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n^(+)/n^(-)型硅衬底扩散片X_(jn+)理论分析与测试方法优化: 1; 作者张现磊李立谦 +1 位作者周涛张志林《半导体技术》 CAS 北大核心 2025年第1期39-45,共7页; n型衬底扩散片扩散深度(X_(jn+))是n^(+)/n^(-)型硅衬底扩散片最重要的参数之一,X_(jn+)的理论计算对磷扩散生产和X_(jn+)测试具有重要的指导意义。但现有扩散理论计算结果与实验数据差异较大,需更精准的计算方法。通过实验对X_(jn+)的... 展开更多; 关键词衬底扩散片扩散系数修正协同扩散 n型衬底扩散片扩散深度(x_(jn+))计算 x_(jn+)测试方法优化; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	n^(+)/n^(-)型硅衬底扩散片X_(jn+)理论分析与测试方法优化	张现磊李立谦周涛张志林	《半导体技术》 CAS 北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料

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