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Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
被引量：
3
1
作者
尼启良
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期939-943,共5页
基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转...
基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况。实验结果表明，Xe在13．4nm的最高转换效率可以达到0．75％／2πsr／2%bw，辐射稳定性±4％（1σ），在激光打靶10^5次后无碎屑产生。
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关键词
xe液体微滴喷射靶
激光等离子体光源
极紫外投影光刻
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职称材料
题名
Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
被引量：
3
1
作者
尼启良
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期939-943,共5页
基金
国家自然科学基金(No.60677043)
文摘
基于Xe的惰性和在13～14nm波段高的辐射强度，Xe被认为是极紫外投影光刻（EuVL）潜在的靶材，为此设计和研制了一台液体微滴喷射靶激光等离子体（LPP）极紫外光源。详细地研究了Xe液体微滴喷射靶的光谱辐射特性、在13．4nm的激光-EUV转换效率、辐射稳定性及碎屑产生状况。实验结果表明，Xe在13．4nm的最高转换效率可以达到0．75％／2πsr／2%bw，辐射稳定性±4％（1σ），在激光打靶10^5次后无碎屑产生。
关键词
xe液体微滴喷射靶
激光等离子体光源
极紫外投影光刻
Keywords
xe
liquid aerosol spray target
Laser-produced Plasma（LPP） source
Extreme Ultraviolet Lithography （EUVL）
分类号
TN241 [电子电信—物理电子学]
TL653 [核科学技术—核技术及应用]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Xe液体微滴靶激光等离子体光源实验
尼启良
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
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