfacial microstructures
review
分类号
TN153 [电子电信—物理电子学]
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描透射电子显微镜(STEM)在新一代高K栅介质材料的应用
朱信华
李爱东
刘治国
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
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职称材料
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引证文献
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