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XeCl准分子激光器激励电路设计与优化(英文) 被引量:3
1
作者 李潭 陈长乐 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2005年第5期617-621,630,共6页
XeCl准分子激光器激励电路性能对激光器的输出特性有着很大的影响,为了提升激光器的输出特性,我实验室自制的XeCl准分子激光器创新性地采用了火花开关控制电路,对瞬时大电流进行控制,取得了满意的效果。从激光器电路部分的设计入手,研究... XeCl准分子激光器激励电路性能对激光器的输出特性有着很大的影响,为了提升激光器的输出特性,我实验室自制的XeCl准分子激光器创新性地采用了火花开关控制电路,对瞬时大电流进行控制,取得了满意的效果。从激光器电路部分的设计入手,研究了XeCl准分子激光器的电路结构,确定了激光器的电路参数。针对激光器在实验过程中出现的问题,采用了过流保护、光耦合器隔离、电磁屏蔽等措施,优化了激光器的性能。实测数据表明采用的设计及改进措施使激光器激励电路工作稳定,激光器输出达到设计要求。为提高XeCl准分子激光器的输出特性提供了参考。 展开更多
关键词 xecl准分子激光器 优化 火花开关 ROGOWSKI线圈
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电子束泵浦XeCl准分子激光器及应用 被引量:4
2
作者 黄超 赵学庆 +3 位作者 易爱平 林鹏 薛全喜 肖伟伟 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第4期62-66,共5页
为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究。详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;... 为了获得高能紫外激光输出,开展了电子束泵浦XeCl准分子激光技术研究。详细介绍了四向电子束泵浦准分子激光装置的工作原理和结构特征,简述Marx发生器的放电电压、放电电流,激光气室中的沉积能量,激光脉冲能量、脉宽等参数的测量方法;研究了电子束泵浦XeCl准分子激光输出特性,得到了激光脉冲能量随激光气室内混合气体气压变化的规律,当激光器的充电电压为81kV时,获得了能量100J、脉宽200ns的XeCl准分子激光输出,其本征效率约为3.2%。并且开展了XeCl准分子激光辐照涂层材料力学特性研究,采用微型红外通光冲量探头测量不同条件下激光辐照涂层材料的冲量耦合系数,在常压空气环境中的冲量耦合系数约为8.32×10-5 N·W-1。 展开更多
关键词 xecl分子激光 电子束泵浦 MARX发生器 本征效率 冲量耦合系数
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磁约束放电激励的XeCl准分子激光器
3
作者 王涓 谷怀民 +5 位作者 陈永荣 胡雪金 丘军林 龚志伟 周小伙 孙海斌 《量子电子学报》 CAS CSCD 2000年第2期150-156,共7页
本文对激光激励的一种新技术─磁约束放电激励技术在 XeCl准分子激光器中的应用进行了实验研究.并分析比较了以 Ar或 He为缓冲气体时磁约束放电激励对 XeCl准分子激光输出的影响.
关键词 磁约束放电激励 xecl准分子激光器 激光激励
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电子束泵浦XeCl准分子激光器输出特性 被引量:1
4
作者 黄超 易爱平 +2 位作者 钱航 安晓霞 李高鹏 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第10期61-66,共6页
为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光... 为了确保窄脉宽XeCl准分子激光系统获得高峰值功率紫外激光脉冲,实验研究了紧凑型四向电子束泵浦XeCl准分子激光器的输出特性。通过调节激光腔室气体介质的总气压和气体摩尔比、激光器的充电电压、二极管阳极钛箔厚度等参数,发现了激光能量随以上条件的变化规律,分析得到了激光器运行的最佳条件。在最佳条件下XeCl准分子激光器的脉冲能量大于100 J、脉宽约200 ns,电光效率约为5.81‰。另外,通过改变激光器内部Marx发生器的开关气压,研究了紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器输出激光脉冲的延迟抖动特性,发现激光脉冲的延迟抖动可优于20 ns。研究结果表明:紧凑型电子束泵浦XeCl准分子激光器可实现脉冲抖动小于20 ns、103 J的高能紫外激光输出,可满足窄脉宽XeCl准分子激光系统运行的需要。 展开更多
关键词 xecl分子激光 电子束泵浦 MARX发生器 电光效率 脉冲抖动
