期刊文献+
共找到16篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
双向光泵浦XeF(C-A)激光 被引量:4
1
作者 于力 刘晶儒 +3 位作者 马连英 易爱平 黄超 安晓霞 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1765-1768,共4页
讨论了双向光泵浦XeF(C-A)激光技术,给出了双向泵浦情况下的XeF2光解离波图像。在双向泵浦条件下XeF(C-A)激光输出能量提高了近3倍,最大输出达到3.3 J,激光脉宽增加到1 100 ns。激光输出特性受XeF2初始浓度的显著影响,激光形成时间随XeF... 讨论了双向光泵浦XeF(C-A)激光技术,给出了双向泵浦情况下的XeF2光解离波图像。在双向泵浦条件下XeF(C-A)激光输出能量提高了近3倍,最大输出达到3.3 J,激光脉宽增加到1 100 ns。激光输出特性受XeF2初始浓度的显著影响,激光形成时间随XeF2初始浓度增大而加长,激光脉宽先增大后减小,激光近场光斑呈现出不同的形状,由方形变化为“X”形状。 展开更多
关键词 双向光泵浦 xef(c-a)激光 输出特性 光解离
在线阅读 下载PDF
XeF(C-A)蓝绿激光线宽压缩技术 被引量:3
2
作者 朱峰 于力 +3 位作者 安晓霞 易爱平 马连英 黄超 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2588-2592,共5页
利用表面放电光泵浦XeF(C-A)蓝绿激光器开展了激光线宽压缩技术研究,分别采用谐振腔腔镜谱带重叠法和光栅谐振腔法实现了线宽小于10 nm的窄线宽激光输出。采用谐振腔腔镜谱带重叠法,激光输出线宽约7 nm,采用光栅谐振腔法可以将激光线... 利用表面放电光泵浦XeF(C-A)蓝绿激光器开展了激光线宽压缩技术研究,分别采用谐振腔腔镜谱带重叠法和光栅谐振腔法实现了线宽小于10 nm的窄线宽激光输出。采用谐振腔腔镜谱带重叠法,激光输出线宽约7 nm,采用光栅谐振腔法可以将激光线宽压缩到约1 nm,并实现XeF(C-A)激光的可调谐输出,调谐范围为470~495 nm。 展开更多
关键词 xef(c-a)激光 线宽压缩 可调谐 谐振腔
在线阅读 下载PDF
重频XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF_2浓度的监测与控制 被引量:1
3
作者 黄超 于力 +5 位作者 马莲英 易爱平 安晓霞 李辉 陈广宇 刘晶儒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期785-788,共4页
介绍了采用光谱吸收法实时监测重复频率XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF2气体浓度的原理和控制XeF2气体浓度的方法;给出了监测窗中XeF2气体浓度与激光器气室中的XeF2气体浓度之间的关系,获得了在不同主/载气路气流量条件下激光器气室中XeF2气... 介绍了采用光谱吸收法实时监测重复频率XeF(C-A)蓝绿激光器中XeF2气体浓度的原理和控制XeF2气体浓度的方法;给出了监测窗中XeF2气体浓度与激光器气室中的XeF2气体浓度之间的关系,获得了在不同主/载气路气流量条件下激光器气室中XeF2气体浓度值,通过调节主/载气路的气流量实现了对激光器腔室内XeF2气体浓度的控制,保证了XeF(C-A)蓝绿激光器1 Hz重频运行。 展开更多
关键词 浓度监控 光谱吸收 xef(c-a)蓝绿激光器 xef2
在线阅读 下载PDF
表面放电光泵浦XeF(C-A)激光数值模拟 被引量:2
4
作者 胡志云 刘晶儒 +2 位作者 张永生 于力 袁孝 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期529-532,共4页
采用数值方法模拟表面放电光泵浦 Xe F( C-A)激光形成过程 ,分析反应粒子、气体温度、腔内损失、耦合透过率、Xe F2 压力对激光输出的影响 ,数值计算结果与自行研制的表面放电光泵浦 Xe F( C-A)激光器的实验结果吻合较好。
关键词 表面放电 光泵浦 激光 数值模拟 激光器
在线阅读 下载PDF
低气压掺氪混合气放电XeF(C-A)激光 被引量:1
5
