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利用喷气式Z箍缩等离子体装置进行X射线光刻
1
作者
郭小明
张贵新
+1 位作者
罗承沐
周兆英
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期52-56,共5页
喷气式Ｚ箍缩等离子体装置可以产生较强的软Ｘ射线，能量大约在２—６ｋｅＶ之间。利用此装置产生的软Ｘ射线，用ＣＳＭ作光刻胶，进行了Ｘ射线光刻的初步研究，得到了较为清晰的光刻图形。
关键词
x
箍缩
等离子体
x
射线源
光刻
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职称材料
题名
利用喷气式Z箍缩等离子体装置进行X射线光刻
1
作者
郭小明
张贵新
罗承沐
周兆英
机构
清华大学电机工程系
出处
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期52-56,共5页
基金
国家自然科学基金委员会
文摘
喷气式Ｚ箍缩等离子体装置可以产生较强的软Ｘ射线，能量大约在２—６ｋｅＶ之间。利用此装置产生的软Ｘ射线，用ＣＳＭ作光刻胶，进行了Ｘ射线光刻的初步研究，得到了较为清晰的光刻图形。
关键词
x
箍缩
等离子体
x
射线源
光刻
Keywords
zpinch plasma plasma x ray source x ray lithography
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
TH－39 [机械工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用喷气式Z箍缩等离子体装置进行X射线光刻
郭小明
张贵新
罗承沐
周兆英
《核聚变与等离子体物理》
CAS
CSCD
北大核心
1998
0
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