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实用化XeCl准分子激光器气体寿命的实验研究 被引量:2
5
作者 方晓东 戴静华 《激光技术》 EI CAS CSCD 1996年第1期50-52,共3页
气体寿命是影响准分子激光器输出稳定的一个重要因素。我们在一台实用化XeCl准分子激光器上实验,定量给出了微量补充HCl气体对激光输出的影响,并且给出了激光气体长时间的工作寿命曲线。
关键词 分子激光器 气体寿命
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放电激励的100W XeCl准分子激光器 被引量:5
6
作者 余吟山 方晓东 +4 位作者 李会 汪建业 张志平 高月凤 李广寅 《量子电子学》 CSCD 1996年第4期329-331,共3页
介绍一台放电泵浦的XeCl准分子激光器。其最大单脉冲能量550mJ。
关键词 分子激光器 放电激励 氯化氙
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大功率XeCl准分子激光器放电开关的实验研究 被引量:5
7
作者 余吟山 方晓东 周卫东 《量子电子学报》 CAS CSCD 1997年第1期48-51,共4页
本文报道了一台输出功率大于100W、重复频率达300Hz的XeCl准分子激光器的放电开关系统进行实验结果,比较了激励电路放电开关系统中带磁开关和无磁开关两种情况下闸流管的动态放电参数,证明了带磁开关的开关系统有利于激光器高重复频... 本文报道了一台输出功率大于100W、重复频率达300Hz的XeCl准分子激光器的放电开关系统进行实验结果,比较了激励电路放电开关系统中带磁开关和无磁开关两种情况下闸流管的动态放电参数,证明了带磁开关的开关系统有利于激光器高重复频率工作和大功率输出。 展开更多
关键词 分子激光器 闸流管 磁开关
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100W XeCl准分子激光器的放电特性 被引量:1
8
作者 方晓东 余吟山 汪建业 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期255-256,共2页
通过对一台放电泵浦的100WXeCl准分子激光器进行实验,给出了放电波形和放电能量在激光气体中的耦合情况。
关键词 分子激光器 放电特性 能量沉积 氯化氙
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20瓦横向流动X光预电离XeCl准分子激光器
9
作者 楼祺洪 霍芸生 +4 位作者 董景星 丁爱臻 魏运荣 丁泽安 王润文 《激光杂志》 CAS 1987年第1期66-70,共5页
自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来,这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来,在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在... 自从1975年稀有气体卤化物准分子激光器出现以来,这类激光器已被誉为新一代紫外光源。近几年来,在高能激光武器、激光核聚变、激光同位素分离、激光化学、激光半导体材料表面处理、微电子加工和激光医学等方面都获得了很大的进展。在这些应用中,所需要的激光平均功率也日益提高, 展开更多
关键词 分子激光器 xecl 横向流动 预电离 激光同位素分离 X光 高能激光武器 材料表面处理 激光核聚变 微电子加工
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一体化小型XeCl准分子激光器
10
作者 马树森 王广昌 +3 位作者 熊旭明 秦玉英 张兆平 胡雪金 《量子电子学》 CSCD 1992年第2期170-172,共3页
本文报导了一体化小型XeCl准分子激光器的结构与特性,激光器体积100×40×27cm^3,重量50kg,单脉冲能量160mJ。
关键词 一体化 小型 分子 激光器
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XeCl准分子激光泵浦的无腔染料激光器和紫外-可见波段调谐染料激光器 被引量:1
11
作者 王长山 南英子 +2 位作者 吴海林 耿秀兰 李云凯 《激光杂志》 CAS 1987年第1期55-58,共4页
(一)无腔染料激光器 一、引言 不使用共振腔便能得到强受激发射的光通称为放大自发辐射NIASE,一般也叫超辐射或超荧光。它是自发辐射在已形成粒子数反转分布的高增益激活介质中沿激活区轴向传播时通过感应发射过程依次行波放大所产... (一)无腔染料激光器 一、引言 不使用共振腔便能得到强受激发射的光通称为放大自发辐射NIASE,一般也叫超辐射或超荧光。它是自发辐射在已形成粒子数反转分布的高增益激活介质中沿激活区轴向传播时通过感应发射过程依次行波放大所产生的。 展开更多