作者 程永康 杨少鹏 +1 位作者 王敏孝 马祖光 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1993年第1期37-41,共5页
于0.22MPa气压和2.76MW/cm^3泵浦速率下,在商品准分子激光器上实现放电激励XeF(C-A)宽带自由振荡。使用峰值净益为1.24%/cm的掺氪四元混合气,获得兰绿激光输出1.17mJ,比能量输出9mJ/L,增本征效率0.016%,中心波长477nm,带宽32nm(FWHM)。
关键词 放电 氟化氙 准分子激光 激光器
在线阅读 下载PDF
XeF(C-A)蓝绿激光对可见光面阵CCD软损伤的实验研究
6
作者 马连英 于力 +3 位作者 安晓霞 钱航 易爱平 黄超 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2009年第6期15-16,共2页
建立了脉冲激光辐照CCD器件实验平台,采用XeF(C-A)蓝绿激光辐照可见光CCD,获得CCD出现软损伤(局部饱和、全饱和、串扰及致眩)的激光能量密度阈值或量级及对应的CCD图像,用饱和面积法分析了蓝绿激光对CCD的软损伤效应。
关键词 xef 蓝绿激光 CCD 软损伤
在线阅读 下载PDF
重频XeF蓝绿激光技术 被引量:4
7
作者 于力 马连英 +9 位作者 易爱平 黄超 朱峰 安晓霞 沈炎龙 钱航 黄欣 黄珂 叶锡生 刘晶儒 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1839-1842,共4页
利用表面放电光泵浦技术,研制了重频XeF(C-A)激光器,运行频率达到10 Hz。研究了运行频率、气体流量对激光输出能量稳定性的影响,分析了影响输出稳定性的主要因素,实验结果表明,提高气流量可有效改善重频输出能量的稳定性。同时,还给出... 利用表面放电光泵浦技术,研制了重频XeF(C-A)激光器,运行频率达到10 Hz。研究了运行频率、气体流量对激光输出能量稳定性的影响,分析了影响输出稳定性的主要因素,实验结果表明,提高气流量可有效改善重频输出能量的稳定性。同时,还给出了优化实验条件下不同运行频率连续20个脉冲较为理想的输出结果。运行频率分别为1,2,5 Hz时,输出能量稳定性较好,输出能量大于4.0 J;气流量大于53 L/s时,10Hz重频运行的输出稳定性已显著提高,平均输出能量也达到1.8 J。 展开更多
关键词 xef(c-a)激光 重复频率 光泵浦 蓝绿激光
在线阅读 下载PDF
XeF激光与YAG倍频激光对CCD软破坏效应对比实验研究 被引量:2
8
作者 马连英 于力 +5 位作者 刘晶儒 安晓霞 钱航 黄超 易爱平 朱峰 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第4期510-513,共4页
为了对比研究XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD的软破坏效应,分别建立了XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD辐照效应实验研究平台和CCD图像同步采集系统,在此基础上开展了上述两种激光对CCD的辐照效应实验,获得了CCD出... 为了对比研究XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD的软破坏效应,分别建立了XeF(C-A)激光和YAG倍频激光对可见光面阵CCD辐照效应实验研究平台和CCD图像同步采集系统,在此基础上开展了上述两种激光对CCD的辐照效应实验,获得了CCD出现局部饱和、全饱和、串音以及全屏饱和时的激光能量密度阈值和CCD图像,并对实验数据进行了总结分析,采用激光能量密度阈值法和饱和面积法对CCD图像进行了分析处理。结果表明,两种激光对SONY SUPER HAD型CCD具有相同的软破坏效应。 展开更多
关键词 激光技术 xef(C—A)激光 YAG倍频激光 可见光面阵CCD 软破坏
在线阅读 下载PDF
XeF_2光解离波的空间传输对形成XeF(C—A)激光的影响 被引量:1
9
作者 于力 刘晶儒 +3 位作者 马连英 易爱平 黄超 安晓霞 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2006年第1期78-79,共2页
