期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
3
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
Y型声表面波质量传感器
被引量：
2
1
作者
章安良
朱大中
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2003年第4期457-460,414,共5页
报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、...
报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 :该器件的两声路频谱对称性良好 ,并且有良好的相对温度系数 ,仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz·cm2 /g 。
展开更多
关键词
声表面波
传感器
y型双声路质量传感器
质量
沉积效应
温度系数
在线阅读
下载PDF
职称材料
双声路声表面波质量传感器的研究
被引量：
2
2
作者
陈继凯
朱大中
黄浙隆
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第2期91-93,共3页
在LiNbO3晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器。利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,声表面波的波速发生变化,使以延迟线作为反馈回路的振荡器...
在LiNbO3晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器。利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,声表面波的波速发生变化,使以延迟线作为反馈回路的振荡器的振荡频率发生变化,并通过这一变化反映出沉积物的质量。为了补偿温度对器件传输频谱的影响,该器件采用双声路结构,一路为传感声路,一路为参考声路。介绍了器件的设计、工艺流程和测试方法,最后对测试结果进行了分析和讨论。测试结果表明该传感器的温度系数为7Hz/°C,灵敏度为4.9×10-6cm2/g。
展开更多
关键词
声表面波
质量
沉积效应
双声
路
传感器
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于聚苯胺/In_2O_3的声表面波CO气体传感器研究
被引量：
1
3
作者
张朋
陈明
何鹏举
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第3期302-304,308,共4页
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3...
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜(0.5~1.2μm)。在-40^+85℃间的CO气体中,对此气体传感器进行测试实验,实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。
展开更多
关键词
声表面波
质量
沉积效应
双声
路
聚苯胺
气体
传感器
敏感特性
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
Y型声表面波质量传感器
被引量：
2
1
作者
章安良
朱大中
机构
浙江大学信息科学与工程学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2003年第4期457-460,414,共5页
基金
国家自然科学基金 (No .6 9876 0 31)
浙江省自然科学基金 (No .6 980 4 8)
文摘
报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 :该器件的两声路频谱对称性良好 ,并且有良好的相对温度系数 ,仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz·cm2 /g 。
关键词
声表面波
传感器
y型双声路质量传感器
质量
沉积效应
温度系数
Keywords
surface acoustic wave sensor
mass loading effect
multistrip coupler
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
双声路声表面波质量传感器的研究
被引量：
2
2
作者
陈继凯
朱大中
黄浙隆
机构
浙江大学信电系微电子技术与系统设计研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第2期91-93,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(60176027)
浙江省自然科学基金资助项目(600026)
文摘
在LiNbO3晶片上设计并实现了一种新型的双声路延迟线型声表面波质量传感器。利用光刻工艺在每个声传播路径上构造了一个方形质量沉积区,当有物质沉积到该区时,由于质量沉积效应,声表面波的波速发生变化,使以延迟线作为反馈回路的振荡器的振荡频率发生变化,并通过这一变化反映出沉积物的质量。为了补偿温度对器件传输频谱的影响,该器件采用双声路结构,一路为传感声路,一路为参考声路。介绍了器件的设计、工艺流程和测试方法,最后对测试结果进行了分析和讨论。测试结果表明该传感器的温度系数为7Hz/°C,灵敏度为4.9×10-6cm2/g。
关键词
声表面波
质量
沉积效应
双声
路
传感器
Keywords
SAW(Surface Acoustic Wave)
mass-loading effect
dual-path
sensor
分类号
TN722 [电子电信—电路与系统]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于聚苯胺/In_2O_3的声表面波CO气体传感器研究
被引量：
1
3
作者
张朋
陈明
何鹏举
机构
西北工业大学自动化学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009年第3期302-304,308,共4页
文摘
为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜(0.5~1.2μm)。在-40^+85℃间的CO气体中,对此气体传感器进行测试实验,实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。
关键词
声表面波
质量
沉积效应
双声
路
聚苯胺
气体
传感器
敏感特性
Keywords
surface acoustic wave （SAW）
mass-loading effect
dual-path
pol
y
aniline
gas sensor
sensitive properties
分类号
TN722 [电子电信—电路与系统]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Y型声表面波质量传感器
章安良
朱大中
《传感技术学报》
CAS
CSCD
2003
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
双声路声表面波质量传感器的研究
陈继凯
朱大中
黄浙隆
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
基于聚苯胺/In_2O_3的声表面波CO气体传感器研究
张朋
陈明
何鹏举
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2009
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