关键词 染料激光器 xecl分子 激光泵浦 放大自发辐射 调谐 波段 可见 紫外 激活介质 粒子数反转
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基于准分子激光器火焰中OH自由基测量技术研究 被引量:2
12
作者 刘宇 刘文清 +4 位作者 阚瑞峰 司福祺 许振宇 胡仁志 谢品华 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2897-2901,共5页
介绍了利用XeCl准分子激光器作为光源,测量酒精喷灯火焰中OH自由基浓度的实验方法与结果分析。以XeCl准分子激光器作为光源,采用Herriott结构多次反射池扩展光程至2 560m,利用酒精喷灯作为OH自由基发生器,使用光谱分辨率为3.3pm的高分... 介绍了利用XeCl准分子激光器作为光源,测量酒精喷灯火焰中OH自由基浓度的实验方法与结果分析。以XeCl准分子激光器作为光源,采用Herriott结构多次反射池扩展光程至2 560m,利用酒精喷灯作为OH自由基发生器,使用光谱分辨率为3.3pm的高分辨中阶梯光栅光谱仪作为光谱采集系统。详细描述了应用不包含etaloning结构的XeCl准分子激光器作为光源的原因,如何去除XeCl准分子激光器反应腔腔体中的水汽干扰等。选取308.145~308.175nm波段范围对OH自由基浓度进行了反演,并与利用氙灯作为光源测量酒精喷灯中OH自由基浓度的结果进行了对比。 展开更多
关键词 xecl准分子激光器 etaloning光谱结构 OH自由基
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高重复频率ArF准分子激光器能量控制算法研究 被引量:8
13
作者 王效顺 梁勖 +2 位作者 游利兵 赵家敏 方晓东 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期763-766,共4页
为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提... 为了实现工业用高重复频率ArF准分子激光器脉冲能量稳定,从电源控制的角度进行了脉冲能量控制技术的基础研究。介绍了高重复频率ArF准分子激光器能量稳定闭环控制原理,使用近似方法建立了准分子激光器脉冲能量和放电电压的函数模型,提出一种基于实时检测脉冲能量的电压调节比例积分算法,并结合函数模型和控制算法进行了MATLAB仿真。结果表明,建立的脉冲能量模型是合理的,且提出的比例积分算法在提高激光器脉冲输出能量稳定性方面是有效的。 展开更多
关键词 激光器 能量稳定 比例积分算法 高重复频率 ArF分子激光器
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0.73J脉冲能量KrF准分子激光器的特性 被引量:7
14
作者 赵家敏 游利兵 +1 位作者 余吟山 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期3060-3064,共5页
研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kV、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激... 研制了一台KrF大能量准分子激光器,激光器采用紧凑型Chang电极与紫外火花预电离的结合,实现了激活区大面积的均匀辉光放电,利用LC反转倍压以及一级磁脉冲压缩技术在放电电容上实现了峰值电压40kV、脉冲上升时间约为100ns的高压快脉冲激励。研究了工作气体含量对激光器能量输出的影响,在总气压3.3×105 Pa,F2/He,Kr,Ne体积分数比值为1.97∶3.18∶94.85,充电电压27kV时,得到了738mJ的单脉冲能量输出,激光近场光斑30mm×14mm,在充电电压23kV时,全电效率最高,达到2.0%。 展开更多
关键词 分子激光器 激光退火 大能量 磁脉冲压缩
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kHz准分子激光器全固态脉冲激励源 被引量:6
15
作者 王庆胜 游利兵 +2 位作者 余吟山 赵家敏 方晓东 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第4期885-889,共5页
由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁... 由于寿命制约,准分子激光器使用的传统放电开关闸流管不能满足准分子激光器高重复频率长期稳定工作运行的要求。设计了基于两级磁脉冲压缩技术的全固态脉冲功率模块,使用大功率半导体开关结合脉冲升压变压器产生μs级的高压脉冲,利用磁脉冲压缩技术将上升时间为μs级高压脉冲压缩至满足准分子激光器使用的上升时间为0.1μs级高压脉冲。在ArF准分子激光头上放电,获得激励脉冲的上升时间约为90ns,放电电压16.5kV,重复频率达到1kHz,两级磁脉冲压缩开关能量传递效率达59.1%。 展开更多