利用XeF2光解离波图像,测量了现有激光实验条件下的解离波半径及传输速度,解离波厚度为5~8mm,传输速度随泵浦时间的增加而减慢,平均速度约13km/s。选择四种不同的腔轴位置,腔轴距泵浦源表面的距离d分别为10、13、16、20mm,激光... 利用XeF2光解离波图像,测量了现有激光实验条件下的解离波半径及传输速度,解离波厚度为5~8mm,传输速度随泵浦时间的增加而减慢,平均速度约13km/s。选择四种不同的腔轴位置,腔轴距泵浦源表面的距离d分别为10、13、16、20mm,激光实验结果表明,XeF2光解离波的空间传输对XeF(C—A)激光的形成有影响,激光形成时间、脉宽均随腔轴远离泵浦源而增加;输出能量在腔轴取13mm处最大。 展开更多
关键词 光解离波 空间传输 xef(C—A)激光 xef2
在线阅读 下载PDF
用于XeF蓝绿激光器的表面放电光泵浦源 被引量:1
10
作者 黄超 刘晶儒 +4 位作者 于力 易爱平 安晓霞 朱峰 沈炎龙 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期51-55,共5页
基于Al2O3陶瓷、BN陶瓷和聚四氟乙烯三种基底建立了分段表面放电光泵浦源,对比研究了这三种表面放电光泵浦源的电学特性、辐射特性和烧蚀特性。利用放电波形计算了表面放电光泵浦源的等效电感、等效电阻和沉积效率,应用光谱法比较了它... 基于Al2O3陶瓷、BN陶瓷和聚四氟乙烯三种基底建立了分段表面放电光泵浦源,对比研究了这三种表面放电光泵浦源的电学特性、辐射特性和烧蚀特性。利用放电波形计算了表面放电光泵浦源的等效电感、等效电阻和沉积效率,应用光谱法比较了它们的紫外辐射强度,并采用平均线烧蚀率评估了三种泵浦源的耐烧蚀性能。通过比较研究发现,在充电电压为13.5-26.8kV、间隙长度为8cm、放电室内混合气体气压为100kPa条件下,三种泵浦源中Al2O3陶瓷表面放电光泵浦源的沉积效率最高,大于82%;辐射光谱具有紫外增强效应,紫外辐射最强;平均线烧蚀率最小(小于0.15μm/shot),耐烧蚀性能最好。研究结果表明采用Al2O3陶瓷表面放电光泵浦源作为大功率重频XeF蓝绿激光器的泵浦源,可提高XeF蓝绿激光器的寿命。 展开更多
关键词 xef蓝绿激光 光泵浦源 表面放电 紫外辐射 沉积效率 平均线烧蚀率
在线阅读 下载PDF
氟化氙(C-A)蓝绿激光技术研究进展
11
作者 于力 刘晶儒 +8 位作者 易爱平 张永生 胡志云 马连英 刘文元 李辉 袁孝 曾正中 叶锡生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期659-663,共5页
综述了XeF(C A)激光的产生原理 ,表面放电光泵浦源的结构 ,激光器装置 ,XeF(C A)激光实验研究以及XeF(C A)激光理论模拟 ;介绍了XeF2 浓度的监测 。
关键词 xef(c-a)激光 表面放电 光泵浦 解离波 数值模拟 氟化氙蓝绿激光 激光器
在线阅读 下载PDF
实用型放电泵浦XeF(B-X)准分子激光器
12
作者 王庆胜 余吟山 +4 位作者 王效顺 游利兵 梁勖 李会 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期1143-1146,共4页
研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光... 研制了一台实用型放电泵浦的351 nm XeF(B-X)准分子激光器,激光器采用新型开关电源、结构紧凑型张氏电极及放电火花预电离的激光腔结构,通过优化储能电容和放电电容量及比值,选取合理的工作气体压力和配比,优化了激光器性能,提高了激光器输出参数:单脉冲能量153 mJ,平均功率12.9 W,转换效率最高达到0.88%,重复频率1~80 Hz,能量不稳定度小于4%,近场光斑尺寸7 mm×22 mm。激光器已应用到常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统的实验中。 展开更多
关键词 准分子激光器 xef 开关电源 i线 印刷电路板
在线阅读 下载PDF
面预电离F原子激光和XeF准分子激光实验研究
13
作者 李昌勇 胡天舒 +1 位作者 马树森 张兆平 《量子电子学报》 CAS CSCD 1998年第4期366-370,共5页