关键词 分子激光器 全固态脉冲功率模块 磁开关 磁脉冲压缩
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准分子激光器脉冲磁压缩开关的设计分析 被引量:4
16
作者 王又青 郭振华 李再光 《激光技术》 EI CAS CSCD 1996年第1期9-13,共5页
本文从理论上详细分析了高功率准分子激光器中脉冲磁压缩开关的工作机理,并在此基础上归纳出脉冲磁压缩开关的设计原则,对实际应用有一定的参考价值。
关键词 脉冲磁压缩 磁开关 分子激光器 设计
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微型准分子激光器的软开关电源研究 被引量:3
17
作者 江超 王又青 李波 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第1期77-82,共6页
微型准分子激光器是一种新型的激光器,它在工业紫外激光微加工上有广泛的应用前景。本文研制了该激光器的电源系统,电源采用高频变流技术设计,主回路为串联谐振负载并联输出的方式。为了提高电源的可靠性设计了两开关管的互锁电路及实... 微型准分子激光器是一种新型的激光器,它在工业紫外激光微加工上有广泛的应用前景。本文研制了该激光器的电源系统,电源采用高频变流技术设计,主回路为串联谐振负载并联输出的方式。为了提高电源的可靠性设计了两开关管的互锁电路及实现激光器的多种工作方式,设计了有效的调制电路。试验结果表明,电源工作在谐振状态,实现了零电流开通、零电压/零电流关断;调制电路能够在谐振状态下对电源输出进行调制,实现了对激光器工作方式的调节,满足了激光器正常工作的要求。 展开更多
关键词 微型分子激光器 高频变换技术 串联谐振开关电源 调制技术
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大功率准分子激光器的智能监控系统研究 被引量:2
18
作者 樊友平 黄席樾 +2 位作者 廖传锦 周欣 余吟山 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第3期258-263,274,共7页
大型准分子激光器的运行控制是一个多影响因素、多控制目标 ,且存在本质非线性和时滞性的复杂控制系统 ,很难建立准确的数学模型和确定最优解。根据实际手动控制数据 ,采用模糊控制技术 ,提出了辨识模糊控制规则 ,给出了基于知识 /推理... 大型准分子激光器的运行控制是一个多影响因素、多控制目标 ,且存在本质非线性和时滞性的复杂控制系统 ,很难建立准确的数学模型和确定最优解。根据实际手动控制数据 ,采用模糊控制技术 ,提出了辨识模糊控制规则 ,给出了基于知识 /推理规则的智能控制方案 ,即在获取的知识库引导下 ,完成对准分子激光器工作时的技术参数的测量 ,实现快速响应和较高的控制精度。实验结果表明 ,该装置使用方便 ,控制灵活 ,误差小 ,较好地解决了模型复杂的综合控制 。 展开更多
关键词 分子激光器 智能监控 模糊控制规则 模糊神经网络控制 智能监控系统
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定向棱镜谐振腔准分子激光器 被引量:1
19
作者 程勇 孙斌 +3 位作者 王晓兵 王古常 胡雪金 毛少卿 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第6期521-524,共4页
在普通平-平腔XeCl准分子激光器中,用定向棱镜替代平面全反射镜,构成定向棱镜谐振腔准分子激光器.该激光器获得了高抗失调能力和在近场具有相干平顶式的均匀光场、远场具有能量集中的光场分布,压缩了光束发散角,改善和提高了... 在普通平-平腔XeCl准分子激光器中,用定向棱镜替代平面全反射镜,构成定向棱镜谐振腔准分子激光器.该激光器获得了高抗失调能力和在近场具有相干平顶式的均匀光场、远场具有能量集中的光场分布,压缩了光束发散角,改善和提高了光束质量.提供了一种实用新型的准分子激光器技术. 展开更多
关键词 分子激光器 定向棱镜 谐振腔 高稳定性 光束质量
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倍压磁脉冲开关在准分子激光器中的应用 被引量:2
20
作者 邓国庆 赵南京 +1 位作者 朱志强 张玉亮 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期18-20,共3页
本文提出了将磁脉冲压缩开关结合LC反转倍压电路应用于高重复率紧凑型准分子激光器的技术。对磁脉冲压缩开关应用的原理及结合LC倍压方法在准分子激光器高压快放电激励电路中的工作过程进行了分析 。
关键词 分子激光器 脉冲压缩 放电电路 激励电路 开关 高重复率 电源 电激 紧凑型 反转
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