本文报道了面预电离F原子激光和XeF激光输出能量以及F原子激光光斑随各气体分压的变化情况。在适当的气体混合物中放电获得了F原子和XeF准分子激光充满放电截面的完整光斑,取得了满意预电离效果。获得了F原子623.9nm、634.8nm、712.... 本文报道了面预电离F原子激光和XeF激光输出能量以及F原子激光光斑随各气体分压的变化情况。在适当的气体混合物中放电获得了F原子和XeF准分子激光充满放电截面的完整光斑,取得了满意预电离效果。获得了F原子623.9nm、634.8nm、712.8nm和731.1nm四波长激光同时振荡以及F原子激光和XeF激光同时振荡,并作了定性分析。 展开更多
关键词 面预电离 气体激光器 同时振荡
在线阅读 下载PDF
横向表面放电光泵浦源特性研究 被引量:5
14
作者 于力 刘晶儒 +1 位作者 胡志云 张永生 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期43-46,共4页
介绍了一种用以泵浦XeF(C-A)激光的横向表面放电辐射源,比较详细地研究了这种泵浦源的放电击穿特性、放电电流与充电电压及不同气体介质的关系、表面放电均匀性以及不同气体成分对表面放电辐射特性的影响。得到了放电击穿时间... 介绍了一种用以泵浦XeF(C-A)激光的横向表面放电辐射源,比较详细地研究了这种泵浦源的放电击穿特性、放电电流与充电电压及不同气体介质的关系、表面放电均匀性以及不同气体成分对表面放电辐射特性的影响。得到了放电击穿时间、放电峰值电流随充电电压、不同气体介质变化的曲线;分析了提高放电均匀性的途径,在电极长50cm、间距6cm、充电电压25kV条件下获得了均匀放电。获得了各种实验条件下放电辐射的光谱曲线;通过对辐射光谱的分析,研究了有利于光解离XeF2的最佳实验条件,当pAr: pN2=1:1时,放电在远紫外波段产生的辐射最强。 展开更多
关键词 光泵浦 表面放电 xef(c-a)激光
在线阅读 下载PDF
表面放电等离子体产生冲击波特性 被引量:6
15
作者 沈炎龙 于力 +1 位作者 栾昆鹏 黄超 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期44-48,共5页
采用压力传感器,分析XeF(C→A)激光器高电压表面放电光泵浦方式不同位置、不同放电电压条件下冲击波特性。研究结果表明,表面放电等离子体膨胀产生的冲击波持续时间为ms量级,在冲击波过后伴随有相对较弱的压力波。随着充电电压增加,放... 采用压力传感器,分析XeF(C→A)激光器高电压表面放电光泵浦方式不同位置、不同放电电压条件下冲击波特性。研究结果表明,表面放电等离子体膨胀产生的冲击波持续时间为ms量级,在冲击波过后伴随有相对较弱的压力波。随着充电电压增加,放电过程释放能量增多,冲击波峰值压强也变大,最大压强可达1 MPa,同时冲击波峰值延后,冲击波持续时间变长。 展开更多
关键词 表面放电 等离子体 冲击波 压力 xef激光
在线阅读 下载PDF
印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析 被引量:4
16
作者 裴文彦 周金运 +1 位作者 梁国均 林清华 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期360-365,共6页
针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理... 针对351 nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(PCB)激光投影成像照明系统。根据准分子激光的部分相干平顶高斯光束(PCFGB)理论模型,对微透镜阵列器(MLA)均束的衍射特性进行了理论分析。由PCFGB分布函数、稳定光强输出的衍射角和菲涅耳-基尔霍夫衍射积分公式,定量分析衍射效应对MLA均束的影响。理论计算表明,微透镜边缘发生菲涅耳衍射和微透镜产生的多光束干涉都能引起光振幅调制,只不过衍射产生的尖峰更明显地出现在光束边缘。同时,由数值积分得到的PCFGB曲线,发现9×9 MLA均束器既能保证多个微透镜产生光束叠加的均匀性,又最大程度地减少了衍射和多光束干涉效应。通过采取加正六边形光阑的方法,不仅能满足大面积无缝扫描光刻的需要,而且能剪裁由衍射引起的光束边缘尖峰。由ZEMAX光学设计软件模拟其效果,显示其加工窗不大于士2%。 展开更多
关键词 激光技术 均束器 激光投影成像光刻 xef准分子激光 印刷电路板 加工窗
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部